【課題】特性の劣化を抑制した圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された下部電極２０と、下部電極２０の上方に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上方に形成された上部電極４０と、上部電極４０の上面の端部に形成された第１保護層５０と、少なくとも第１保護層５０、上部電極４０および圧電体層３０を覆うように形成された第２保護層６０と、を含み、第１保護層５０の一方の側面、上部電極４０の側面および圧電体層３０の側面は、それぞれ連続して、１つの傾斜面７０となるように形成される。 （もっと読む）

【課題】製造工程途中において、エッチング液やエッチングガスのギャップへの侵入に起因する歩留まり低下を防止することが可能な静電アクチュエータの製造方法等を提供する。
【解決手段】振動板と振動板にギャップを介して対向配置された対向電極とを有し封止されているアクチュエータ部を備えた静電アクチュエータの製造方法であって、ガラス基板３００に凹部３２を形成し、凹部３２内に対向電極３１を形成する工程と、ガラス基板３００の凹部３２内に、封止用の壁を低融点ガラス３５ａにより形成する工程と、ガラス基板３００とシリコン基板２００とを接合し、封止用の壁により、凹部３２を最終的にアクチュエータ部となる部分とそれ以外の部分とに分離するとともに、最終的にアクチュエータ部となる部分を封止する工程と、シリコン基板２００を薄板化して少なくとも振動板２２を形成し、アクチュエータ部を完成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】配線抵抗が低く、かつ信頼性の向上に寄与するインク吐出基板ユニットを提供する。
【解決手段】インク吐出基板ユニットは、インク供給口Ｈ１１０２が形成されたインク吐出基板Ｈ１１００と、インク吐出基板Ｈ１１００の表面に設けられ、インクを吐出するエネルギーを発生する複数の電気熱変換素子（不図示）と、を有する。また、さらに、インク吐出基板Ｈ１１００を裏面から表面に貫通するように設けられた複数の貫通電極Ｈ１１２０と、各貫通電極Ｈ１１２０をインク吐出基板Ｈ１１００の裏面で互いに電気的に接続している裏面配線Ｈ１１４０と、を有する。裏面配線Ｈ１１４０は、インク吐出基板Ｈ１１００とインク吐出基板Ｈ１１００の裏面に対向して配置されたカバー基板Ｈ１１５０とに囲まれた空間の中に収容されている。 （もっと読む）

【課題】圧電特性のよい圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備し、前記圧電体層が、厚さが５μｍ以下で且つペロブスカイト型結晶からなると共に、前記圧電体層を、前記流路形成基板の（２２０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ａと、前記圧電体層の（１１０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ｂとの間隔が、２θ＝１６．２６２±０．１度の範囲内となるようにする。 （もっと読む）

【課題】 高密度化、高解像度化を図れ、しかも表面弾性波の制御を所要の状態で行い、高速化を図ることが可能となる表面弾性波によるインクミスト記録装置を得る。
【解決手段】 指向性を付与された複数の櫛型電極素子１アレーを圧電材基板２上に形成し、その指定櫛型電極素子グループを同時に位相制御駆動させ、発生した表面弾性波が前記圧電材表面上の既定位置で収束合成されるように構成する。その収束波をその収束位置に配置したインク供給部３に入射し、そのインク供給部の液面より液滴飛翔させる。 （もっと読む）

【課題】ＯＬＢ部の高精度な実装と駆動回路部のシリコン基板上への固定を確実なものにした液滴吐出ヘッド、さらに作業性や生産性を高めることが可能な液滴吐出ヘッドの製造方法、および信頼性に優れた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッド１は、流路形成基板２２と、該流路形成基板２２上に設けられた複数の圧電素子２３と、流路形成基板２２の複数の圧電素子２３側に設けられたリザーバ形成基板２５と、該リザーバ形成基板２５上に設けられた複数のドライバＩＣ２６と、リザーバ形成基板２５の開口部６０に露出している圧電素子２３の端子部７３とドライバＩＣ２６とを接続するフレキシブル基板２７とを備え、端子部７３と、フレキシブル基板２７の端子部７３に対する接続部２７ｂとを接続する第１接着材８３と、リザーバ形成基板２５とドライバＩＣ２６とを固定する第２接着材８０とが、同一成分を含む材料からなるものである。 （もっと読む）

【課題】小型化を図るとともに誤作動を防止して信頼性に優れた液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッド１は、リザーバ形成基板２５の開口部に露出している駆動素子２３のリード電極４７とドライバＩＣ２６とを接続する第１フレキシブル基板２７および第２フレキシブル基板２８と、を備え、第１フレキシブル基板２７および第２フレキシブル基板２８は、リード電極４７に接続する接続部２７ｂと、ドライバＩＣ２６に信号を供給する複数の第１配線パターン７２が形成された配線部２７ｃ、２８ｃとをそれぞれ有してなり、第１フレキシブル基板２７に実装されたドライバＩＣ２６上に第２フレキシブル基板２８の配線部２８ｃが重なっており、第１フレキシブル基板２７と第２フレキシブル基板２８との間に、導電膜パターンを有するシールド部２７ｄが配置されている。 （もっと読む）

【課題】印刷効率の向上を図るとともに印字性能を長期的に維持することを可能とし、製品性能の高い液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッドは、流路形成基板２２と、流路形成基板２２上に設けられた複数の圧電素子２３と、流路形成基板２２の複数の圧電素子２３側に設けられたリザーバ形成基板２５と、リザーバ形成基板２５上に設けられた複数のドライバＩＣ２６と、リザーバ形成基板２５の開口部６０に露出している圧電素子２３のリード電極４７の各々に対して、少なくとも２つのドライバＩＣ２６を接続するフレキシブル基板２７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成により高密度化を図れ、表面弾性波（ＳＡＷ）の制御を所要の状態で行い、高速化が可能な表面弾性波によるインクミスト記録装置を得る。
【解決手段】 表面弾性波（ＳＡＷ）を発生・伝播させる圧電素子材２表面上に、櫛型電極（ＩＤＴ）手段１と、その下流側の同一伝播材上に付与されたインク薄層３−１と、そのインク薄層中の伝播材表面部に配置された突起状アレー群４で構成されたインクミスト形成手段を備える。櫛型電極手段より発射された表面弾性波がインク薄層中に入射されて、音響波に変換された縦波を、突起先端部付近のインク層に集中させ、突起先端より、液滴生成、飛翔を行わせるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】配線基板を圧電ユニットから剥がれにくくする。
【解決手段】配線基板３の端子部形成領域Ｂを露出させるよう配線基板３に被覆層４４を形成する工程と、端子部形成領域Ｂと被覆層４４の端部４４ａとを覆って未硬化の合成樹脂層５２を形成する工程と、配線基板３を圧電ユニット５に重ね、圧電ユニット５の駆動電極６上に設けられたバンプ５１を未硬化の合成樹脂層５２を貫通させて端子部４３ａと接触させ、且つ、被覆層４４の端部４４ａに塗布された未硬化の合成樹脂層５２を圧電ユニット５の表面に接触させる工程と、未硬化の合成樹脂層５２を硬化させる工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子から引き出された個別リード電極に、検査用プローブを押し当てて検査を行っても、個別リード電極に断線が生じにくい液体噴射ヘッドを提供すること。
【解決手段】個別リード電極９０が導電層からなるので、個別リード電極９０と個別リード電極９０の配線と幅の異なる検査用領域９３とをパターンとして、エッチングで容易に形成できる。また、個別リード電極９０の配線と比較して検査用領域９３の幅が広いので、検査用プローブが当って検査用領域９３が傷ついても、導電領域を確保でき、より個別リード電極９０の断線が低減したインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位特性を向上して高速駆動を実現でき且つ圧電体層の破壊を抑制し
て耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ
を提供する。
【解決手段】圧電体層７０の端面がその外側に向かって傾斜する傾斜面で構成されており
、各圧電素子３００を構成する下電極６０が圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成され
ていると共に圧電体層７０が下電極６０よりも広い幅で形成されて当該下電極の端面が前
記圧電体層によって覆われており、振動板５０の最表層が酸化チタン（ＴｉＯ_x）からな
る絶縁体膜５２で構成され、下電極６０の最表層がニッケル酸ランタン（ＬａＮｉ_yＯ_x）
からなる配向制御層６２で構成され、且つ配向制御層６２及び少なくとも配向制御層６２
上の圧電体層７０ａが、ペロブスカイト構造の結晶からなり且つ結晶面方位が（００１）
に優先配向している構成とする。 （もっと読む）

【課題】 大きな変位量を得ることができる圧電素子を用いた液体噴射ヘッド及びこの圧電素子を提供する。またこれらを用いた印刷特性に優れた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、下電極６０、圧電体層７０、及び上電極８０をこの順で積層してなる圧電素子３００と、前記圧電素子が一方面側に設けられると共にノズル開口に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板とを具備し、当該圧電体層７０の上面７２及び側面７１上部に亘って前記上電極８０が設けられると共に、当該圧電体層７０の当該上電極により覆われていない部分には、保護膜３１０が設けられている。また、液体噴射装置は当該液体噴射ヘッドを備える。 （もっと読む）

【課題】振動板の絶縁膜や電極基板の個別電極の耐久性や信頼性を向上させることができ、基板積層の際のアラインメントも容易になる静電アクチュエータを得ること。
【解決手段】シリコン基板２のガラス製の電極基板３との接合側面に、ダイヤモンドライクカーボン膜９ｂとＳｉＯ₂膜を成膜し、シリコン基板２と電極基板３とを密着させて陽極接合し、シリコン基板２と電極基板３とから構成される隙間１７に、エッチングガスまたはエッチング液を導入して、隙間１７に対面する先に成膜されたＳｉＯ₂膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】複数の駆動ＩＣの特性に個体差があっても、或いは、配線長さの違い等に起因して駆動信号波形のTr／Tf特性にばらつきが生じている場合でも、液滴の着弾位置ずれが目立ち難いようにすることのできる、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドでは、同色の液滴を吐出する複数のノズル８５に対応する全ての個別電極接続ランド６０を該個別電極接続ランド６０に対応するノズル８５がノズル列方向Ｘに並ぶ順番に従って「同色ノズル位置順」に並べてみたときに、該接続ランドに電気的に接続された駆動ＩＣ６６，６７が一方から他方に切り替わる「駆動ＩＣ切替箇所」が該接続ランドの並びの中に複数個所存在している。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位特性を向上し高速駆動を実現できると共に圧電体層の破壊を抑制
して耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエー
タを提供する。
【解決手段】圧電体層７０の端面がその外側に向かって傾斜する傾斜面で構成されており
、各圧電素子３００を構成する下電極６０が圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成され
ていると共に圧電体層７０が下電極６０よりも広い幅で形成されて当該下電極の端面が前
記圧電体層によって覆われており、振動板５０の最表層が酸化チタン（ＴｉＯ_x）からな
る絶縁体膜５２で構成され、下電極６０の最表層がニッケル酸ランタン（ＬａＮｉ_yＯ_x）
からなる配向制御層６２で構成され、且つ配向制御層６２及び少なくとも配向制御層６２
上の圧電体層７０ａが、ペロブスカイト構造の結晶からなり且つ結晶面方位が（１１３）
に優先配向している構成とする。 （もっと読む）

【課題】超音波を低出力で発生させ、インク液面からインクミストを高効率で飛翔させて印字品質を向上させることができる音響インクジェットヘッド構造を得る。
【解決手段】ライン集束超音波生成器１とエレクトロウエッティング（ＥＷＯＤ）による濡れ性を制御可能な超音波透過率が９０〜７０％の材料で構成されているミスト発生機構２を備える。ミスト発生機構は、液面に対しライン集束超音波照射によってミスト発生機構の上部のエレクトロウエッティング用電極の上部に触れる程度の位置に液がくるように斜めに配置されている。 （もっと読む）

【課題】圧電層にクラックを発生させたり、圧電層の他の部分を不必要に分極させたりすることなく、圧電層の複数の部分を一度に分極させる。
【解決手段】振動板４０の上面には圧電層４１、４２が積層されており、振動板４０、圧電層４１、４２の上面には、それぞれ、電極４３〜４５が配置されている。電極４３は圧力室１０と対向するように配置されており、圧力室１０の略中央部と対向する部分に抜きパターン４３ａが形成されている。電極４４は、抜きパターン４３ａと対向する対向部４４ａを有しており、対向部４４ａは電極４３とは対向していない。電極４５は、その略中央部において対向部４４ａと対向しているとともに、それよりも外側の部分において電極４３と対向している。また、活性部Ｒ１がその厚み方向の上向きに分極されており、活性部Ｒ２がその厚み方向の下向きに分極されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電ユニットや流路ユニットでの熱分布の不均一性を抑制すると共に、容易な構成で重量化や配線ユニットでの導線付設の困難性等を解消することのできる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 液滴吐出ヘッド１が備える配線ユニット４は、帯状のシート状基材１０における長手方向の中央付近に設けられたドライバ１１と、ドライバＩＣ１１から長手方向に沿って両端部１０ａ、１０ｂまで延設された配線１３とを有し、給電端子１２ａ，１２ｂは、両端部１０ａ，１０ｂにおいて配線１３に接続されて設けられており、一端部１０ａが圧電ユニット３の上面の一端部側の領域に積層され、他端部１０ｂが圧電ユニット３の上面の他端部側の領域に積層されて、給電端子１２ａ，１２ｂと圧電ユニット３の上面の両端部側の領域に設けられた駆動電極４９ａ，４９ｂとが電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】下電極６０が圧力発生室１２に対応して独立して設けられて圧電素子３００の個別電極を構成し、上電極８０が圧力発生室１２の並設方向に亘って連続的に設けられて圧電素子３００の共通電極を構成し、圧力発生室１２に対向する領域の下電極６０が圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成されていると共に圧力発生室１２に対応する領域の下電極６０の上面及び端面が圧電体層７０によって覆われ、圧力発生室１２に対向する領域の圧電体層７０の上面及び圧電素子３００が並設された方向における圧電体層７０の側面が上電極８０によって覆われており、圧電素子３００の長手方向一端部側では、圧電体層７０が接合基板３０の圧電素子保持部３１の周縁部が接着される流路形成基板１０の接着領域２００まで延設されていると共に、下電極６０が圧電体層７０の端部の外側まで延設されて下電極６０の端部に端子部９５が設けられている構成とする。 （もっと読む）