【課題】 緻密な膜を形成することができ、優れた保存安定性を有する強誘電体薄膜形成用組成物及び強誘電体薄膜並びに液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 強誘電体薄膜を構成する材料となる金属を含むコロイド溶液を少なくとも含有し、コロイド平均粒子直径が１〜１００ｎｍであると共に２つ以上のピークを有する粒子径分布が得られる強誘電体薄膜形成用組成物、及びこの強誘電体薄膜形成用組成物により形成される強誘電体薄膜、並びにこの強誘電体薄膜を有する圧電素子を備えた液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 インクジェット・プリントヘッド・ヒータチップは、その上に複数の薄いフィルム層から形成され、かつ、使用に際してインク滴を噴射するヒータスタックを備えたシリコン基板を有する。この薄いフィルム層は、シリコン基板の断熱層と、断熱層上の抵抗層と、抵抗層上のドープされたダイヤモンド類似カーボン層と、ドープされたダイヤモンド類似カーボン層上のキャビテーション層とを含む。ドープされたダイヤモンド類似カーボン層は好ましくはシリコンを含有し、また、窒素、チタニウム、これらの組合せ又は他の成分を含有していてもよい。シリコンを含有する場合は、好ましいシリコン濃度は、約２０〜約２５原子パーセントである。好適なキャビテーション層は、ドープされていないダイヤモンド類似カーボン層、タンタル層又はチタニウム層を含む。ドープされたダイヤモンド類似カーボン層の厚さは、約５００〜約３０００オングストロームである。キャビテーション層の範囲は、約５００〜約６０００オングストロームである。インクジェット・プリントヘッド及びプリンタもまた開示される。
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【課題】 低い製造コスト及び高い歩留まりを維持しつつ、振動板及び圧電層にクロストークを抑制する為の溝を形成することが可能な液体移送装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の液体移送装置の製造方法は、振動板３０を流路ユニット２に接合したときに、この振動板３０の流路ユニット２とは反対側の面において、圧力室１４と重ならない領域に、圧力室１４の縁に沿って延びる溝３６を形成する溝形成工程と、振動板３０の流路ユニット２と反対側の面に、圧電材料の粒子を堆積させることにより、圧電層３１を形成する圧電層形成工程とを備えているため、クロストークを抑制する為の溝３０，３１を容易に形成することができ、さらに、圧電層３１に欠けやクラックが生じにくくなる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子と振動板の密着性、振動板の信頼性を向上させるとともに、吐出安定化を図る。
【解決手段】液体を吐出するノズルと連通する圧力室を加圧する振動板を変形する積層圧電素子を、薄膜形成技術によって、前記振動板上に形成する際、前記振動板と前記積層圧電素子の接合部の面積より、前記圧力室の一つの内壁面を形成する振動板の有効振動板面積の方が大きく、さらに、前記有効振動板面積よりも積層圧電素子の活性部の面積の方が大きく、かつ、積層圧電素子の積層方向に垂直な断面積が、積層方向に進むに従って小さくなるように、前記積層圧電素子を形成する。 （もっと読む）

【課題】吐出効率を落とすことなく、高粘度液体を用いる場合にも好ましい吐出を実現でき、更に高密度化が可能な吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力室壁５２Ａと振動板５６とを接合させる接合部材５９には低剛性部材が用いられるので、振動板５６の変位を拡大し、圧力室５２の変位体積を大きくすることができる。一方、接合部材５９を低剛性にすることで圧電素子５８の発生圧力が減少するので、圧電素子５８の幅を圧力室の幅よりも大きくし、圧電素子５８の発生圧力の減少を抑制する。好ましくは圧電素子５８の幅が圧力室５２の幅の１００％を超え１１０％以下となる態様である。接合部材５９のヤング率を１ＭPa〜１ＧPaとすると圧力室５２の変位拡大と圧電素子５８の発生圧力の減少抑制を両立することができる。好ましくは接合部材５８のヤング率が１ＭPa〜１００ＭPaとなる態様である。 （もっと読む）

複数台のノズル（３）と各ノズルに対応する１台以上のヒーター素子（１０）とを備えるインクジェットプリントヘッドが開示される。各ヒーター素子は、プリントヘッド内で泡（１２）形成液体をその沸点よりも高い温度まで加熱し、その内部に気泡を形成するように構成される。泡の発生は、それぞれの対応したノズルを通る（インクのような）射出可能な液体の液滴（１６）の射出を生じさせ、印刷を行う。各ヒーター素子は、泡と熱接触するように、液体を形成する泡の少なくとも一部分の上に吊されるビームの形をしている。このプリントヘッドの構成はかなり効率の高い動作を提供する。
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複数台のノズル（３）と各ノズル（３）に対応する１台以上のヒーター素子（１０）とを備えるインクジェットプリントヘッドが開示される。各ヒーター素子は、プリントヘッド内で泡形成液体をその沸点よりも高い温度まで加熱し、その内部に気泡（１２）を形成するように構成される。気泡の発生は、それぞれの対応したノズルを通る（インクのような）射出可能な液体の液滴の射出を生じさせ、印刷を行う。プリントヘッドは基板を有し、各ノズルは基板表面に対するノズルの面積密度が１平方ｃｍにつき１００００台のノズルを上回るように基板の表面に開口するノズルアパーチャを有する。
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複数台のノズル（３）と各ノズルに対応する１台以上のヒーター素子（１０）とを備えるインクジェットプリントヘッドが開示される。各ヒーター素子が、プリントヘッド内で泡形成液体をその沸点よりも高い温度まで加熱し、その内部に気泡（１２）を形成するように構成される。気泡の発生は、それぞれの対応したノズルを通る（インクのような）射出可能な液体の液滴（１６）の射出を生じさせ、印刷を行う。各ヒーター素子は固体材料から作られ、原子比率でその固体材料の９０％を超える量が元素の周期律表の中で５０未満の原子番号を有する少なくとも１つの周期元素により構成される。
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【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、記録の高解像化や高画質化等を達成するための発熱部の小面積化を図りながら熱エネルギ効率の低下を防ぎ、消費電力を下げる。
【解決手段】 電極配線層１０３に対する保護絶縁層を２層化し（１０８ａ，１０８ｂ）、発熱部１０２上においてその一方１０８ａを除去することにより、熱エネルギ効率を向上する。また、電極配線層１０３上に発熱抵抗体層１０７を配置し、保護絶縁膜１０８ａを除去する際のパターニングを、発熱部を形成するための電極配線層１０３の間隙より広い範囲で実施することで、電極配線を第１および第２電極配線層１０３，１０４で構成することで、発熱部１０２の有効発泡領域の減少が生じないようにする。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜のウエハ面内で圧電特性のばらつきを低減することにある。
【解決手段】基板１上に少なくとも下部電極２、圧電薄膜３、上部電極４が順次積層された圧電薄膜素子において、基板表面に連続的なステップ構造５を有し、そのステップ構造５のテラス幅ｗの平均が０．５nm以上、且つ１０nm以下である構造とする。 （もっと読む）

インクジェット・プリンティングモジュールの製造方法は、剛性が高められた表面を備えた圧電素子を形成することを含む。
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流体噴射装置（１００）が、チャンバ（１１０）と、チャンバとそれぞれ連通する第１の流体チャネル（１２０）及び第２の流体チャネル（１２２）と、第１の流体チャネルに沿って延在する第１の半島（１４０）及び第２の流体チャネルに沿って延在する第２の半島（１４２）と、第１の半島とチャンバとの間に延在する第１の側壁及び第２の半島とチャンバとの間に延在する第２の側壁（１５２）とを備える。第１の側壁はチャンバに対して第１の角度（１５４）を成して方向付けられ、第２の側壁はチャンバに対して第２の角度（１５６）を成して方向づけられ、第２の角度は第１の角度とは異なる。
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