【課題】複数の駆動部を低抵抗で接続することができるアクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係るアクチュエーター１００は、振動板１１０と、振動板１１０の上方に形成された所定の方向に延びる第１導電層１２２と、第１導電層１２２を覆う圧電体層１２４と、圧電体層１２４の上方に形成された第２導電層１２６と、振動板１１０の上方および第２導電層１２６の上方に形成された金属層１３０，１３２と、金属層１３０，１３２と電気的に接続された電極１４０と、を含み、第１導電層１２２、第２導電層１２６、および第１導電層１２２と第２導電層１２６とで挟まれた圧電体層１２４は、駆動部１２０を構成し、駆動部１２０は、前記所定の方向に垂直な方向Ａに複数配列され、金属層１３０，１３２は、複数の第２導電層１２６と交差し、複数の第２導電層１２６と電気的に接続される。 （もっと読む）

圧電ユニットは、流体チャンバと、流体出口と、薄膜圧電セラミック素子および流体チャンバの壁の機能を果たす膜を含むアクチュエータと、アクチュエータの支持部分がアクチュエータの駆動の主移動方向において移動しないようにすると同時に、支持部分の少なくとも２つの側で係る駆動の移動を可能にするように構成された支持要素とを含み、支持要素は、アクチュエータのおおよそ反対側に延在するユニット部分に接続される。 （もっと読む）

【課題】個別電極の接続電極部の配置を工夫することで、圧力室の変形ロスを低減し、変形効率を高める。
【解決手段】圧電アクチュエータ１２は、各圧力室１４Ａａの中央部分に対応する複数の第１の活性部Ｓ１と、前記各圧力室１４Ａａの前記中央部分よりも外周側の部分に対応する複数の第２の活性部Ｓ２とを有する。それらに対応して個別電極２１が列状に形成され、第１の定電位とそれよりも小さい電位である第２の定電位が選択的に付与される。キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２との積層方向から見て、個別電極２１の接続電極部２１ａは、各第２の活性部に対応する櫛歯形状の第２の定電位電極２３の幹電極部２３Ｂに重なっている。各個別電極２１の接続電極部２１ａは、同じ列に属する各個別電極については同一側に、隣の列に属する各個別電極とは反対側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】配線板等によって駆動部の動作が阻害されるのを防止することができるとともに、複数の電極を高密度で配置することができる、液体吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】インク吐出装置１０は、インク吐出ヘッド１６と配線板１８とを備えている。インク吐出ヘッド１６は、複数のノズル１４からなる複数のノズル列が互いに平行に配置されたノズル面と、複数の電極３８に印加される駆動信号に基づいて変形されることによってインクに吐出圧を付与する複数の駆動部Ｆと、複数の電極３８のそれぞれの縁部分（端縁３８ａ，３８ｂ）のうちの２箇所の間に、電極３８との間に空間を確保しつつ架け渡され、少なくとも一部が導電性を有する複数のリード部４０と、複数の入力端子４２とを有しており、配線板１８は、複数の接続端子５２を有している。 （もっと読む）

【課題】小型化を可能にした液滴吐出ヘッドとこれを備えた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】キャビティー１２が第１の方向に配列してなる第１のキャビティー列１２Ａと、第２のキャビティー列１２Ｂと、キャビティー１２内の液状体を吐出させる駆動素子３００と、駆動素子３００を駆動する駆動回路部２００と、駆動回路部２００に電気的に接続された端子部５１２と、駆動回路部２００及び端子部５１２が配置された基板５００と、駆動素子３００から引き出された第１の配線及び第２の配線と、を備えている液滴吐出ヘッドである。第１のキャビティー列１２Ａと第２のキャビティー列１２Ｂとの間に、複数の第１の配線と複数の第２の配線とが櫛歯が噛み合うように、且つ互いに離間して配置されている。複数の端子部５１２が、第１の方向に１列に配列され、端子部５１２が、第１の配線と第２の配線とに接続されている。 （もっと読む）

【課題】生産性の高いプロセスで、信頼性の高い圧電素子を提供することができる、圧電素子の製造方法、および前記製造方法によって製造された圧電素子を有する液滴噴射ヘッドの製造方法、ならびに信頼性の高い液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造方法は、第１電極を形成する工程Ｓ１と、第１電極の上に圧電体層を形成する工程Ｓ２と、圧電体層の上に第２電極を形成する工程Ｓ３と、を有し、第１電極および第２電極の少なくとも一方を形成する工程Ｓ１、Ｓ２は、分散剤を用いて導電性材料を分散させた感光性材料を塗布した後に乾燥し、第１の膜を形成する工程Ｓ１１と、第１の膜を、露光処理する工程Ｓ１２と、露光処理された第１の膜を現像処理し、第２の膜を形成する工程Ｓ１３と、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でノズルの高解像度化を実現できるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッド用アクチュエータを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１１は、複数のノズル１２を有するノズルプレート１３と、複数のノズル１２に対応して設けられる複数の圧力室１４と、複数の圧力室１４にインクを送るインク流入部１６と、複数の圧力室１４からインクを回収するインク流出部１７と、複数の圧力室１４同士を仕切るとともに、圧力室１４内のインクに圧力を加えてノズル１２からインクを吐出させる仕切片２６と、を具備する。圧力室１４は、複数の仕切片２６を櫛歯状に有した２つの圧電部材３１を対向配置した間の位置に形成される。一方の圧電部材３１の複数の仕切片２６と、他方の圧電部材３１の複数の仕切片２６とは、互いにオーバーラップして配置され、前記圧電部材３１のインク吐出方向における端面に電極２８が形成される。 （もっと読む）

【課題】高剛性、高変位の圧電アクチュエータを備えた液体吐出ヘッド、その製造方法、並びに、その駆動方法、及び、画像記録装置を提供する。
【解決手段】上下に変位して、圧力室１１２の容積を拡縮させる圧電アクチュエータ１３４が、初期状態において、圧力室側に凸状に湾曲して形成される。圧電アクチュエータ１３４は、駆動電圧が印加されると、中立点を超えて、圧力室１１２とは反対方向に変位して、圧力室１１２の容積を拡大させ、駆動電圧の印加を停止すると、元の状態に復帰して、圧力室１１２の容積を縮小させる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッド用基板において、電極へのインクの染み込み防止を達成することができ、かつ、面積を縮小することができる液体吐出ヘッド用基板を提供する。
【解決手段】基板１０１の第一の面１０２と、基板１０１の第三の面１０４との間に設けられ、液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子２０１と電気的に接続する複数の電極２０５と電気的に接続する電極層２０２が領域１０５の内側に設けられている。さらに、領域１０５には電極層２０２を被覆する樹脂からなる部材４０２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】封止信頼性を低下させることなく、記録素子基板と基板支持部材の接着面が従来技術よりも微細化させられるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】記録素子基板２に具備されている、基板支持部材１３と接着する突起８は、金属層９をエッチングマスクとして記録素子基板２をエッチングすることによって、記録素子基板２と同質かつ連続に形成される。したがって、突起８は、金属層９と金属層１４とが金属溶着するのに十分な平坦性を維持した状態で形成されるため、金属層９のバンプを厚くすることなく製造可能であり、安価に製造可能である。 （もっと読む）

【課題】上部電極における応力の集中を緩和することができる信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された下部電極２０と、下部電極２０を覆う圧電体層３０と、圧電体層３０の上方に形成された上部電極４０と、を含み、圧電体層３０の側面３４は、圧電体層３０の上面３２と接続し、基板１０の上面１２に対して第１角度αで傾く第１部分３５と、第１部分３５と接続し、基板１０の上面１２に対して第２角度βで傾く第２部分３６と、を有し、第２角度βは、第１角度αより小さく、上部電極４０は、少なくとも第１部分３５および第２部分３６を覆っている。 （もっと読む）

【課題】複数の電極層と圧電膜層とを積層した場合において、製造コストを低減しつつ、複数の電極層間を容易に接続することができ、装置に組み込んで使用しても信頼性が高い圧電膜の積層体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】正電極層１２を積層体１の積層方向に垂直な方向の一端部側に寄せて配置し、負電極層１２を他端部側に寄せて配置する。そして、積層体の一端部側及び他端部側に夫々共通電極１３を形成し、同一極性の電極層１２同士を共通電極１３と接触させて導通する。 （もっと読む）

【課題】インク及び電極の劣化を抑制できるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの保護膜形成方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１は、インク３１が供給されるインク室３３が形成された圧電部材３、４と、インク室３３側の圧電部材３、４の表面に形成された電極７、８と、絶縁性及びフレキシブル性を有する材料を含み、インク３１と接する領域の電極７、８の表面に形成された保護膜９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制し、変位特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子３００は、第１共通電極６０、第１圧電体層６５、個別電極７０、第２圧電体層７５、及び第２共通電極８０が順に積層されてなり、個別電極７０は、圧力発生室１２に対応するように設けられ且つ第２圧電体層７５により覆われており、第２共通電極８０は、第２圧電体層７５を覆うと共に、圧力発生室１２の並設方向に亘って連続的に設けられている。 （もっと読む）

【課題】適正な振動特性を有し、断線による故障の少ないアクチュエーター、液滴の噴射
特性の良好な液体噴射ヘッドおよび画質の低下の少ない液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】共通内部電極１７、個別内部電極１６、圧電材料層１５、個別外部電極２２
および共通外部電極２１で形成される回路の抵抗のうち、共通外部電極２１に設けられた
外部接続部２６と最も近い共通内部電極１７との間の接続領域２１１に、低抵抗部２１ａ
を備えている。接続領域２１１の抵抗は、回路の直列抵抗部分に相当し、その抵抗値の大
きさの回路全体の抵抗値への寄与が大きい。したがって、回路中に抵抗値の大きい部分を
少なくでき、回路全体の抵抗値を下げることができ、電極部分の発熱による断線の少ない
、適正な振動特性を有するアクチュエーター１０を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】上電極を共通電極にする場合において、圧電体層の剛性を向上させ、同時に圧電体層と上電極膜との間の密着性も良好に確保し得る液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、下電極６０が圧力発生室に対応して独立して設けられて圧電素子３００の個別電極を構成する一方、上電極８０が圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられて圧電素子の共通電極を構成し、さらに圧電体層７０の長手方向に関する一端部は下電極の長手方向に関する一端部よりも外側にあり、しかも圧電体層の少なくとも一端部側には、各下電極に対応させて設けられた個別部７０Ａと、各個別部に一体的に接続され圧力発生室の長手方向に関する端部に向けて幅が漸増されている拡幅部７０Ｂと、各拡幅部に一体的に接続され並設方向において隣接する圧電素子の圧電体層が一体化された共通部７０Ｃとを有する。 （もっと読む）

【課題】異物によるノズル詰まり等の吐出不良を抑制すると共に流路形成基板の破壊を抑制して耐久性を向上させた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０は、個別流路に連通する第１壁面１０Ａと、第１壁面１０Ａと相対向する第２壁面１０Ｂとを有し、第２壁面１０Ｂは積層板の端部よりもリザーバー１００側に突出して設けられ、流路形成基板１０の積層板の端部と第２壁面１０Ｂとの間には、積層金属層１９０の下地層９１が設けられており、積層金属層１９０の金属層９２は、第２壁面１０Ｂよりも突出することなく設けられている。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板の共通配線電極の電極幅を個別配線電極の電極幅と同等としても大型ヘッドでレーザー接合を行う場合に半田の接合強度が低下し、あるいはタクトタイムが低下する。
【解決手段】圧電素子部材１２の一端部には、駆動圧電素子柱１２Ａよりも幅広の非駆動圧電素子柱１２Ｂａを形成し、非駆動圧電素子柱１２Ｂａの個別電極側端面にすべての駆動圧電素子柱１２Ａの共通電極２４を接続した共通電極部２５を設け、圧電素子部材１２の各駆動用圧電素子柱１２Ａの個別電極２３にはＦＰＣ１５の個別配線電極３１Ａを電気的接続部材である半田３２で接合して電気的に接続し、また、圧電素子部材１２の一端部側の非駆動圧電素子柱１２Ｂａに設けられた共通電極部２５にはＦＰＣ１５の共通配線電極３１Ｂを同じく半田３２で接合して電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】 コストの低減と作業性の向上とを図りつつ流路ユニットをグランド電位にすることができ、更に、空中配線や両面基板を採用する必要なく同電位配線を短絡させることのできる液体吐出装置と該液体吐出装置の製造方法とを提供する。
【解決手段】 液体吐出装置１００は、ＣＯＦ６４上の第１グランド線３１，７３に、独立して接続される第２グランド線８３，８６が第２ベースシート６５ａ上に形成されたＦＰＣ６５を備え、第２ベースシート６５ａが有する延設シート６５ｂ上には、第１，第２グランド線の接続箇所から更に延設された第２グランド線８５，８６同士が短絡されると共に流路ユニット１１に対して導通する接点たるバンプ８８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動板の挙動を制御することが可能な静電アクチュエーターを提供する。また、この静電アクチュエーターを備えた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】可動電極となる振動板４と、振動板４にギャップＧを隔てて対向し、振動板４との間で電圧が印加される固定電極２２と、振動板４の固定電極２２との対向面に形成された絶縁膜１０と、固定電極２２の振動板４との対向面に形成された絶縁膜２３とを備え、絶縁膜１０又は絶縁膜２３のどちらか一方の一部がエレクトレット化されているものである。 （もっと読む）