【課題】各ノズルにおいてインクの吐出特性を安定化させることができる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】流路プレートユニット５２を、圧力室プレート２８（第１流路プレート２８）と、ノズルプレート２１、インクプールプレート２２、２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６で構成された第２流路プレート５６と、に分け、圧力室プレート２８と振動板３０を接合した状態で、振動板３０の表面に圧電素子から構成されている圧電プレートを接合する。そして、圧力室１４の位置に合わせて該圧電プレートを個々の圧電部材群４２に個別化することで、圧電部材４２と圧力室１４は正確に位置決めされる。また、振動板３０をハーフエッチングすることで、振動板３０の肉厚を薄くして振動板３０の変形量を増大させ、インクの吐出特性を安定化させると共に、向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】電極の腐食を抑制すること、さらに、ヘッド構成部材に剥がれが生じることを抑制することができる液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】シリコン基板１０１の液路の形成予定部位に多孔質のシリコン領域１０２を形成する工程と、多孔質シリコン領域上に、発熱部を保護するための保護層１０３と、発熱部を形成するための発熱抵抗層１０４と、発熱部を発熱させる電力を供給する電極層１０５と、蓄熱層１０６と、を積層して形成する工程と、蓄熱層上に予め液路に液体を供給するための供給口１０８が設けられた支持基板１０７を貼り付ける工程と、多孔質シリコン領域を形成したシリコン基板を薄化する工程と、薄化したシリコン基板に、液路と連通するようインク吐出口１０９を形成する工程と、多孔質シリコン領域を除去する工程とを有する。また、支持基板は、シリコンにより形成することができる。 （もっと読む）

【課題】顔料系インクを用いた場合に吐出効率が低下するとともに、低湿度環境下における間欠吐出安定性が低下し、ノズル面がキャッピングされないまま放置される場合のような異常な条件下において正常な噴射状態に回復することが困難になる。
【解決手段】顔料系インクを吐出するノズル孔１１を形成したノズル基板１は、液滴吐出側の面には撥水処理膜が形成されるとともに、各ノズル孔１１の周囲に内側に撥水処理膜が形成されていない略円形状の凹部１２が形成され、この凹部１２の直径をＤ、凹部１２の深さをｄ、凹部１２と吐出する液体との接触角をθとしたときに、凹部１２はｄ≧Ｄ（１−sinθ)／２cosθの関係式を満たしている形状に形成され、凹部１２の底部を形成するノズル基盤１の厚みは凹部１２の深さよりも厚く形成した。 （もっと読む）

【課題】結晶性に優れた誘電体膜を形成することができる誘電体膜の製造方法及び圧電素子の製造方法並びに赤外線加熱装置を提供する。
【解決手段】基板１１０の一方面側に有機金属化合物のゾルを塗布して誘電体前駆体膜７１を形成する工程と、前記基板１１０の前記誘電体前駆体膜７１に相対向する領域から当該誘電体前駆体膜７１の吸収率の大きい波長領域を除外した波長領域の赤外線を照射すると共に、前記基板１１０の他方面側から赤外線を照射して前記誘電体前駆体膜７１を加熱焼成して結晶化する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドに用いられる圧電体素子の圧電体層側面および圧電体層内部の絶縁破壊の両方を簡便に防止し耐電圧を向上し、耐久性を向上させる。
【解決手段】下電極１０４と、圧電体層１０５、上電極１０６から構成される圧電体素子において、圧電体層１０５上層部に凹部が長手方向に形成され、かつ凹部内にのみ上電極１０６が形成されていることを特徴とする。また凹部を形成する際に少なくとも凹部内の平均表面粗さＲａを２０ｎｍ以下にする。 （もっと読む）

【課題】液室が作り込まれた流路部材にノズルを形成する部材を積層してノズル穴を形成するとき高精度のノズルを形成することができない。
【解決手段】液体を吐出するノズル２１が形成されたノズル板２と、ノズル２１が連通する液室１１が形成された流路部材１と、ノズル板２と流路部材１との間に液室１１を覆う状態で介在し、ノズル２１と液室１１とを連通する貫通穴３１が形成された樹脂フィルム部材３とを備え、液室１１などが形成された流路部材１上に樹脂フィルム部材３による平坦な面を形成し、この平坦な面上でノズル板２のノズル２１の穿孔を行う。 （もっと読む）

【課題】より一層のアクチュエータの変位量増大及びクロストークの抑制を実現しつつ、圧電層を挟む２種類の電極間のショートや放電を確実に防止可能な、圧電アクチュエータによる液体移送技術を提供すること。
【解決手段】圧電層の圧力室と反対側の面の、複数の圧力室と対向する領域の全域に導電層３３が形成されており、この導電層３３が、圧力室の中央部と対向する領域を取り囲むように形成された第１環状溝４０により部分的に除去されて、第１環状溝４０の内側に個別電極３２が形成されている。さらに、圧電層の圧力室と反対側の面の、圧力室の周縁部と対向する領域であって第１環状溝４０よりも外側の領域に、導電層３３と圧電層の両方を貫通する第２環状溝４１が、圧力室の周縁に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧力発生室を高密度に配列し且つ小型化を図ることのできる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル列を形成する各ノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生室と、上記圧力発生室に圧力を生じさせてノズル開口からインクを吐出する圧電素子とを備え、各圧電素子は、共通電極５２１、圧電体層および個別電極５２４が積層されて構成され、各圧電素子の個別電極５２４は２列の圧力発生室列に挟まれた中間領域の側に延設されて接続端子部５２０に接続され、一方の圧力発生室列の各圧力発生室に対応した接続端子部５２０と、他方の圧力発生室列の各圧力発生室に対応した接続端子部５２０とは、ノズル列の方向に重なり合う領域を有し、上記中間領域には位置決め部が形成されるとともに、上記接続端子部５２０は、上記中間領域において上記位置決め部を避けるように圧力発生室配列ピッチの２倍よりも高密度の一定ピッチで配列されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に階段状の溝を安価に、精度良く形成すること。
【解決手段】ホットエンボス成形技術によりガラス基板２００に階段状又は傾斜状の凸部２０１を形成する工程と、凸部２０１の形成部分を少なくとも開口したエッチングマスクでガラス基板表面を覆い、ガラス基板表面をエッチングして凹部９を形成する工程と、凹部９の底面に個別電極１０を設ける工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】圧力発生室を高密度に配列し且つ小型化を図ることのできる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル列を形成する各ノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生室と、上記圧力発生室に圧力を生じさせてノズル開口からインクを吐出する圧電素子とを備え、各圧電素子は、共通電極５２１、圧電体層および個別電極５２４が積層されて構成され、各圧電素子の個別電極５２４は２列の圧力発生室列に挟まれた中間領域の側に延設されて接続端子部５２０に接続され、一方の圧力発生室列の各圧力発生室に対応した接続端子部５２０と、他方の圧力発生室列の各圧力発生室に対応した接続端子部５２０とは、ノズル列の方向に重なり合う領域を有し、上記流路ユニットには位置決め部が形成され、上記位置決め部は基板端部の切欠部６０１によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】着弾特性・飛翔特性などの動作特性が良く、かつ、生産性にも優れたインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を加圧する圧力室を有するノズル本体と、加圧した液体を吐出させるためのノズル孔１２を有するノズルプレート１１と、を備え、前記圧力室と前記ノズル孔１２との間には、角錐形状の流入口１２ａが、前記ノズル孔１２に向けて断面積が小さくなる方向に設けられていること、を特徴とするインクジェットヘッドが提供される。 （もっと読む）

【課題】印刷中に使用頻度の少ないノズルにおけるインクの増粘を抑制する。
【解決手段】増粘度算出回路１５４は、連続不吐出カウンタ１５１においてカウントされた連続不吐出数に係数決定部１５３において決定された第１係数を掛け合わせた値と、不吐出頻度検出回路１５２において検出された不吐出頻度検出値に係数決定部１５３で決定された第２係数を掛け合わせた値とを足し合わせることによって増粘度を算出する。コンパレータ１５６は、増粘度算出回路１５４において算出した増粘度が、増粘度閾値決定部１５５において決定した増粘度閾値以上のときに、不吐出フラッシング指示信号を波形切り替え回路１５８に出力する。このとき、波形切り替え回路１５８は、インクの吐出を行わないノズルに対応する個別電極１３５に波形出力回路１５７から出力された不吐出フラッシングを行うための第２波形を出力する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を防止すると共に優れた変位特性を有するアクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】基板１０上に変位可能に設けられた下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００を具備し、前記圧電体層７０が、前記下電極６０の端部の外側まで設けられていると共に、前記下電極６０の前記端部に、前記圧電素子３００の外側に向かって厚さが段階的に漸小する側面部６１を設け、該側面部６１を前記基板の面方向と同一方向の第１の面６２と、該第１の面６２に垂直な第２の面６３とで画成された階段状に形成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドの製作コストの抑制を図ることができ、配線の断切れの発生や振動板における振動の影響による配線状態の不安定化による耐久性の低下の影響を抑制することができ、インクの吐出状態の安定化を図ることができること。
【解決手段】第１電極と圧電体と第２電極とを備える圧電素子と、外部からの信号により圧電素子を駆動するための駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、圧電素子の駆動に伴って振動する振動板と、振動板により一方の面が封止されてノズルに連通する圧力室と、を有するインクジェット式記録ヘッドにおいて、第１電極は、圧電体とともに振動する第１部位と、駆動信号発生手段の電極パッドと接合する第２部位と、第１部位と第２部位の間に挟まれ第１部位と第２部位の配列方向と垂直な方向の幅について第１部位と第２部位の幅よりも小さい第３部位と、を備える。 （もっと読む）

【課題】流路内の気泡の残留を防止して、液体噴射特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２の長手方向の一端部に連通して当該圧力発生室１２に液体を供給する液体供給路１４とが設けられた流路形成基板１０と、前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段３００とを具備し、前記液体供給路１４が、前記圧力発生室１２の短手方向の幅を絞ることで形成されていると共に、前記圧力発生室１２の短手方向の側面と前記液体供給路１４の短手方向の側面との間に段差面１６が設けられ、該段差面１６と、前記圧力発生室１２の短手方向の前記段差面１６側の側面と、前記圧力発生室１２の前記流路形成基板１０の厚さ方向の一方面とで画成された角部には、当該角部を埋めるように設けられた埋設部１７を具備する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドユニット間の隙間を封止する封止材の剥がれを防止することができる液滴吐出ヘッド、及びこれを備えた画像形成装置を得る。
【解決手段】図１に示されるように、各ヘッドユニット１１４間の突き合せ部分には、位置調整のための隙間Ｓが設けられている。隙間Ｓを構成するザグリプレート１５６の外形は、ノズルプレート１３０の外形より小さくされており、この段差１５７に、撥水膜２１０が形成されていない非撥水膜部２１２が設けられ、この非撥水膜部２１２にテープ２１４を密着させることで、テープ２１４と撥水膜２１０を面一とする。このように、テープ２１４が、撥水膜２１０が形成されていない非撥水膜部２１２に貼り付けられているため、剥がれる心配はなく、隙間Ｓへの液体の浸入を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】流路形成基板とノズルプレートとの接着性を向上して耐久性及び信頼性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の液体流路の内面の全面と、流路形成基板１０のノズルプレート２０が接着される一方面とには、少なくとも液体流路の一方面側に開口する開口縁部を覆う耐液体性を有する保護膜２００が設けられていると共に、保護膜２００の前記一方面側に相対向する領域には開口部２０１が設けられ、且つノズルプレート２０と流路形成基板１０とを接着する接着剤２２を開口部２０１により露出された流路形成基板１０の前記一方面側に接着する。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドにおいて、流路形成部材として、線膨張係数が小さく、高精度のパターニングが可能な材料を用いることによって、長期にわたって高品位の画像記録が可能な信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドの流路形成部材として、カチオン重合可能な樹脂と、光カチオン重合開始剤と、加水分解性有機シラン化合物の加水分解物と、平均粒経が５０ｎｍ以下の無機微粒子と、を含む樹脂組成物の硬化物を用いる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は，基板２と、基板２の上方に形成された下部電極４と、下部電極４の上方に形成され、チタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体層６と、圧電体層６の上方に形成された上部電極７と、を含み、Ｘ線ロッキングカーブ法により測定したチタン酸ジルコン酸鉛の（１００）面のピークの半値幅は，１０度以上２５度以下である。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの複数のノズルの信頼性の向上のため、ノズルの周辺に、ノズル側の端面に斜面部（テーパ面）を有する凸部を設ける場合、凸部の斜面部（テーパ面）の形状の制御性及び均一性に優れるとともに、異物の除去性にも優れた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル２ａを有するノズルプレート２と、ノズルプレート２の表面上のノズル２ａの周辺に、ノズル２ａを囲むように配設された凸部９とを備えた構成にするとともに、凸部９を、本体部９ａと、本体部９ａのノズル側の端面に本体部９ａとは別体に配設された斜面部９ｂとから構成する。 （もっと読む）