【課題】プラズマ状態を安定させ、かつ、好適な成膜条件によって、良質な膜を成膜できる成膜装置および成膜方法、これらによって成膜した圧電膜、および、この圧電膜を用いる液体吐出装置を提供することにある。
【解決手段】真空容器と、ターゲットホルダと、基板ホルダと、ターゲットホルダと基板ホルダとの間に、プラズマ中のイオンを補足するために、基板ホルダのターゲットホルダ側の外周を取り囲むように設けられたアノードとを有し、アノードは、板状部材を１枚または複数枚重ねたものであり、真空容器内にガスを導入し、ターゲットホルダと基板ホルダとの間に、電圧をかけてプラズマを生成し、成膜用基板上に成膜材料の薄膜を形成することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド駆動部及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】上面に溝が形成された振動板と、上記溝の底面及び側壁を覆うように形成された第１電極と、上記溝を埋めるように上記第１電極上に形成された圧電体及び上記圧電体上に形成された第２電極を含むインクジェットヘッド駆動部を提供する。本発明によれば、薄膜圧電体及び振動板を備えて振動変位が大きく駆動電圧が低いインクジェットヘッド駆動部及びこれを製造する方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】複雑な回路構成を必要とすることなく、内部に溜まった気泡を効果的に排出することが可能な流体噴射ヘッド及び流体噴射装置を提供する。
【解決手段】記録ヘッドは、連通孔から供給されるインクを一次貯留するインク貯留室と、該インク貯留室に貯留されたインクを互いに並列状に配置された複数の第２インク供給路を介してそれぞれ供給される複数の圧力室４４と、該各圧力室４４の圧力をそれぞれ変化させるために圧力室４４毎に配設される複数の振動部３５と、該各振動部３５の駆動に基づいて各圧力室４４に収容されているインクをそれぞれ噴射させるための複数のノズル開口２２とを備える。そして、各振動部３５のうちで連通孔から最も遠い位置に配置された振動部３５である特定振動部３５Ａの前後方向における幅を、各振動部３５の中で最も大きくなるようにした。 （もっと読む）

【課題】吐出された液滴の着弾精度を向上し、記録画像の高画質化、高速化を図ること。
【解決手段】本発明の記録ヘッドＩＪＨには、インク供給口５００から圧力室２００にインクが供給されるインク供給方向に直交する方向への幅が、インク供給方向に直交する方向への圧力室の幅よりも小さく形成されたインク流路を有している。そして、記録ヘッドＩＪＨにおいて、ヒータ４００のインク供給方向に沿う中心が、圧力室２００のインク供給方向に沿う中心よりも圧力室２００におけるインク供給方向の奥側へオフセットされて配置されている。 （もっと読む）

【課題】狭ピッチ化を図ると共に、簡単な構成でノズル孔内への接着剤の流れ込みを効果的に防止でき、吐出不良防いで高品質化を図ること。
【解決手段】液体が充填される複数の溝部３５が形成されたプレート３０と、溝部に液体を導入させる導入孔３１ａが形成されたカバープレート３１と、プレート３０の端面に接着剤を介して固定され、横幅（Ｘ）方向に溝部と同じ間隔でノズル孔３３ａが形成されたノズルプレート３３と、ノズルプレートとプレート３０との間に設けられ、外形輪郭線がノズル孔の外形輪郭線から少なくとも一定距離以上離間した状態でノズル孔の周囲を囲み、ノズルプレートの固定時に余った接着剤を溜め込むと共に、ノズル孔と溝部とをそれぞれ連通させる逃げ孔３４ａと、を備え、ノズル孔及び逃げ孔は、隣り合うノズル孔及び逃げ孔に対してノズルプレートの縦幅（Ｚ）方向に所定距離だけずれた状態で配列されたヘッドチップ２１を提供する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性のよい圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備し、前記圧電体層が、厚さが５μｍ以下で且つペロブスカイト型結晶からなると共に、前記圧電体層を、前記流路形成基板の（２２０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ａと、前記圧電体層の（１１０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ｂとの間隔が、２θ＝１６．２６２±０．１度の範囲内となるようにする。 （もっと読む）

【課題】 インク供給源を挟んで対向するノズル列同士の配列密度が異なるインクジェット記録ヘッドにおいて、各ノズルのヒータを配列密度に応じた最適な形状に近付ける。
【解決手段】 ヒータを駆動するスイッチ（MOSトランジスタ）のオン抵抗を配列密度の低い側よりも配列密度の高い側の方が高くなるようにする。それによって、配列密度の低い側のヒータにおいて、縦横アスペクト比を１に近付ける形状にすることができ、配列密度の高い側のヒータにおいて、縦横アスペクト比をノズル配列方向が極力短くなる形状にすることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電体素子を収納する封止ケース内の雰囲気を長期間にわたり低湿度環境に保ち、水分による圧電体素子のリーク電流の発生を抑え、圧電体素子の絶縁破壊を防ぎ、長期にわたって安定的に駆動が可能なインクジェットヘッド、およびこのインクジェットヘッドを用いたインクジェット式記録装置を提供することを目的とする。
【解決手段】インクを吐出する圧力を生成する圧電体素子と、この圧電体素子を収納する封止ケース２１と、この封止ケース２１と連結され、封止ケース２１内を乾燥させる着脱可能な乾燥ユニット２４とを有し、封止ケース２１と乾燥ユニット２４を連結した際に、封止ケース２１および乾燥ユニット２４の内部圧力が大気圧よりも低くなるように構成した。 （もっと読む）

【課題】配線基板を圧電ユニットから剥がれにくくする。
【解決手段】配線基板３の端子部形成領域Ｂを露出させるよう配線基板３に被覆層４４を形成する工程と、端子部形成領域Ｂと被覆層４４の端部４４ａとを覆って未硬化の合成樹脂層５２を形成する工程と、配線基板３を圧電ユニット５に重ね、圧電ユニット５の駆動電極６上に設けられたバンプ５１を未硬化の合成樹脂層５２を貫通させて端子部４３ａと接触させ、且つ、被覆層４４の端部４４ａに塗布された未硬化の合成樹脂層５２を圧電ユニット５の表面に接触させる工程と、未硬化の合成樹脂層５２を硬化させる工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位特性を向上し高速駆動を実現できると共に圧電体層の破壊を抑制
して耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエー
タを提供する。
【解決手段】圧電体層７０の端面がその外側に向かって傾斜する傾斜面で構成されており
、各圧電素子３００を構成する下電極６０が圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成され
ていると共に圧電体層７０が下電極６０よりも広い幅で形成されて当該下電極の端面が前
記圧電体層によって覆われており、振動板５０の最表層が酸化チタン（ＴｉＯ_x）からな
る絶縁体膜５２で構成され、下電極６０の最表層がニッケル酸ランタン（ＬａＮｉ_yＯ_x）
からなる配向制御層６２で構成され、且つ配向制御層６２及び少なくとも配向制御層６２
上の圧電体層７０ａが、ペロブスカイト構造の結晶からなり且つ結晶面方位が（１１３）
に優先配向している構成とする。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成される圧電体膜であって、結晶配向性が高く、かつ表面側から基板側に向かう向きの自発分極を有する圧電体膜を提供する。
【解決手段】基板Ｂ上に、キュリー点以上の成膜温度でスパッタ法により圧電体膜５３を成膜し、該成膜後、圧電体膜５３の温度がキュリー点以下に低下する前に、該圧電体膜５３に対して該圧電体膜５３の表面側から基板Ｂ側に向かう電界Ｅ₁を生じさせ、分極処理を開始し、電界Ｅ₁を生じさせた状態で、圧電体膜５３の温度をキュリー点以下に下げる。 （もっと読む）

【課題】圧電膜等のパターニングに有効であり、パターン形状精度が良好で、パターニングが容易で低コストな新規な無機膜のパターニング技術を提供する。
【解決手段】無機膜３０は、単数又は複数の凸部３１からなる所定パターンを有する膜であり、表面酸化レベルが低い低酸化部２１と表面酸化レベルが高い高酸化部２２とを有する金属膜２０を下地として形成され、単数又は複数の凸部３１が低酸化部２１上にパターン形成されたものである。無機膜３０は、低酸化部２１と高酸化部２２とを有する金属膜２０上にベタ無機膜３０Ｘを成膜した後、ベタ無機膜３０Ｘの高酸化部２２上に位置する部分を除去して、製造することができる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子のエネルギー変換効率を向上させた液滴吐出装置を得る。
【解決手段】Ｖ／ｔ_ｐ＝２・σ_ｉ・ｔ_ｉ／ｄ_３１・Ｅ_Ｐ・ｔ_ｐの関係式から、保護膜厚ｔ_ｉに合わせて保護膜６０の応力σ_ｉを設定することで、圧電素子５２のエネルギ効率を良好にすることができる。つまり、保護膜６０の膜応力を利用することにより、アクチュエータ６２の変位量は低下するが圧電素子５２のエネルギ変換効率を大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】個々に駆動信号の電圧値を設定することなく所望の特性を得ることができる液体噴射ヘッドの製造方法及びアクチュエータ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ装置の製造方法は、基板１０上に設けられる下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０をこの順で積層してなる薄膜型の圧電素子３００を有し、下電極及び上電極間に電圧を印加することにより、圧電素子を撓み変形させるアクチュエータ装置の製造方法であって、圧電素子に、電圧を印加して圧電体層を分極させる分極工程と、圧電素子を４０〜１００℃で加熱する加熱工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡略化され、各構成部材のずれによる噴射特性の低下が低減し、流路形成基板とノズルプレートの材質の違いによる熱膨張率差で生じる変形や剥離が少なく、噴射特性の低下の減少した液体噴射ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】ノズル形成層２０を流路形成基板１０に形成した後に、ノズル形成層２０にノズル開口２１を形成する。その後、圧力発生室１２を形成するので、ノズル開口２１が形成されたノズルプレートを接着する必要がなく、構造が簡単で位置ずれの少ないインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。また、ノズル形成層２０および流路形成基板１０の材質が、同じシリコンなので熱膨張差が少なく、温度差による変形や剥離を少なくでき、噴射特性の安定したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド内においてインクの循環が円滑に行なわれ、インクジェットヘッドチップの小型化を図ることができると共に、電気的に長期信頼性を得ることができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ホルダ部３は、複数の個別インク溝６の一端側において複数の個別インク溝６と連通する第１共通インク溝１１を有すると共に複数の個別インク溝６の他端側において複数の個別インク溝６と連通する第２共通インク溝２１を有する。個別インク溝６の両端は、圧電基板１の両端面に開口し、個別インク溝６の内面には、第１の電極部が設けられている。圧電基板１の一方の端面には、第１の電極部に電気的に接続する第２の電極部が、各個別インク溝６に対応するように、設けられている。個別インク溝６を形成する隔壁２０の上面には、段差部１９が設けられている。この段差部１９は、隔壁２０の上面よりも低くかつ個別インク溝６の底面よりも高くに位置する。 （もっと読む）

【課題】ノズルへのインクの再供給時間が長くなるのを防ぎ、隣同士のノズル間のクロストークを低減したインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクを吐出させる吐出エネルギー発生素子と、吐出エネルギー発生素子にインクをインク供給口から共通液室を介して導く液流路と、を有している。そして、隔壁を介して隣り合う２つの液流路をつなぐ共通液室に、インクに対する流体抵抗が２つの液流路のうち一方から他方への場合と他方から一方への場合とで異なるノズル間流路が設けられた構成である。 （もっと読む）

【課題】より低い電圧でより大きな振動板の変位を得ることができる静電アクチュエータ、およびそれを利用した液滴吐出ヘッドを提案すること。
【解決手段】可撓性を有した振動板１０１と、振動板１０１にギャップ１０２を隔てて対向する対向電極１０３と、振動板１０１の対向電極１０３との対峙部に形成された絶縁膜とを備え、その絶縁膜を、酸化シリコンよりも比誘電率が高く、振動板１０１と対向電極１０３との間に印加した電圧に応じて歪む圧電体の膜１０４とした静電アクチュエータ。また、その静電アクチュエータを利用した液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】有用なインクジェットプリントヘッド、プリンタシステム、および泡形成液体の液滴を射出する方法を提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドは、泡形成液体が収容される複数のチャンバと、上記複数のチャンバを画成する、厚さが５ミクロン未満である構造体と、上記構造体に組み込まれた複数台のノズルであって、各ノズルが上記チャンバと一対一に対応する、当該複数台のノズルと、各ノズルに対応し各チャンバ内に配置された少なくとも１台のヒーター素子と、を備え、各ヒーター素子が上記泡形成液体と熱接触するように設けられ、各ヒーター素子が、上記泡形成液体内に気泡を形成し、これにより、当該ヒーター素子に対応する上記ノズルを通して上記泡形成液体の液滴を射出させるため、上記泡形成液体の少なくとも一部分を加熱するように構成され、各チャンバ内の圧力は、約１気圧である。 （もっと読む）

【課題】ヒータを多数高密度に配列し、その配列方向に対して直角方向のサイズ増大を最小限に抑え最適なレイアウト構成としつつ、低コストで高速かつ高精細な記録が可能なヘッド基板を提供することである。
【解決手段】抵抗値の小さいヒータをインク供給口に近くに、抵抗値の大きいヒータをインク供給口より遠くになるようにしてこれらを交互にインク供給口の長手方向に複数、千鳥状にヘッド基板上に配列する。そして、抵抗値の小さいヒータにはインク供給口の長手方向の直角方向に関してサイズの大きいトランジスタを、抵抗値の大きいヒータにはインク供給口の長手方向の直角方向に関してサイズの小さいトランジスタを接続するように、これらを交互に複数配列する。 （もっと読む）