【課題】 圧電素子の変位低下が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに変位低下を抑制することができる圧電素子を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する液体流路が設けられた流路形成基板上に、第一電極と、鉛、ジルコニウム、及びチタンを少なくとも含有する圧電体膜を複数層積層してなる圧電体層と、第二電極とからなる圧電素子を備え、前記圧電体層の表面をＸ線回折広角法により測定した（１００）面半価幅が０．２６２度以下であると共に、各圧電体膜の焼成後の膜厚が１４０ｎｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】振動板が周辺液室からの残留振動の伝播により自由振動を起こす薄膜タイプの圧電素子構成の液滴吐出ヘッドにおいて、異常吐出を防止するための制御方法を提供する。
【解決手段】複数のノズル孔２０を有するノズル板２と、ノズル孔２０のそれぞれに連通するとともに、共通液室を介して連通された複数の吐出室１４を有する隔壁基板１と、吐出室１４の少なくとも一方の壁を構成する振動板Ａと、振動板Ａの一面に設けた電極８に密接し、かつ複数の吐出室に対応する複数のチャネルに分割され、圧電変位して振動板Ａを変位させる圧電素子Ｂと、を備えた液滴ヘッドの制御方法において、複数のノズル孔２０から液滴を吐出するとき、駆動チャネルを駆動させた際に発生した振動板Ａの自由振動により非駆動チャネルに対応する液室が拡張しないように保持する電位を非駆動チャネルに入力するように電圧源Ｖｓを制御装置Ｃｔｒによって制御する。 （もっと読む）

【課題】 ノズル配置の高密度化と、圧電アクチュエータによる振動板の変位量の増大とを同時に実現することが可能な液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び該液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】 圧電層１１０の中心部（圧力室１０６の中心部と重なる領域）には中央電極１１６が形成されている。中央電極１１６は、環状の上部電極１１４内に接しないように形成されている。中央電極１１６は、圧電層１１０の開口部１１０Ｈを通じて、下部電極１０８と電気的に接続されており、下部電極１０８を介して接地されている。上部電極１１４に負の電荷が印加されると、圧電層１１０は、下部電極１０８から上部電極１１４に向かう方向に分極するとともに、中央電極１１６から上部電極１１４に向かう方向に分極する。このため、上部電極１１４と中央電極１１６との間に縦方向の歪み（縦方向の変位）が発生するので、振動板１０４の撓み変位量が増大する。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板全体の温度上昇を抑えながら記録ヘッドのサイズを小さくすることが可能なインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】ノズル列を挟んで形成されたインク供給口列のうち、共通液室の端部に近いインク供給口列のインク供給口同士の間の記録素子基板（記録素子基板）の部分（梁）の熱抵抗を小さくする。 （もっと読む）

【課題】封止板を効率よく加工することにより工数が減少された、液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッド１０００の製造方法は、基体１００の上方に圧電素子２００を形成する工程と、封止板３００を形成する工程と、基体１００の上方に封止板３００を設け、圧電素子２００を封止する工程と、を含み、封止板３００を形成する工程は、ガラス基板３１０を準備する工程と、ガラス基板３１０にレーザー光１０を照射してエッチング領域３１２を形成するレーザー照射工程と、エッチング領域３１２をウエットエッチングによって除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】小型化ならびに圧電振動子の設計裕度の拡大が図れる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル開口１１、圧力発生室３１、圧力発生室３１の容積を膨張・収縮するための振動板４１、振動板４１に隣接した圧電振動子８１を備えた液滴吐出装置において、圧電振動子８１のノズル列方向の最外端部にダミー圧電振動子８３が設けられ、圧電振動子８１は、駆動パルスの印加によって伸縮する方向の一端側が支持部材８２に固定され、他端側は自由端となり、圧力発生室３１に対向した領域にある圧電振動子８１の前記自由端面に、その自由端面よりも低い部分８４が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】最外層の圧電体層が不活性層であっても圧電素子を良好に変位させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子が、複数層の圧電体層２１とこれらの圧電体層２１の間に交互に配される第１の内部電極２２及び第２の内部電極２３とを有し、最外層の圧電体層２１ａ，２１ｂのそれぞれが圧電変形しない不活性層となるように構成されており、且つ最外層の圧電体層２１ａ，２１ｂの少なくとも一方の厚さが最外層以外の圧電体層２１ｃの厚さ以下である構成とする。 （もっと読む）

【課題】結晶性に優れ、圧電特性を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法、アクチュエーター装置の製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２に圧力変化を生じさせると共に、第１電極６０と該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０と該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に設けられた第２電極８０とを有する圧電素子３００と、を具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、流路形成基板１０の上方に圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜上にペロブスカイト型構造を有する金属酸化物からなり、前記第２電極８０の少なくとも一部を構成する電極層を形成する工程と、前記電極層を形成後、前記圧電体前駆体膜を熱処理して結晶化させ、前記圧電体層７０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】耐久性の低下を抑制して圧電特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２に圧力変化を生じさせると共に、下電極６０と該下電極６０上に形成された圧電体層７０と該圧電体層７０上に形成された上電極８０とを具備する圧電素子３００と、を具備し、前記上電極８０は、イリジウム含有層８１と、前記イリジウム含有層８１上に形成され、イリジウムよりもヤング率の低い材料からなる電極層８２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された基板と、圧電体層、圧電体層の下方側に形成された下電極膜及び圧電体層の上方側に形成された上電極膜を備えた圧電素子とを、有する液体噴射ヘッドにおいて、圧電体層への水分の付着及び浸入による絶縁破壊に対して抑制効果を十分得ることのできる液体噴射ヘッドの提供。
【解決手段】上電極膜８０は、圧力発生室１２に対向する領域の圧電体層７０の上面及び側面の略全域を覆って設けられている。そして、圧電体層７０を構成する厚肉部７０ａの側面７１が傾斜面を形成している。この傾斜角度は、流路形成基板１０の平面視方向即ち絶縁体膜５５の表面に対して５°〜７５°の範囲となっている。 （もっと読む）

【課題】液体を吐出する吐出口と、吐出口と連通する個別液室と、個別液室の内側面の一部をなす振動板と、該振動板を変形させることで前記個別液室の容積を変化させるアクチュエータと、を備え、アクチュエータに個別液室を膨張、収縮、再膨張、再収縮させるための駆動信号を入力することで液体を吐出させる液体吐出方法において、駆動信号入力完了後のメニスカスのオーバーシュートを防止して、突き出し液柱の屈曲を要因とした液体吐出方向の偏向を抑制する。
【解決手段】上記駆動信号入力完了後に出現する振動板の極小変位に対し、当該出現後から吐出口側にて液柱切断部が観察される時点までの振動板変位が極小変位を下回らないように、個別液室を膨張させるための波形部分と、個別液室を初期容積に戻すための波形部分とを含む補助駆動信号をアクチュエータに入力する。 （もっと読む）

【課題】セラミック振動板の破壊を低減して耐久性及び信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２の一方面側に設けられたシリコン酸化膜５０と、該シリコン酸化膜５０の前記圧力発生室１２とは反対側に設けられたセラミック振動板５５と、前記セラミック振動板５５の上方に設けられて、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生素子３００と、を具備し、前記シリコン酸化膜５０と前記セラミック振動板５５との間には、貴金属材料からなる金属膜５６を有する。 （もっと読む）

【課題】他の液体吐出流路の動作状態に影響を受けることなく各液体吐出流路から液体を吐出させる。
【解決手段】一表面に開口し平行間隔をあけて形成された複数の吐出溝１３を有するアクチュエータ基板３と、アクチュエータ基板３の一表面に接合され、アクチュエータ基板３とは反対側の表面に開口する共通インク室１７および共通インク室１７から吐出溝１３に貫通する複数のスリット１９が設けられたカバープレート基板５と、共通インク室１７の開口をほぼ閉塞する位置に、全てのスリット１９の端部から略一定距離に配置される平坦面を有するフィルタ５０とを備える液体噴射ヘッドチップ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状や別部品が不要で構造を単純化する。
【解決手段】一表面に開口し平行間隔をあけて形成された複数の吐出溝１３を有するアクチュエータ基板３と、アクチュエータ基板３の前記一表面に接合され、上端面に開口する開口面１７Ａを有する共通インク室１７と共通インク室１７から吐出溝１３に貫通する複数のスリット１９とを有するカバープレート開口部１６、および、上端面と板厚方向に延びる一端面とを連通する空気抜き流路７１Ａがそれぞれ独立して設けられたカバープレート基板５とを備え、共通インク室１７の開口面１７Ａを略閉塞する位置に異物を除去する異物除去フィルタ２９が配置され、空気抜き流路７１Ａの開口を略閉塞する位置に異物除去フィルタ２９より通過抵抗が小さい気泡通過フィルタ７３が配置されている液体噴射ヘッドチップ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子柱を有する圧電素子部材を用いた液体吐出ヘッドにおいて、端部の圧電素子柱の変位が他の圧電素子柱と異なることによる、ノズル間での液滴の吐出特性のばらつきを低減できる画像形成装置の提供。
【解決手段】複数の圧電素子柱を配列した圧電素子部材を有し、端部の圧電素子柱に印加する共通駆動波形を生成する第２共通駆動波形発生部５４１Ｂと、端部以外の他の圧電素子柱に印加する共通駆動波形を生成する第１共通駆動波形生成部５４１Ａを備え、端部の圧電素子柱に印加する駆動電圧を端部以外の圧電素子柱に印加する駆動電圧よりも高く設定した。 （もっと読む）

【課題】変位時の応力集中を抑制して圧電素子の耐久性を向上することが可能な圧電素子、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧電体層１５と、圧電体層の下面に形成された第１の電極としての下電極膜１４と、圧電体層の上面に形成された第２の電極としての上電極膜１６と、を積層状態で有する圧電素子６であって、圧電体層は、５μｍ以下の膜厚であり、下面と平行な平坦部１５ａと、当該平坦部から下面側に向けて下り傾斜した側面部１５ｂとを有し、上電極膜は、平坦部と平行な中央部１６ａと、当該中央部から平坦部に向けて下り傾斜した傾斜部１６ｂとを有し、側面部の下面に対する傾斜角θｐよりも傾斜部の平坦部に対する傾斜角θｕが緩やかであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より高い周波数で液滴を吐出可能な液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明は、圧電振動子（１８）を、互いに積層された上層圧電体（２４）及び下層圧電体（２５）と、これらの上層圧電体（２４）及び下層圧電体（２５）の境界に形成され、駆動信号の供給源に導通される駆動電極（２３）と、上層圧電体（２４）の表面に形成される共通上電極（２６）と、下層圧電体（２５）の表面に形成される共通下電極（２７）とを備える多層構造の圧電振動子（１８）によって構成すると共に、ノズル開口（１０）及びインク供給口（５）のイナータンスを、圧力発生部（６，１３，１６）のイナータンスよりも大きく設定する。 （もっと読む）

【課題】単一のインクジェット記録ヘッドにおいて、記録液の液滴の大きさおよび量を変えて吐出可能であり、高速記録と高密度および高品位記録とをともに達成し、しかも低コスト化や構成の小型化および簡略化を図る。
【解決手段】１枚の第１プレートＨ１２００上に、２つの記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１１０１が搭載されている。ブラックインクが供給されてこれを吐出させる第１の記録素子基板Ｈ１１００では、記録素子Ｈ１１０３と吐出口Ｈ１１０７との間の距離が長く、収容されるインク量が多いため、大ドットでベタ印字などが効率よく行える。カラーインクが供給されてこれを吐出させる第２の記録素子基板Ｈ１１０１では、記録素子Ｈ１１０３と吐出口Ｈ１１０７との間の距離が短く、収容されるインク量が少ないため、小ドットで高精細な高品位記録が可能である。 （もっと読む）

【課題】低抵抗性で耐熱性に優れた低抵抗金属層と、この低抵抗金属層上に形成され、結晶配向性および均質性に優れ、かつ、表面粗さの小さい高品質な圧電体層とを備える積層体、この積層体を用いて得られる圧電素子、およびこの圧電素子を用いて高密度に配置でき、微少量の液滴であっても、正確かつ確実に安定して吐出することができる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】基板と、基板上に形成される積層構造の低抵抗金属層と、低抵抗金属層上に形成される圧電体層とを有する積層体であって、低抵抗金属層は、基板上に形成され、金からなる金層と、金層上に形成され、低抵抗金属層の最表層に配置される金属層とを備え、金層と圧電体層との間の厚みが、２００ｎｍより大きいことにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】低抵抗性で耐熱性に優れ、表面凹凸が小さい低抵抗金属層を備える積層体、このような積層体上に形成され、膜質のバラツキや表面粗さの小さい高品質な圧電体層を備える圧電素子、およびこの圧電素子を用いた液体吐出装置を提供する。
【解決手段】圧電素子１０は、積層体３０を用いるもので、基板１２、熱酸化膜１４、密着金属層１６、金含有層１８、密着金属層２０、金属層２２、圧電体層２４、上部電極層２６をこの順で積層した積層構造を有する。密着金属層１６、金含有層１８、密着金属層２０および金属層２２は、電極層、特に、下部電極層として用いられる低抵抗金属層２８を構成し、基板１２、熱酸化膜１４および低抵抗金属層２８は、積層体３０を構成する。 （もっと読む）