【課題】小型化に寄与することが可能な液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】インク供給路１４′からのインクをリザーバ２５に導入するための導入穴２６が、ヘッドユニット６における隣り合うアクチュエータユニット４の間に開設され、連通流路３８が内部に形成された流路接続部材２７を、インク供給路と導入穴とを連通流路を通じて連通する状態でケース流路部材１４とヘッドユニット６との間に介在させ、流路接続部材において、ケース流路部材の下流側開口縁部との接合領域である第１接合領域の面積を、ヘッドユニットの導入穴周縁部との接合領域である第２接合領域の面積よりも大きく設定し、流路接続部材の連通流路方向の高さを、アクチュエータユニットの厚さよりも高く設定した。 （もっと読む）

【課題】変位量の向上を図ることができる圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は，基体１と、基体１の上方に形成された下部電極４と、下部電極の上方に形成され、塩化ナトリウム型構造の金属酸化物からなり、（１００）に配向しているバッファ層２２と、バッファ層２２の上方に形成され、ペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層６と、圧電体層の上方に形成された上部電極７と，を含む。 （もっと読む）

【課題】変位量の向上を図ることができる圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は，基体１と、基体の上方に形成された下部電極４と、下部電極の上方に形成され、アモルファス状態である第１バッファ層２０と、第１バッファ層の上方に形成され、塩化ナトリウム型構造の金属酸化物からなり、（１００）に配向している第２バッファ層２２と、第２バッファ層の上方に形成され、ペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層６と、圧電体層の上方に形成された上部電極７と，を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電体層が焼損した場合でも振動板にクラックが発生するのを防止することができる液体噴射ヘッド及びそれを用いた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられる振動板５０と、振動板５０上に設けられる圧電素子３００とを有し、振動板５０が、複数層の絶縁層５１，５２と、これら複数層の絶縁層５１，５２の間に設けられる延性材料からなる延性層５５とを有するようにする。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の剥離を防止することができる圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に下電極膜６０を形成する工程と、下電極膜６０上に第１の圧電体膜７１ａを形成する工程と、第１の圧電体膜７１ａ上にレジスト膜を所定形状に形成すると共にこのレジスト膜をマスクとして第１の圧電体膜７１ａ及び下電極膜６０をエッチングして所定形状に形成する工程と、レジスト膜を剥離する工程と、酸素を含む酸素雰囲気中で基板を熱処理することで第１の圧電体膜７１ａ上に残存する前記レジスト膜を除去する工程と、第１の圧電体膜７１ａ上に圧電体層７０を構成する残りの圧電体膜７１ｂ、７１ｃ、７１ｄを形成する工程と、圧電体層７０上に上電極膜８０を形成する工程と、を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】圧電体非能動部の内部応力に起因する振動板の変形及び割れを防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】振動板５０上に形成される圧電素子３００が、圧電体能動部３２０と、圧電体非能動部３３０Ａとを具備し、圧力発生室１２の供給路１３側の端部には、少なくとも一方の内壁面１５ａが圧力発生室１２の内壁面に対して傾斜する傾斜面で構成されて供給路１３側に向かって幅が漸小する漸小部１５を有し、圧電体非能動部３３０Ａは圧力発生室１２に対向する領域から漸小部１５に対向する領域まで連続して設けられ、圧電体非能動部３３０の端部には少なくとも漸小部１５に対向する部分が漸小部１５よりも幅の狭い幅狭部３３１が設けられ、幅狭部３３１が隣接する液体流路を区画する隔壁１１上に張り出すことなく設けられているようにする。 （もっと読む）

【課題】圧電性能とともに耐電圧性能に優れた結晶構造の圧電体薄膜を用いて高性能で信頼性の高い圧電体薄膜素子を得ること。
【解決手段】圧電体薄膜層１４は、成膜工程を例えば２回に分け、途中に混入異物除去の洗浄工程を組み込んで形成した。大部分の領域が所定膜厚の形成領域１６となるが、一部の領域（異物が除去された領域）が所定膜厚よりも薄い膜厚の形成領域１７となる形で成膜される。所定膜厚の形成領域１６では柱状結晶が膜厚方向に連続的に形成され、優れた圧電特性が得られる。所定膜厚よりも薄い膜厚の形成領域１７では、結晶粒界が不連続領域１９を挟んで不連続となり、結晶粒径の大きい領域では粒界密度が低減される。この結晶粒界の不連続構造によってリークパスが途切れるので、耐電圧特性が向上する。トータルの領域として優れた圧電特性と耐電圧特性とを具備する結晶構造の圧電体薄膜１４による圧電体薄膜素子１０が得られる。 （もっと読む）

【課題】残留応力を緩和してクラックの発生を抑制することのできる圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明にかかる圧電素子１００の製造方法は、基体１０の上方に第１電極を形成する工程と、前記第１電極３０の上方に、高分子および圧電材料を含む高分子含有圧電材料溶液を塗布して前駆体層を形成する工程と、前記前駆体層を熱処理することにより第１の圧電体層を形成する工程と、前記第１の圧電体層４２の上方に第２電極５０を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】プラズマを用いる成膜装置および成膜方法において、良質な膜を安定的に成膜できるようにする。
【解決手段】成膜ガスＧの導入と排気が可能な真空容器３１０と、真空容器３１０内に配置される、ターゲットＴを保持するターゲットホルダ１２と、ターゲットホルダ１２に対向して配置され、膜が形成される成膜用基板Ｂを保持する基板ホルダ１１と、ターゲットホルダ１２と成膜基板側との間にプラズマ空間Ｐを生成するプラズマ生成部１２、１３とを備えた成膜装置３００において、ターゲットホルダ１２の成膜基板側の外周を取囲み、成膜ガスＧが通過する間隙２０４を有するシールド層２５０aを、上下方向に複数間隔をおいて重なるようにターゲットＴと非接触状態で配置してなるシールド２５０を有する。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドの変形やインク吐出量の不均一などを生じることなく、記録ヘッドから吐出される主滴と副滴の吐出方向のずれを低減し、主滴と副滴の着弾位置のずれ量を往復両走査において均一化することができる記録ヘッドの提供。
【解決手段】記録ヘッドのノズルは、吐出動作時において吐出口４ａの開口面の法線方向に応じた方向に主滴を吐出すると共に、ノズルの軸線Ｌ１と交差する方向に副滴を吐出する。吐出口４ａは、その開口面の法線とノズルの軸線Ｌ１とが交差するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー変換効率向上のため流路内に発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態では位置した液体吐出ヘッドにおいて、リフィル特性の劣化を抑制する。
【解決手段】 発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で支持し、該発熱体の、前記流路に平行かつ該発熱体の発熱面に垂直な断面形状を、発熱体の中心部で厚く、端部で薄い形状とする。 （もっと読む）

【課題】高密度でかつ長尺のフルマルチ化に対応可能なインクの発泡圧力と空気流とを用いた記録ヘッドを提供する。
【解決手段】液体インクを記録媒体に向かって吐出し記録を行なう記録装置において、表面に少なくとも１列に複数の発熱体を設けたヒータ基板と、ヒータ基板上に発熱体と対向して設けられた複数のインク吐出口５と、インク吐出口に対向して設けられた複数の空気吐出口７を有し、空気吐出口の等価直径を５０μｍ以下とする記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 圧電／電歪素子が個別液室長方向よりも個別液室幅方向の変形を大きくできる為、個別液室の排除体積が増加し、ヘッドの高密度化が可能となる。さらに振動板の長手方向先端後端部での基体と振動板の接合界面、若しくは個別液室と振動板を基体で一体に作製したときのフリンジ部への過大な負荷を低減し、剥離、破損による個別液室からインクが漏れるといった耐久性を向上できる。
【解決手段】 四方を基体に固定された縦横比が異なる振動板上に形成された下電極と圧電／電歪体と上電極からなる圧電／電歪素子の下電極と圧電／電歪体と上電極の少なくともひとつが、振動板の長手方向に対して垂直若しくは角度を有して複数の櫛歯を有する櫛歯形状に配列された圧電／電歪アクチュエータをオンデマンドインクジェットプリンタヘッドに用いる。 （もっと読む）

【課題】 消費電力が低く、耐久性が高い液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で支持し、発熱体の支持
部の幅を発熱体の他の部分の幅よりも広くする。 （もっと読む）

【課題】 吐出量の異なるインク滴を吐出するヘッドにおいて、高速記録と高画質の双方を達成するためのインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 インク供給口から大ヒーターまでの長さより、インク供給口から小ヒーターまでの長さが長く、小吐出口から吐出される吐出量は２ｐｌ未満であり、大吐出口から吐出されるインクは、ヒーターにより形成される気泡が大気と連通することなく消泡することで吐出され、小吐出口から吐出されるインクは、ヒーターにより形成される気泡が大気と連通することで吐出される。 （もっと読む）

【課題】振動板の駆動耐久性を良好に維持しつつ圧電素子の駆動による振動板の変形量を向上することができるアクチュエータ装置及びその製造方法、並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】基板１０の一方面側に設けられた下電極６０と下電極６０上に設けられた圧電体層７０と圧電体層７０上に設けられた上電極８０とからなる複数の圧電素子３００を有し、圧電素子３００の短手方向の断面における各圧電素子３００の圧電体層７０の厚さは、両端部側が中央部よりも相対的に厚くなっているようにする。 （もっと読む）

【課題】 選択される圧力室のアスペクト比に対応して高吐出効率、低吐出ばらつき及び高信頼性を兼ね備えた液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】 圧電体６２のうちで下部電極６１および上部電極６３に挟まれており圧電体６２の変位に寄与する活性領域６２ａの面積が、圧力室５２の凹部断面積よりも小さく、圧力室５２のアスペクト比（ＣＷｙ／ＣＷｘ）が２乃至５である場合に、圧力室５２の短手方向における圧電体６２の活性領域６２ａの幅ＤＷｘと圧力室５２の幅ＣＷｘとの比（ＤＷｘ／ＣＷｘ）は、０．４乃至０．７５であり、且つ、圧力室５２の長手方向における圧電体６２の活性領域６２ａの幅ＤＷｙと圧力室５２の幅ＣＷｙとの比（ＤＷｙ／ＣＷｙ）は、Ｌｎを自然対数とし、圧力室５２のアスペクト比Ａ（＝ＣＷｙ／ＣＷｘ）を変数ｘとして、０．１３３×Ｌｎ（ｘ）＋０．７３１２を中心値とした±０．０５の範囲内とした。 （もっと読む）

【課題】圧電性能に優れたペロブスカイト型酸化物を提供する。
【解決手段】下記一般式（Ｐ）で表される組成を有するペロブスカイト型酸化物の製造方法において、下記式（１）〜（４）の関係を充足する条件で、組成を決定する。（Ａ，Ｂ，Ｃ）（Ｄ，Ｅ，Ｆ）Ｏ_３・・・（Ｐ）、０．９８≦ＴＦ（Ｐ）≦１．０１・・・（１）ＴＦ（ＡＤＯ_３）＞１．０・・・（２）ＴＦ（ＢＥＯ_３）＜１．０・・・（３）ＴＦ（ＢＥＯ_３）＜ＴＦ（ＣＦＯ_３）＜ＴＦ（ＡＤＯ_３）（４）（式中、Ａ〜Ｆは各々１種又は複数種の金属元素、ＴＦ（Ｐ）は上記一般式（Ｐ）で表される酸化物の許容因子、ＴＦ（ＡＤＯ_３）、ＴＦ（ＢＥＯ_３）、及びＴＦ（ＣＦＯ_３）はそれぞれ（）内に記載の酸化物の許容因子である。） （もっと読む）

【課題】マルチノズル型ヘッドの各ノズルから吐出されたインク液滴の吐出速度のばらつきを低減することによって、インク液滴の着弾ずれに起因するスジや色ムラを低減するインクジェット記録システムの提供。
【解決手段】加圧室壁面の一部が圧電素子８で構成された液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録システムは、インクに含まれる顔料の平均体積粒子径Ｄ（ｎｍ）が８０≦Ｄ≦２００であり、且つ下記式（１）を満たす。


[式中、Ｒａは加圧室壁面を構成する圧電素子表面の算術表面粗さ（ｎｍ）、Ｄは平均体積粒子径（ｎｍ）である。] （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れた非鉛系の圧電体を用いた圧電体素子、該圧電体素子を有する液体吐出ヘッド及び超音波モーターを提供する。
【解決手段】基板上に、圧電体及び該圧電体に接する一対の電極を有する圧電体素子であって、前記圧電体が、式（１）
（Ｂｉ，Ｂａ）（Ｍ，Ｔｉ）Ｏ₃ （１）
（式中、Ｍは、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｓｃ、Ｉｎ、Ｇａ、Ｙｂ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｏ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｎｂ、Ｔａ及びＷから選ばれる１種の原子又は２種以上の原子の組合せを示す。）で表されるペロブスカイト型酸化物からなる。 （もっと読む）