【課題】特殊な環境が不要で短時間且つ低コストでニッケル酸ランタン膜形成用組成物を製造することができるニッケル酸ランタン膜形成用組成物の製造方法、ニッケル酸ランタン膜の製造方法、及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも酢酸ランタン、酢酸ニッケル、酢酸、及び水を混合して混合溶液を得た後、混合溶液を加熱する。 （もっと読む）

【課題】配線間に生じる浮遊容量が駆動信号に与える影響を均一にする。
【解決手段】基材５１には、紙送り方向にそれぞれ延びているとともに、走査方向に配列された複数の駆動配線５３、最も外側に配置された最外駆動配線５３ａよりも外側に配置されたグランド配線５４、最外駆動配線５３ａとグランド配線５４との間に配置され、最外駆動配線５３ａに沿って延びた調整用配線５５が形成されている。調整用配線５５は、それぞれが、最外駆動配線５３ａに沿って延びているとともに、最外駆動配線５３ａに沿って配列された１つの配線片６１と３つの配線片６２とからなる。導電性接着剤６９を、配線片６１の接続部６４ａと配線片６２の接続部６６ａ、及び、隣接する配線片６２の接続部６６ａと６６ｂにまたがるように塗布することにより、配線片６１と配線片６２、及び、配線片６２同士を電気的に接続することができる。 （もっと読む）

【課題】個別電極の形成ばらつきに対する変位量のばらつきが小さい圧電アクチュエータ、およびそれを用いた液体吐出ヘッドならびに記録装置を提供する。
【解決手段】振動板２１ａ上に、内部電極３４、圧電セラミック層２１ｂおよび表面電極３５がこの順で積層されている圧電アクチュエータ２１であって、表面電極３５の周縁部の下の圧電セラミック層２１ｂに空間２１ｃ、２１ｄが設けられている圧電アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】配線基板とアクチュエーター装置とを確実に導通させる。
【解決手段】異方性導電性接着剤を介して実装部の上方から配線基板を電気的に接続してあるので、同配線基板から駆動信号を加えると、異方性導電性接着剤を介して実装部に流れ、アクチュエータ装置に印加される。同アクチュエータ装置に駆動信号が印加されると、流路形成基板の所定の流路に充填されている液体が各流路に対応するインク等の液体がノズルより吐出される。異方性導電性接着剤を介して配線領域に配線基板を接着するため、位置合わせ用の目印を形成する。配線基板と配線領域の間には異方性導電性接着剤が塗布されることになるが、この目印は同配線領域よりも高い位置に形成しているので、異方性導電性接着剤が所定位置よりもはみ出たとしても目印を覆ってしまい、目印として機能しなくなることがない。 （もっと読む）

【課題】小型化及び高解像度化を実現する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室１２の列が複数設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板の一方面側に形成される複数列の圧力発生素子３００とを具備し、流路形成基板の圧力発生室の列の並設方向に交差する方向の両側に配置された列の圧力発生素子のそれぞれに対応して形成された個別電極に接続される個別電極用の端子９１が、前記列の中央部に設けられ、個別電極用の端子上に、外部からの電気信号を個別電極に電気的に接続させる駆動回路２００が実装されており、駆動回路と重畳するように下側に配置され、圧力発生素子に対して共通の電極となる共通電極に接続する共通電極用配線９５と、駆動回路に外部から電気信号を供給するための端子及び共通電極用配線の端子とからなる可撓性のテープ基板４００が接続される実装部４１０と、が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電体に発生するクラックが少ない液体噴射ヘッドの製造方法を得ること。
【解決手段】加熱工程（Ｓ５）を行って冷却工程（Ｓ６）を行なう。加熱工程（Ｓ５）では、第１層８１の原子の再配列、歪の除去、応力の緩和が行なわれる。冷却工程（Ｓ６）では、第１層８１の熱膨張率が圧電体７０より大きいので、第１層８１の冷却による収縮量が圧電体７０と比較して大きく、熱膨張差による熱応力が、圧電体７０に加わる。この圧電体７０に加わる熱応力は、圧電体７０を圧縮する力として働く。したがって、第１層８１と接する圧電体７０の界面に圧縮する力が加わり、界面からのクラックの発生を抑えることができ、圧電体７０の変形量を大きくしても耐クラック性に優れたインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の変位部分と非変位部分との境に応力が集中しやすく、故障の原因になっていた。
【解決手段】 複数のノズルに対応する所定の流路を形成した流路形成基板を、上記ノズルを形成したノズルプレートと、振動板とではさみ、同振動板における流路形成基板とは反対の面には各流路に対応して圧電素子を配設しており、同圧電素子に所定の駆動信号を与えると同圧電素子が変位し、流路形成基板の所定の流路に充填されている液体が各流路に対応するインク等の液体がノズルより吐出される。ここで、上記振動板上に上記圧電素子を半導体プロセスで積層して形成するにあたり、上記圧電素子と隣接する金属製部材からなるおもり材を形成している。圧電素子の変位を繰り返すときに応力が集中しやすい部位が生じるが、おもり材を形成することで応力集中に耐えられるようになる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルに連通する圧力発生室１２が複数並設された流路形成基板１０と、該流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室に対応して設けられて、第１電極６０、該第１電極上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記圧力発生室の並設方向と交差する方向の少なくとも一方の端部において、前記流路形成基板が薄い一定の厚さとなって当該圧力発生室の深さが浅くなった段差部１１０を具備し、前記圧電体層の前記第１及び第２電極の両者に挟まれて電界が発生される活性部３２０と前記第１及び第２電極の何れかが存在しないで電界が発生しない非活性部３３０との境界が、前記段差部に対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の駆動を効率的に行う液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の一方面側に圧力発生室１２に対応して設けられた第１電極６０、第１電極上に設けられた圧電体層７０及び圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００毎に対して個別に設けられた第１電極６０に電気的に接続されるリード電極９０と、第２電極８０が形成されておらず前記圧電体層７０が露出している領域の、前記第１電極６０が部分的に露出されている領域に、前記第１電極６０に少なくとも一部が接して設けられている導電層８１と、を具備し、リード電極９０は、前記導電層８１を介して前記第１電極６０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 第２電極８０に接続され圧力発生室１２に相対向する領域外に形成される配線層９５が設けられ、第２電極８０上の圧電体能動部３２０の４つの角部３２１に対向する領域には、圧電体能動部３２０の第１方向端部を中心として第１方向両側に延設される第１部分１２１と、第１部分１２１に連続し且つ圧電体能動部３２０の第１方向端部に沿って第２方向に延設される第２部分１２２とから構成されるＴ型金属層１２０を有し、Ｔ型金属層１２０と配線層９５とが配線層接続部１２３を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】性能の低下を抑制できる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、ノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、流路形成基板上に配置された振動板と、圧力発生室に対応するように振動板上に配置された圧電素子と、圧電素子から引き出されたリード電極と、振動板と接着剤を介して接合され、振動板との間で圧電素子が配置される封止空間を形成する接合基板と、を備える。リード電極は、封止空間内において圧電素子に接続される第１部分と、接合基板と振動板との間に配置され、第１部分と結ばれる第２部分と、接合基板と振動板との間に配置され、第２部分と結ばれる第３部分と、封止空間外に配置され、第３部分と結ばれる第４部分と、を有する。第２部分の幅は、第１部分の幅及び第３部分の幅よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】ＡＬ（Acoustic Length）を短くしつつ、変位素子の変位量を大きくできる液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置を提供する。
【解決手段】平板状のプレート２２〜３１を複数積層して構成されており、複数の液体吐出孔８および複数のしぼり１２を有し、複数の液体加圧室１０が最上層にあるプレート２２の上面に開口している流路部材４に、圧電アクチュエータユニット２１が積層されている液体吐出ヘッド２であって、液体加圧室１０はプレート２２に設けられた貫通孔と該貫通孔の下に位置するプレート２３とで構成されるとともに、液体加圧室１０は、平面視した場合に外形状が深さ方向において略一定の液体加圧室本体１０ａと、液体加圧室本体１０ａよりも外形状が大きい液体加圧室上端部１０ｂとを含み、液体吐出孔８およびしぼり１２は、液体加圧室本体１０ａに繋がっている。 （もっと読む）

【課題】液体の溶媒によるリード電極とフレキシブル配線基板との接触不良が生じるまでの時間の長い液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】インク導入路１１１，４１０に連通するインク導入口４５からコンプライアンス基板４０を伝わって、コンプライアンス基板４０に形成された開口部４７の内面４８から保持孔１１３および貫通孔３２に向かうインクの溶媒の流れは、開口部４７の内面４８を覆う接着剤１２０によって妨げられ、保持孔１１３および貫通孔３２へ漏れる溶媒の量を減少できる。したがって、インクの溶媒が保持孔１１３および貫通孔３２へ漏れるまでの時間を稼ぐことができ、開口部４７の内面４８を覆う接着剤１２０がない構成と比較して、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接触不良が生じるまでの時間が長いインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 第２電極８０上の圧電体能動部３２０の４つの角部３２１に対向する領域には、圧電体能動部３２０の第１方向端部を中心として第１方向両側に延設される第１部分１２１と、該第１部分１２１に連続し且つ圧電体能動部３２０の第１方向端部に沿って第２方向に延設される第２部分１２２とから構成されるＴ型金属層１２０を有する。 （もっと読む）

【課題】ヘッド全体がコンパクトになるように圧力室を配列する。
【解決手段】流路ユニットが主走査方向に関して長尺である。平行四辺形の２次元領域にマトリクス状に吐出口１０９が配置されている。この吐出口１０９に連通する圧力室１４１を、主走査方向に関する長さが副走査方向に関する長さより大きくなるように配置する。例えば、圧力室１４１の長尺方向が主走査方向に沿うように配置する。 （もっと読む）

【課題】 液体噴出装置において外乱に強く正確な駆動波形信号を生成する。
【解決手段】 （Ａ）信号の波形形状を規定するデジタル信号を生成するデジタル信号生成部と、前記デジタル信号に基づいてアナログ波形信号を生成するアナログ波形信号生成部と、が一体的に形成されたチップを有する制御部と、（Ｂ）前記アナログ波形信号を電圧増幅および電流増幅して電圧波形信号を生成する電圧波形信号生成部と、前記電圧波形信号とグランドとの電位差に応じて駆動され、ノズルから液体を噴出させる素子と、を有するヘッド部と、（Ｃ）所定の方向に並ぶ複数の伝送線を有する伝送部であって、前記アナログ波形信号を、前記制御部から前記ヘッド部へ所定の伝送線を介して伝送する伝送部と、を備える液体噴出装置であって、前記伝送部において、前記アナログ波形信号を伝送する前記伝送線が、グランド線に隣接するように配置される。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセス中のプラズマや大気中の水分による圧電体の劣化を防止し、圧電素子の変位量を増大させると同時に、個別電極等の配線の制約を無くすことで、高い信頼性（耐湿性）と高い吐出特性を維持しつつ、小型のインクジェットヘッドを実現して提供する。
【解決手段】個別電極配線７と下部電極４との間に、絶縁膜９と絶縁膜１０とが形成されており、駆動信号入力部２０を除く個別電極配線７の形成領域を含む領域に、絶縁膜１１と絶縁膜１２とが積層されており、個別液室１の形成領域の一部に、絶縁膜１０と絶縁膜１１または絶縁膜９〜１１が開口する領域があり、圧電素子１５の形成部を含む領域であって、絶縁膜１０と絶縁膜１１との開口領域に絶縁膜９と絶縁膜１２とが形成されているか、または絶縁膜９〜１１の開口領域に、絶縁膜１２が形成されているインクジェットヘッドである。 （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れ、長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子のエージング方法を提供する。
【解決手段】 ニッケル酸ランタン層を備える第１電極を形成する工程、ニッケル酸ランタン層上方に圧電体層を形成する工程、及び圧電体層上方に第２電極を形成する工程を備える圧電素子形成工程と、圧電素子に対して印加する最大駆動電圧差の６０％以上７０％以下の電圧を印加するエージング工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの電極が破断されて分断されることを防止する。
【解決手段】
圧電アクチュエータ７は、圧電材料からなり、圧力室２４と対向するように配置された圧電層４１と、圧電層４１の一方の面の圧力室２４と対向する領域に設けられた個別電極４２と、圧電層４１の他方の面の圧力室２４と対向する領域に設けられた共通電極とを有し、個別電極４２に、局部的に電極厚さが大きい補強部４２ａが環状に設けられている。この補強部４２ａが設けられているため、個別電極４２の一部に破断が起きた場合であっても、電極全体が分断されることを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制すると共に、高密度化しても小型化可能なインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板１１１と振動板１１２ａの間が隔壁１１２ｂにより隔てられる液室１１０を有するインクジェットヘッド１００は、振動板１１２ａの隔壁１１２ｂにより隔てられている空間上に、圧電素子１２０が形成されており、共通電極１２１は、隔壁１１２ｂ上に延在し、振動板１１２ａ上に、絶縁膜１３２が積層され、開口部１３２ａを介して、個別電極１２３から共通電極１２１の一部を含む領域上に配線１４０が引き出され、絶縁膜１３２と配線１４０を含む領域との間に、配線１４０が引き出される開口部１３３ａが形成されており、配線１４０上にコンタクトホール１３４ａが形成される絶縁膜１３４が形成され、絶縁膜１３３及び１３４は、隔壁１１２ｂに隔てられる空間上の領域を除く領域にはない。 （もっと読む）