【課題】露出電極は、圧電層の振動層と反対側に露出しているため、エッチングによって貫通孔を形成する場合には、露出電極を形成した後に貫通孔を形成すると、エッチング液によって露出電極が損傷しまう虞がある。また、これを防止するためには、エッチングにより貫通孔を形成する前に、露出電極にマスクをするなど余分な工程が必要となる。
【解決手段】本発明の目的は、エッチング液によって露出電極が損傷してしまうことがなく、上述したマスクの処理などが不要な圧電アクチュエータの製造方法、及び、このような圧電アクチュエータを有する液体移送装置の製造方法を提供することである。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を持つ圧電素子，圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置、ならびに圧電素子の製造方法等を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１電極と第２電極とによって挟まれた圧電体層を有する圧電素子であって、前記第１電極は、前記圧電体層側の第１の面を有する第１導電層と、前記第１の面において形成され、前記第１の面側の第２の面を有する第２導電層と、を含み、前記第１の面の法線方向から見て、互いにオーバーラップする、前記第１電極、前記圧電体層および前記第２電極から構成される部分を、駆動部としたとき、前記第２導電層の少なくとも一部は、前記駆動部内の前記第１の面の外周辺よりも内側に配置され、前記第２の面の面積は、前記駆動部内の前記第１の面の面積よりも小さく、前記第２導電層は、ニッケル酸ランタンを主成分とする。 （もっと読む）

【課題】圧電素子及び隔壁のクロストークを抑制すると共に、電圧降下を抑制して、着弾位置ずれを抑制すると共に液体噴射特性を均一化して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】個別電極である第１電極６０及び共通電極である第２電極８０によって規定された圧電素子３００の実質的な駆動部である圧電体能動部３２０が各圧力発生室１２に相対向する領域に設けられており、圧電素子３００の隔壁１１に相対向する領域には、第２電極８０及び圧電体層７０が除去された開口部３０１が設けられており、流路形成基板１０上に設けられた配線電極と第２電極８０とが各圧電体能動部３２０の間に設けられた共通リード電極９１で接続されていると共に、共通リード電極９１が、少なくとも開口部３０１内の隔壁１１上に亘って設けられている。 （もっと読む）

【課題】ハーモニカタイプのヘッドチップを有する液体噴出装置において、高密度化と小型化とを同時に図ることができると共に、生産性も良好な液体噴出装置の提供。
【解決手段】ハーモニカタイプのヘッドチップを有する液体噴出装置１において、ヘッドチップ２の後面２ｂに、チャネル２２内の駆動電極２３と電気的に接続された第１の引き出し電極２４が形成されていると共に、前記第１の引き出し電極２４に対して直接的に又は間接的にＦＰＣ７の一端が電気的に接続されており、前記ＦＰＣ７は、前記ヘッドチップ２の後面における隣接する２列のチャネル列の間から後方に向けて突設された電極引き出し部材の表面に沿って該ヘッドチップ２の後方に向けて延びていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均一な形状を有する圧電アクチュエータを容易に形成することができ、駆動電圧に比べて駆動効率が良いインクジェットプリントヘッド及びインクジェットプリントヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流入されたインクをノズル４５に吐出するためにインクを貯蔵する圧力チャンバ５０と、圧力チャンバ５０に対応する外部面において圧力チャンバ５０の方向に凹溝形成される圧電アクチュエータ収容部２０と、圧電アクチュエータ収容部２０に粘度がある圧電体液が充填されて固化され、圧力チャンバ５０にインクの吐出駆動力を提供する圧電アクチュエータ２００と、を含むインクジェットプリントヘッド１００。 （もっと読む）

【課題】端子接合時の接続信頼性を維持しつつ、小型化が可能な液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】個別素子電極端子４８及び個別素子電極端子に接合されるフレキシブルケーブルの一端側個別電極配線端子５３それぞれが、各圧力室の列設方向に沿って列設され、端子列設方向Ｘの端部側に位置する端部側個別素子電極端子４８Ｂと、端部側個別素子電極端子に接合される一端側個別電極配線端子５３Ｂとの少なくとも一方が、端子列設方向の中央部に位置する中央部個別素子電極端子４８Ａに対して傾斜した状態で配置されている。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの小型化に寄与することが可能な液体噴射ヘッド用配線部材、及び、これを備えた液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】一端部に複数形成された一端側個別電極配線端子５３および個別電極配線５５を有する第１のケーブル３９ａと、一端部に形成された一端側共通配線端子５７および共通電極配線５９を有し、個別電極配線端子列設方向に対応する方向の幅Ｗ２が第１のケーブルの個別電極配線端子列設方向の幅Ｗ１よりも大きい第２のケーブル３９ｂと、から構成され、第１のケーブルと第２のケーブルとは、配線端子形成面を同一側に向け尚且つ一端側個別電極配線端子群の配線端子列設方向の外側に一端側共通配線端子が位置する姿勢で重ね合わせられ、各配線端子が圧電素子の素子端子と対向するようにそれぞれの一端部を同一方向に屈曲され、各配線端子をそれぞれ対応する素子端子に接合される。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの小型化に寄与することが可能な液体噴射ヘッド用配線部材、及び、これを備えた液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】フレキシブルケーブル３９は、各圧電素子の個別素子電極端子に対応して複数形成された一端側個別電極配線端子５３と、各個別電極配線端子に対応して形成された個別電極配線５５と、圧電素子の共通素子電極端子に対応して形成された一端側共通電極配線端子５７と、当該一端側共通電極配線端子に対応して形成された共通電極配線５９と、を有し、フレキシブルケーブルの一方の面には、個別電極配線端子、共通電極配線端子、及び、個別電極配線が形成され、フレキシブルケーブルの他方の面には、共通電極配線が形成された。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの小型化を図る。
【解決手段】圧電素子列の間に個別素子電極端子４８が形成されると共に駆動ＩＣ５２が配置され、駆動ＩＣの流路基板側とは反対側に回路基板３９が配置され、弾性体膜における駆動ＩＣの入力端子に対応する位置に、入力用パッドが形成され、駆動ＩＣの出力端子と個別素子電極端子とが電気的に接合され、駆動ＩＣの入力端子と入力用パッドとが電気的に接合されると共に、入力用パッドと回路基板の基板端子とが電気的に接合される。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有するアクチュエータ、液滴噴射ヘッド、並びにそれらの製造方法と液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータ２００は、第１の面を有する基板と、第１の方向に延びる複数の第１の導電層４０と、第１の導電層４０の少なくとも一部を、それぞれ覆うように形成された第１の部分５１と、第１の部分５１以外の第２の部分５２ａと、を有する、圧電体層５０と、第１の面と直交する方向から見て、第１の導電層４０の少なくとも一部とオーバーラップし、かつ、第１の部分５１の少なくとも一部を覆う第２の導電層６０と、第２の導電層６０の上に形成され、第１の方向に延びる第１リード配線７１と、第１リード配線７１の一部を覆うように形成された保護膜８０と、を含み、圧電体層５０は複数の第１の開口部５６を有し、圧電体層５０の第１の部分５１は、第１の開口部５６に挟まれた部分である。 （もっと読む）

【課題】本発明は圧電アクチュエータ、それを含むインクジェットヘッド及び圧電アクチュエータの製造方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例による圧電アクチュエータは、駆動電圧を提供する上部及び下部電極と、前記上部及び下部電極の間において粘度を有する圧電体液が固化して形成され、インクジェットヘッドの圧力チャンバ内のインクに駆動力を提供する圧電体と、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】非貫通クラックが形成された圧電素子を識別できるようにする。
【解決手段】流路ユニット９が電位＋５Ｖの高電位電極となり、共通電極１３４が電位０Ｖの低電位電極となるように、両電極間に電界を印加し（Ｓ３）、両電極間の抵抗値を測定した後、両電極間の電圧を解除する（Ｓ４）。抵抗の測定値としきい値Ｒth1とを比較し（Ｓ５）、測定値がしきい値Ｒth1以上であるものはグループＡに分類される（Ｓ６）。流路ユニット９が電位０Ｖの低電位電極となり、共通電極１３４が電位＋１Ｖの高電位電極となるように両電極間に電界を印加し（Ｓ７）、電界を印加したままで両電極間の抵抗値を測定する。抵抗の測定値としきい値Ｒth2とを比較する（Ｓ８）。測定値がしきい値Ｒth2以上のものはグループＢに分類され（Ｓ９）、測定値がしきい値Ｒth2未満のものはグループＣに分類される（Ｓ１０）。 （もっと読む）

【課題】変位量が大きく、且つ信頼性の高い薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】基板１０１と、基板１０１の上に形成され、両端または周縁が基板１０１に固定された下電極膜１０３と、下電極膜１０３の上に形成され、駆動信号により膜面に沿った方向に伸縮する圧電体膜１０４と、圧電体膜１０４の上に形成された上電極膜１０５と、を有する薄膜アクチュエータ１であって、上電極膜１０５は、複数の電極膜から構成され、複数の電極膜のうち、圧電体膜１０４に接する電極膜は、初期応力としての引張応力を有し、圧電体膜１０４に接する電極膜の上層の電極膜は、引張応力よりも小さい初期応力を有している。 （もっと読む）

【課題】端子列の数の増加を極力抑えながらノズル開口列の数を増加させることができるインクジェット式記録ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル開口に連通する複数の圧力室６が少なくとも３列に形成された圧力室形成基板７と、複数の圧力室６の上面開口を封止するように圧力室形成基板７上に形成された弾性膜と、複数の圧力室６に対応して弾性膜上に形成された複数のアクチュエータ６０と、複数のアクチュエータ６０に接続される複数の端子２０、２１から成る複数の端子列２２と、を備える。複数のアクチュエータ６０は、弾性膜上に形成された下部電極膜と、下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜と、を有する。複数の端子列２２のうちの少なくとも１列には、複数列のアクチュエータ６０のうちの少なくとも２列が接続されている。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化及び液滴吐出ヘッドの小型化を達成することのできる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッドＩＪ１は、ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一面側に弾性膜５０を介して設けられた圧電素子３００と、圧電素子３００の端子９０ａにフリップチップ実装された駆動ＩＣ１５０と、弾性膜５０を挟んで流路形成基板１０と反対側に設けられ、圧電素子３００及び駆動ＩＣ１５０と対向する面に、圧電素子３００の動作を阻害しない大きさの空間を確保して前記空間の内部に圧電素子３００及び駆動ＩＣ１５０を密封する圧電素子保持部３１が形成された封止基板３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】最適駆動式圧電メンブレンの製造方法を提供する。
【解決手段】上部電極フィルムＥtoｐと下部電極フィルムＥｂｏｔの間に置かれた圧電材料フィルム３０と、該圧電フィルムを担持する弾性フィルム２０とを含む薄膜多層を基板１０の上に構成するメンブレンの製造方法であって、少なくとも１つの変曲点が画定されるような形でフィルムの平面に対し平行な軸に沿って前記メンブレンの少なくとも１つの凹面／凸面曲率を決定することで、凹状部分と凸状部分またはその逆に対応する第１の領域と第２の領域を画定するステップと、圧電材料フィルムと、下部電極フィルムと上部電極フィルムとを含む薄膜多層を基板表面上に被着させるステップと、フィルム面に対して垂直な電場を内部に印加する第１のメンブレン領域と、フィルムの平面に対して平行な電場を印加する第２の領域とを画定するように電極フィルムのうちの少なくとも一方を構造化するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】活性部に作用する力の方向を揃え、圧電特性のばらつきを低減する圧電アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】共通電極４３を挟んでほぼ同じ厚みの２枚のグリーンシート４８を積層する（積層工程）。そして、２枚のグリーンシート４８及び共通電極４３を一体に所定の焼成温度で焼成する（焼成工程）。その後、２枚の圧電シート５０の反り方向を確認し、２枚の圧電シート５０の積層体の凹となった側の一方の圧電シート５０に活性部Ｒ１を形成することを決定する（活性部位置決定工程）。そして、圧電層４１の活性部Ｒ１を形成することとなる部分の表面に複数の個別電極４２を形成し、個別電極４２と共通電極４３の間に電圧を印加して、これらの電極間の圧電層４１の部分を厚み方向と平行な方向に分極させて、活性部Ｒ１を形成する（活性部形成工程）。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射
ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２が短手方向に沿って並設された流路形
成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に前記圧力発生室１２に対応して設けられ
て、第１電極６０、該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層７０上に
設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記第１電極６０が、前
記圧力発生室１２に対応して独立して設けられていると共に、前記第２電極８０が、前記
圧力発生室１２の並設方向に亘って連続して設けられており、前記圧力発生室１２の並設
方向と交差する方向において、前記第１電極６０の活性部３２０と非活性部３３０との境
界Ａ、Ｂの少なくとも一方には、少なくとも１つの開口部６１で構成される開口部群６２
が、前記活性部３２０と前記非活性部３３０とに亘って設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２が短手方向に沿って並設された流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に前記圧力発生室１２に対応して設けられて、第１電極６０、該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層７０上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記第１電極６０が、前記圧力発生室１２に対応して独立して設けられていると共に、前記第２電極８０が、前記圧力発生室１２の並設方向に亘って連続して設けられており、前記圧力発生室１２の並設方向と交差する方向において、前記第１電極６０の前記圧電体層３００の活性部３２０と非活性部３３０との境界Ａ、Ｂの少なくとも一方には、前記活性部３２０側から前記境界Ａ、Ｂに向かって幅が漸小するテーパー部６１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】配線層部の反りを防止すると共に、簡易な構成で圧電素子の設置空間内と大気を連通すること。
【解決手段】インクを吐出する複数のノズル１１と、各ノズルに連通され、吐出するインクを貯留する複数の圧力室４１と、複数の圧力室の一壁部となる振動板５０と、振動板に積層され、振動板を挟んで圧力室に対向する位置に形成された空間７１を有する隔壁部材７０と、空間内で振動板に設けられ、駆動電圧の印加により振動板を変位させる圧電素子６０と、隔壁部材に積層され、圧電素子に駆動電圧を印加する電極６１，６２に接続された配線層部８０と、を備え、配線層部における空間に露出する面には、空間と大気とを連通する溝８９が形成されている。 （もっと読む）