【課題】気泡が滞留するのを防止して液体供給特性及び液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 保護基板３０には、複数の圧力発生室１２の共通の液体室となるリザーバ部３１が圧力発生室１２の並設方向に亘って設けられていると共に、リザーバ部３１が、保護基板３０を厚さ方向に貫通して設けられた第１のリザーバ部３３と、流路形成基板１０とは反対側の面であって保持部３２に相対向する領域側に第１のリザーバ部３３に連通して設けられた凹形状を有する第２のリザーバ部３４とを具備し、第２のリザーバ部３４が、導入口４６に相対向する領域に圧力発生室１２の長手方向に亘って第１のリザーバ部３３に達するまで設けられた深溝部３５と、深溝部３５の圧力発生室１２の並設方向両側に設けられて深溝部３５よりも深さの浅い浅溝部３６とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】振動板の剛性を高め、破壊を防ぎつつ、振動板の軽量化を実現し、製造歩留まりを向上し、併せて圧電素子の駆動効率を上げ、圧電素子の消費電力を低下させる。
【解決手段】内部に中空の圧力発生室２０２を有する単結晶シリコンからなる流路形成基板２０１に、圧力発生室２０２の一面側を構成する振動板２１４を介して圧電素子１０３を配置した流体移送装置において、振動板２１４が、圧力発生室２０２の内面から順に低密度構造体２１４ｂと高密度構造体２１４ａの層を有する。振動板２１４は、平面方向全体に低密度構造体２１４ｂと高密度構造体２１４ａを有するか、流路形成基板２０１の本体に対して支持される端部の圧力発生室２０２の内側に低密度構造体２１４ｂを欠いた厚さが薄い溝部分を有するとしてもよい。 （もっと読む）

【課題】良好な圧電特性を有し、簡易なプロセスにて製造可能とする圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子は、プラズマを用いる気相成長法により、基板上に電極を介して圧電膜が成膜されている。圧電膜は１種又は複数種のペロブスカイト型酸化物（不可避不純物を含んでいてもよい）であって、基板面に対して非平行方向に延びる多数の柱状結晶体１７からなる柱状構造膜１３からなる。柱状構造膜１３の表面において観測される多数の柱状結晶体１７の端面１７ｓが、端面１７ｓの最小の外接円の径ｒが１００ｎｍ以下から５００ｎｍ以上に亘って分布する大きさを有しており、かつ外接円の径ｒが１００ｎｍ以下のものを２０％以上、５００ｎｍ以上のものを５％以上含むものであり、柱状構造膜１３の表面粗さＲａが１０ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】振動板の破壊を抑制して耐久性及び信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に振動板を介して設けられた圧力発生素子３００とを具備し、前記振動板が、前記圧力発生室１２側に設けられた第１の膜５０と、前記圧力発生素子３００側に設けられた第２の膜５１と、前記第１の膜５０と第２の膜５１との間に設けられて、当該第１の膜５０及び第２の膜５１よりも熱膨張係数が大きな材料からなる応力付与層５２とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】ＰＺＴ系のペロブスカイト型酸化物において、焼結助剤ややアクセプタイオンを添加することなく、Ａサイトに５モル％以上のドナイオンを添加することを可能とする。
【解決手段】本発明のペロブスカイト型酸化物は、下記式（Ｐ）で表されることを特徴とするものである。
（Ｐｂ_{１−ｘ＋δ}Ｍ_ｘ）（Ｚｒ_ｙＴｉ_１−ｙ）Ｏ_ｚ・・・（Ｐ）
（式中、ＭはＢｉ及びランタニド元素からなる群より選ばれた少なくとも１種の元素である。０．０５≦ｘ≦０．４。０＜ｙ≦０．７。δ＝０及びｚ＝３が標準であるが、これらの値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準値からずれてもよい。） （もっと読む）

【課題】サテライトやミストの発生を抑えつつ、小液滴化されたインク滴を高周波で吐出できる信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】エネルギ発生素子４が配された発泡室８と、エネルギ発生素子８との対向位置に設けられた吐出口７とは、吐出口部６によって連通している。吐出口部６は、インク供給流路９に沿って流れるインクの供給方向において、吐出口７の中心よりも奥側に位置する領域Ｒ１が、吐出口７の中心よりも手前側に位置する領域Ｒ２よりも、インクに対する流動抵抗が小さくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動板の剛性を向上して耐久性を向上すると共に信頼性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に各々連通する複数の圧力発生室１２と、圧力発生室１２の間の壁部１１の両側の振動板側に設けられた切欠部１６とを具備する流路形成基板１０と、流路形成基板１０の他方面側の表面から切欠部１６の内壁上に亘って連続して設けられて、圧力発生室１２と切欠部１６とを区画する振動板と、振動板を振動させる駆動部３２０とを具備し、圧力発生室１２の短手方向の内壁を切欠部１６の内壁Ａよりも内側で、且つ切欠部１６の内壁上に設けられた振動板の表面Ｂよりも外側となる位置で設ける。 （もっと読む）

【課題】ジルコニウム酸化物結晶の異常成長を防止することによって、厚さが均一で緻密なジルコニウム酸化物層が形成されたアクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】熱酸化によって生成されたケイ素酸化物層（弾性膜５０）を表面に有する基板１０上にジルコニウム酸化物層（絶縁体膜５５）を介して変位可能に設けられた下電極（下電極膜６０）、圧電体層７０及び上電極（上電極膜８０）からなる圧電素子３００を具備し、前記ケイ素酸化物層（弾性膜５０）と前記ジルコニウム酸化物層（絶縁体膜５５）の間に、チタン酸化物、ハフニウム酸化物、アルミニウム酸化物、カルシウム酸化物、希土類酸化物からなる群から選択される少なくとも１種の材料からなる中間層（中間膜５３）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電性や耐電圧を下げることなく基板と下電極の密着性を簡便に向上し、耐久性を向上させる液体吐出ヘッドに用いられる圧電体素子を提供する。
【解決手段】少なくとも振動板１０３と、密着層１０４，１０５、下電極１０６、圧電体層１０７、上電極１０８がこの順に構成された圧電素子において、上電極１０８の幅Ａ、圧電体１０７の幅Ｂ、下電極１０６の幅ＣがＡ＜ＢかつＡ＜Ｃの関係であり、かつ密着層１０４，１０５の厚さが圧電体層１０７に対応する領域において、上電極１０８と対応する領域より上電極１０８と対応しない領域の少なくとも一部分の方が厚いことを特徴とする。または、密着層材料が圧電体層１０７に対応する領域において、上電極１０８と対応する領域と上電極１０８と対応しない領域の少なくとも一部分とが異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電体薄膜の耐電圧特性を向上し、さらに圧電特性にも優れた結晶構造を備え、高性能で信頼性の高い圧電体薄膜素子、およびその製造方法を提供すること。また、耐電圧性能や駆動信頼性に優れたインクジェットヘッド、およびこのインクジェットヘッドを搭載した高性能なインクジェット式記録装置を提供すること。
【解決手段】電極間（第１の電極層１３、第２の電極層１６）に圧電体薄膜層１４を設けた圧電体薄膜素子１５であって、圧電体薄膜層１４は、結晶粒と、この結晶粒の間に形成された結晶粒界を含み、結晶粒界は少なくとも２つの結晶配向を有する多結晶体で構成され、結晶粒界は結晶粒と同一の構成元素を同一の構成比率で含むようにした。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を防止して、安定した変位特性を確保することが可能な液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズルに連通し、かつ側壁１２Ａに囲まれてなるキャビティ１２ａを有するインク室基板１２と、キャビティ１２ａ及び側壁１２Ａに当接して形成された弾性膜１３と、弾性膜１３上に設けられた下部電極４、圧電体膜５、上部電極６からなる圧電素子１４と、を具備し、圧電体膜５の側端面が弾性膜１３に対して傾斜する傾斜面となっており、且つ圧電体膜５の上に形成される上部電極６が圧電体膜５の側端面の一部を覆って設けられている。 （もっと読む）

【課題】電界クロストークの影響を激減させ、インク吐出性能の安定化を図り得るインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】分極された圧電素子基板に複数の平行な溝を形成することにより、複数のインク流路１と複数の隔壁２とを並設し、隔壁２の両壁面に電極７を形成し、該電極７に電圧を印加することにより、隔壁２をせん断変形させてインク流路１内の圧力を変化させ、インクを吐出させるインクジェットヘッドにおいて、圧電素子基板におけるインク流路１が形成されている面と反対側の面で、且つインク流路１の底面１ａから３００μｍ以内に二つ以上の境界面Ａ、Ｂを有しており、二つ以上の境界面Ａ、Ｂの各々を挟んで隣接する層は、比誘電率が互いに異なることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】構造を複雑化することなく、内部でのインクの循環が行ないやすく、微粒子含有インクの使用に適したインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド２５は、隔壁３によって互いに隔てられた複数のインク溝４１を有する圧電基板１と、圧電基板１の上側を塞いで複数のインク溝４１を複数の個別インク室として規定するノズル板２１と、複数の個別インク室の一端側、他端側において個別インク室と連通する第１共通インク室５、第２共通インク室６をそれぞれ規定するように圧電基板１に取り付けられたマニホールド１１とを備える。複数の個別インク室は、１以上の吐出用インク室と１以上のダミーインク室２ｄとを含む。ノズル板２１は、吐出用インク室に対応する位置にインク吐出のためのノズル孔２０を有し、ダミーインク室に対応する位置にはノズル孔２０を有しない。 （もっと読む）

【課題】圧電体の機械的耐久性と圧電性能とが良好な液体吐出装置を提供する。
【解決手段】液体吐出装置１は、液体が貯留される液体貯留室２１及び液体貯留室２１から外部に液体が吐出される液体吐出口２２を有する液体貯留吐出部材２０上に、振動板３０を介して、下部電極１１と圧電体１３と上部電極１４とを順次備えた圧電素子１０が形成されたものである。圧電体１３は、少なくとも液体貯留室２１の壁面２１Ｗの位置Ｗより外側部分を含む周縁部１３Ａとその他の部分である主要部１３Ｂとが異なる下地上に形成されたものであり、かつ、周縁部１３Ａの破壊応力が主要部１３Ｂの破壊応力よりも大きい特性を有している。 （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れた非鉛系の圧電体を用いた圧電体素子及び該圧電体素子を有する液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】基板１５上に設けられ、圧電体７及び該圧電体に接する一対の電極６，８を有する圧電体素子１０であって、圧電体７は、Ａサイト原子がＢｉからなりＢサイト原子が少なくとも２種の原子で構成されているＡＢＯ₃型ペロブスカイト型酸化物からなり、正方晶、菱面体晶、擬立方晶、斜方晶及び単斜晶のうちの少なくとも２つの結晶相が混在するものである。 （もっと読む）

【課題】基板側の下部電極を個別電極として用いる下部アドレッシング構造の圧電アクチュエータにおける共通電極の電気的接続の信頼性を向上させる。
【解決手段】表面に絶縁層２６が形成された基板２２上に下部電極膜３０、圧電体膜３２、及び上部電極膜３４が順次積層された圧電アクチュエータ１６Ａの製造方法であって、複数の上部電極膜を上部電極膜が配置される面とは異なる面にそれぞれ個別に引き出してから互いに接続して共通電極とする圧電アクチュエータの製造方法の提供。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いた液体吐出ヘッドにおいて、高密度に液体吐出ヘッドノズルを配置した場合でも、吐出時と液体供給時に効率の良い液体の流動を可能にした液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッドが、液体を吐出する複数のノズル８と、それぞれに圧力発生手段５を備えた複数の個別液室２と、共通液室１０と、共通液室と複数の個別液室をそれぞれ連通し、共通液室から個別液室へ液体を供給する液体供給流路９を有している。その液体供給流路が、共通液室との境界部における断面積が個別液室との境界部における断面積より大きくなるように形成される。かつ、液体供給流路の一部を構成する底面１５の深さが、個別液室との境界部よりも共通液室との境界部の方が深く形成される。 （もっと読む）

【課題】分割時にシリコンウェハにかかる応力のばらつきを抑え、シリコンウェハの異常な割れを防ぐことができるシリコンデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】表面の結晶面方位が（１００）面又は（１１０）面であり、デバイス間ブレイクパターン２０４及びデバイス領域２０２と非デバイス領域２０３とを分割するための領域間ブレイクパターン２０５が設けられたシリコンウェハ２００を分割する際に、少なくとも、前記領域間ブレイクパターン２０５上にあり且つ領域間ブレイクパターン２０５の屈折部以外のデバイス間ブレイクパターン２０４の端部であって、該デバイス間ブレイクパターン２０４の端部から（１１１）面方向に沿った方向のシリコンウェハ２００の外周までの距離が最も長いデバイス間ブレイクパターン２０４の端部に相対向する非デバイス領域２０３に溝部２０６を設けた後、シリコンウェハ２００を分割する。 （もっと読む）

【課題】発熱素子１８によって発生する気泡が大気と連通する方式によってインクが吐出される記録ヘッド１０において、キャビテーションの発生を抑制し、耐久性が向上した記録ヘッド１０を提供すること。
【解決手段】記録ヘッド１０は、気泡が最大体積に成長した後の体積減少段階で初めて気泡と大気とが連通する吐出方式によって発泡室１９内部の液体を吐出する。そして、吐出口１４の中心Ｏ２が、発熱素子１８の中心Ｏ１に対してインク供給口１１から吐出口１４に向かう方向にずれて吐出口１４及び発熱素子１８が配置されている。吐出口１４の少なくとも一部が発熱素子１８における実質的に気泡の生成に寄与する有効発泡領域２０の外側に位置している。発泡室１９における発泡室奥側壁２４と発熱素子１８における有効発泡領域２０におけるインク供給口１１に向かう側とは逆側の端部との間の距離は、３μｍ以上有している。 （もっと読む）

【課題】変位量が良好であり、かつリーク電流を抑制することができる圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、およびインクジェットプリンターを提供する
【解決手段】
本発明にかかる圧電素子１００は、基体１０と、前記基体の上方に形成された下部電極３０と、前記下部電極の上方であって、前記基体の一部の領域の上方に形成された強誘電体層４０と、前記強誘電体層の上方に形成された上部電極５０と、を含み、前記強誘電体層の側面と、前記基体の上面とによってなされる角の角度θは、４５°〜７５°である。 （もっと読む）