【課題】複数の吐出口の形状がそろったインクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】隣接するヒータ４００の間に、それらのヒータ４００に共通に接続される共通配線４０１、またはヒータ４００の通電に関与しないダミー配線４０３のいずれかを形成する。この共通配線とダミー配線は同じ幅に形成され、さらに、共通配線とヒータの間隔とダミー配線とヒータは同じ間隔に形成される。これにより、隣接するヒータの間の部分から流路形成部材１１１を露光硬化するための入射光が左右対称となり、吐出口１００の形状および大きさをそろえて形成することができる。 （もっと読む）

【課題】液体噴射特性のばらつきを抑制することができると共に小型化することができる
液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第１の圧電アクチュエーター３００Ａに接続された第１の電極配線１１０Ａ
と、第１の圧電アクチュエーター３００Ａの上面及び下面の少なくとも一方を通過して、
第２の圧電アクチュエーター３００Ｂに接続された第２の電極配線１１０Ｂと、第２の圧
電アクチュエーター３００Ｂの上面側及び下面側の少なくとも一方には、電気的に絶縁さ
れて第１の圧電アクチュエーター３００Ａにおける第２の電極配線１１０Ｂと実質的に剛
性が揃ったダミー配線１１１Ａと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制し、高密度化して小型化が可能なインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】圧電素子１２０が形成されている振動板１１２ａ上に、第一の開口部１３１ａがある第一の絶縁膜１３１及び第二の開口部１３２ａがある第二の絶縁膜１３２が順次積層されており、第一の開口部及び前記第二の開口部を介して、個別電極１２３から第一の配線が引き出され、第一の配線上に、第三の開口部１３３ａが形成されている第三の絶縁膜１３３が形成されており、第三の開口部を介して、第一の配線１４０と駆動回路を電気的に接続する第二の配線１５０が引き出され、第三の絶縁膜は液室上の前記第一の配線を含む領域を除く領域に形成されておらず、第二の絶縁膜の、第三の絶縁膜が形成されていない領域の膜厚が５〜４０ｎｍで、かつ、前記第三の絶縁膜が形成されている領域の膜厚が１００ｎｍ以上のインクジェットヘッド１００。 （もっと読む）

【課題】小型化及び低コスト化を図りつつ、導電ワイヤとの干渉を回避しながら、溝の底面に形成されたパッドと溝の外側周辺部の上面に形成されたパッドとをワイヤボンディングにより接続することができる電子装置を提供する。
【解決手段】電子装置１００は、互いに対向する２つの壁面１０７、１０８からなる溝１０２が形成され、溝１０２の外側周辺部の上面側に第１のパッド１０４が設けられ、溝１０２の底面側に第２のパッド１０５が設けられ、ワイヤボンディングにより第１のパッド１０４と第２のパッド１０５とが接続されている。溝の１０２の底面に垂直な方向から見た場合における溝１０２の２つの壁面１０７、１０８のうち第１のパッド１０４により近い一方の壁面１０７の上端から第２のパッド１０５までの距離（ＬＷ）１０９よりも、もう一方の壁面１０８の上端から第２のパッド１０５までの距離（ＬＮ）１１０が短くなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー発生素子の有効発泡領域を確保しつつ、高密度に配置するためには、エネルギー発生素子の長さを長くしてエネルギー発生素子の面積を増やす必要があるが、これにより供給する電気エネルギー量も増やす必要が生じてしまう。
【解決手段】 複数のエネルギー発生素子に接続し、かつ、隣接するエネルギー発生素子の間に配置される接続配線を有する液体吐出ヘッド用基板において、接続配線が配置されていない隣接するエネルギー発生素子の間の距離を、接続配線が設けられている部分の距離より狭くする。 （もっと読む）

【課題】平坦な補強板を安価に製造することができ、液体噴射特性のばらつきを抑制して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】金属板１６０をプレス加工することにより、補強板６０を形成する工程と、補強板６０を形成した後、当該補強板６０をプレス加工することにより、補強板６０の両面にノズル開口の並設方向とは交差する方向に亘って連続する溝部８０を設ける工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】配線基板とアクチュエーターユニットとの接続部の状態を容易且つ的確に把握し得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】配線基板５０とアクチュエーターユニットとを電気的に接続する接続工程と、配線基板５０の一方の共通端子部５９からアクチュエーターユニットの一方の列の共通端子部４７を介して一方の列の下電極膜４３に至り、さらにアクチュエーターユニットの他方の列の下電極膜４３及び他方の列の共通端子部４７を介して配線基板５０の他方の共通端子部５９に至る閉回路を形成して閉回路の直列抵抗の抵抗値を計測する計測工程と、抵抗値に閾値を設け、閾値以下の抵抗値を有する配線基板５０及びアクチュエーターユニットのみを良品として選別する選別工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 記録素子基板の吐出口列間を、同じ構成を有する別の記録素子基板の吐出口列で補完するように、複数の記録素子基板が装着された液体吐出ヘッドにおいて、記録素子基板間の電気接点の位置のばらつきを低減できる。
【解決手段】 第１の電気接点２４ａの重心と吐出口列の第１の電気接点２４ａ側の端部に設けられた吐出口３０の重心との間隔と、第２の電気接点２４ｂの重心と吐出口列の第２の電気接点２４ｂ側の端部に設けられた吐出口３０の重心との間隔Ｌ２とが、異なっている。第１の素子基板２１が有する複数の第１の電気接点２４ａと、第２の素子基板２２が有する複数の第２の電気接点２４ｂとが直線上に配され、第１の素子基板２１が有する複数の第２の電気接点２４ｂと、第２の素子基板２２が有する第１の電気接点２４ａとが直線上に配されている。 （もっと読む）

【課題】段差のない均一な膜厚の絶縁膜を使用できるようにして絶縁耐圧を高め、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】共通電極を、第１の下電極１４と第１の層間絶縁膜１５を間に介して積層された第２の下電極１６とで形成し、上電極１８から引き出された引き出し配線２０は、第２の下電極１６の個別電極引き出し部１６ａに接続されて、個別電極引き出し部１６ａが個別電極パッド部２１と導通しており、第２の下電極１６の圧電体電極部１６ｂの一部に設けた導通部１６ｂ’は、第１の層間絶縁膜１５のスルーホールを介して第１の下電極１４と導通しており、バイパス配線２４が接続された第２の下電極１６のバイパス配線導通部１６ｃは、導通部１６ｃ’を介して第１の下電極１４と導通している。 （もっと読む）

【課題】より高い密度で配置され、かつ圧力室毎の吐出特性のばらつきがより小さい液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】第１の圧電プレート１７の一の外面１７ａに、第１の溝１８を複数形成する工程と、一の外面１７ａを覆うように第２の圧電プレート１９を第１の圧電プレート１７に接合することで、第１の溝１８および第２の圧電プレート１９からなる複数の圧力室７が配列されてなる圧力室列２１を備えた接合体２０を形成する工程と、接合体２０の第１の外面２０ａに、隣り合う圧力室７の間に位置する第２の溝２２を形成する工程と、複数の接合体２０を、接合体２０の圧力室７が延びる方向を揃えて積層して、複数の圧力室列２１を備える積層構造体２３を形成する工程と、積層構造体２３の、圧力室７が延びる方向の両外面のうちの一方の外面３ａより圧力室７が延びる方向に、隣り合う圧力室列２１の間に位置する第３の溝２４を掘る工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧力室を高密度および高精度に配置するとともに、高粘度のインクを吐出することが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】第１の側面から第２の側面まで連通し、第１の側面側の開口から液体を吐出する複数の圧力室３０７が第１の側面の長手方向に間隔をとって配置された平板状の圧電部材を形成する工程と、複数の圧力室３０７の内壁面に第１の電極３０９を形成する工程と、平板状の圧電部材の、一対の主面の一方に、段差６０９を形成する工程と、段差６０９を形成した圧電部材における圧力室３０７同士の間を、第１の側面から段差６０９まで切断することによって、互いに独立した複数の圧力室３０７が段差６０９から延びた櫛状の圧電部材を形成する工程と、複数の櫛状の圧電部材を互いに積層し、第２の領域で接合する工程と、第２の領域で接合した複数の櫛状の圧電部材の外表面に第２の電極３１０を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】配線経路とインク流路孔に対する一度の位置決め作業を行うだけで、共通のベース部材に対して複数のヘッドチップを所定の配列形態で配置させる。
【解決手段】複数のノズル22と圧力室23と、圧力室23の一壁面を構成する振動板204と、圧力室内のインクをノズルから吐出させる圧力発生手段とを有する積層構造からなるヘッドチップ2を、ヘッドユニットベース1に配置したインクジェットヘッドユニットであって、ヘッドユニットベースに、1つのヘッドチップの圧力発生手段へ電力供給するための配線経路と、圧力室へインク供給するためのインク流路孔109とからなるパターンを1単位として、ヘッドチップ2の数に相当する単位数のパターンが所定の配列形態となるように形成され、ヘッドユニットベース1のパターンに対応して、ヘッドチップが圧力発生手段と配線経路とが電気的に接続し、圧力室とインク流路孔とが連通するように積層する。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生や成長が抑制された圧電体層を有する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０は、Ｂｉ，Ｆｅ，Ｂａ，Ｔｉ及びＣｏを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、Ｃｏと、Ｃｏ及びＦｅの総量とのモル比であるＣｏ／（Ｃｏ＋Ｆｅ）が、０．０２以上０．０７以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】高い電位が付与されうる引出部から第１電極に対してマイグレーションが生じるのを抑制した圧電アクチュエータ及びこれの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータの最上層の第１圧電層４０の上面には、複数の個別電極４３が配置されている。第１圧電層４０と中間層の第２圧電層４１との間には、個別電極４３と対向して、第１共通電極４４が配置されている。第１共通電極４４は、スルーホール３７内の充填材６５を介して第１圧電層４０の上面に形成された第１引出電極４６まで引き出されている。スルーホール３７内の充填材６５は、第１引出電極４６に取り囲まれている。個別電極４３を形成する導電性材料はＡｕであり、充填材６５を形成する導電性材料はＡｇであり、ＡｕはＡｇよりもマイグレーションが生じにくい材料となっている。 （もっと読む）

【課題】流路構造に起因する記録画質の低下が生じ難い液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置を提供する。
【解決手段】複数の液体吐出孔８にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室１０がマトリックス状に配置されており、一つの面に開口している液体加圧室群を有する流路部材４と、液体加圧室１０の開口を覆うように流路部材４の一つの面に積層されている複数の変位素子５０とを有する液体吐出ヘッドであって、複数の変位素子５０に同じ電圧を加えた際に、液体加圧室１０のうちの液体加圧室群の最も外側に位置する外周液体加圧室に積層されている変位素子５０の変位が、液体加圧室１０のうち外周液体加圧室以外の内部液体加圧室に積層されている変位素子５０の変位よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】下電極の剥がれを抑制し、かつ、高い圧電性をもつ圧電モジュールを提供する。
【解決手段】圧電モジュールは、複合基板１と配線基板２との間の空間のうち、平面的な広がりにおいて、絶縁性のスペーサ層ＬＢが、圧電素子層ＬＰが存在しない領域ＮＡと下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧとの双方を覆いつつも圧電素子層ＬＰから離れた範囲でダイヤフラム上に形成され、下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧを固定しつつ複合基板１と配線基板２との上下間隔を維持する。 （もっと読む）

【課題】正負の大きな電圧を生成することなく圧電体に反転電圧を印加して圧電体の劣化を制限することのできる液体噴射ヘッド１を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、周囲を囲む壁材の少なくとも一部が一方向に分極処理が施された圧電体ＰＭにより構成されるチャンネルＣＡと、圧電体ＰＭを挟み、一方向と略直交する方向に電界を印加する一対の電極ＥＬと、一対の電極ＥＬの一方を絶対値が小さい低電圧Ｖｕに設定し、他方に駆動信号Ｖｓを供給して圧電体ＰＭを駆動する駆動部ＣＲと、を備え、駆動部ＣＲは、一対の電極ＥＬの一方を低電圧Ｖｕから絶対値の大きい高電圧Ｖｈに切り替えるスイッチ素子ＳＷを備える。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータ基板２の引出電極８とフレキシブル基板４の配線電極９との間の電気的接続を容易にする。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、複数の溝５を有するアクチュエータ基板２と、複数の溝５の上部開口を塞いでチャンネルを構成するカバープレート３と、アクチュエータ基板２に駆動信号を供給するフレキシブル基板４とを備えている。アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に吐出チャンネル１１の駆動電極７に接続する共通引出電極８ａとダミーチャンネル１２の駆動電極７に接続する個別引出電極８ｂがそれぞれ形成され、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａと個別配線電極９ｂにそれぞれ接続する。更に、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａがアクチュエータ基板２の駆動電極７と交差する共通配線交差領域ＣＲでは、ダミーチャンネルの側面の駆動電極７は、その上端部が基板表面よりも深く形成される。 （もっと読む）

【課題】駆動劣化の生じ難い液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。
【解決手段】複数の液体加圧室１０および複数の液体吐出孔８を有する流路部材４上に、複数の液体加圧室１０を覆うように圧電アクチュエータユニット２１が積層されている液体吐出ヘッドであって、圧電アクチュエータユニット２１は、流路部材４側から振動板２１ａ、共通電極３４、圧電体２１ｂおよび複数の個別電極３５の順に積層されているとともに、平面視したとき、複数の個別電極３５はそれぞれ複数の液体加圧室１０と重なるように配置されており、複数の液体加圧室１０の中央に位置している、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれている圧電体２１ａの中央領域５５は、積層方向に分極されており、中央領域５５の周囲の周囲領域５６は、中央領域５５と逆方向に分極されている。 （もっと読む）

【課題】接合層の膨潤片による液体流動への悪影響防止し得る液体噴射ヘッドおよびそれが装備された液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室ユニット２４と、供給口形成基板９と、共通液体室形成基板７と、ノズルプレート６とが層状構造として形成され、供給口形成基板９に、共通液体室２から圧力発生室４に液体を導入する導入流路１３が設けられ、供給口形成基板９および共通液体室形成基板７に、圧力発生室４からノズル開口５に液体を供給する供給流路１４が設けられ、共通液体室形成基板７の導入流路１３側の表面７ａに、共通液体室２と導入流路１３とを連通させる制御流路２５が形成されている。上記構成により、制御流路２５の液体流動の制御により、液体噴射時に液体が共通液体室２に逆流する量を低減させ、圧力発生室４への液体導入時には、液体導入量を増量させる。 （もっと読む）