【課題】インクジェット記録ヘッドの記録素子基板に設けられたインク流路形成部材の剥離や損傷を抑え、適正な状態で記録素子基板を支持部材へと実装することを可能にする。
【解決手段】記録素子基板１００の一方の面１００ａには、インク流路形成部材１０９が設けられると共に、インク流路形成部材１０９から外方に延出する延出領域Ｒ１が設けられている。この延出領域Ｒ１をツール５０で加圧しながら、記録素子基板１００の第１端子部１２４と、支持基板２００の電極端子２０２とを接合させることにより、ツール５０によるインク流路形成部材１０９の損傷を避けることが可能になる。 （もっと読む）

複数の流体供給スロット（１３２）を含む流体吐出装置（１３０）のための流体マニホルド（１２０）が、第１の層（１４０）及び該第１の層に隣接する第２の層（１５０）と、第１の層及び第２の層を貫通してそれぞれが設けられている第１の流体送達路（１６０）及び第２の流体送達路（１７０）とを含む。流体吐出装置は、第２の層に支持されており、第１の流体送達路は流体供給スロットの１つと連通しており、第２の流体送達路は流体供給スロットの隣接する別の１つと連通している。第１の流体送達路及び第２の流体送達路の第１の層を通るピッチ（Ｄ３）は、流体供給スロットのピッチ（Ｄ１）より大きく、第１の流体送達路及び第２の流体送達路それぞれが、流体供給スロットに実質的に平行に配向された第１のチャネル（１６２／１７２）と、流体供給スロットに実質的に垂直に配向された第２のチャネル（１６６／１７６）とを含む。
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【課題】必要材料を減らし、高歩留まりでインクジェット記録ヘッドを製造する。
【解決手段】ウエハ４の切断に先立って、ベースフィルム２１上にホットメルト粘着層２２が形成されたダイシングテープ２０のウエハ４の裏面に接合させる。その後、ウエハ４及び粘着層２２を開口部２ごとに切断し、ウエハ４を複数の素子基板３に分離する。次いで、分離された各素子基板３の開口部２の形成領域を除く領域にのみ粘着層２２を残してダイシングテープ２０を剥離させる。その後、素子基板３に残っている粘着層２２を接着剤として、各素子基板をマウント基板９に接合する。 （もっと読む）

【課題】より信頼性のある効率的な製造方法を提供する。
【解決手段】膜（18）上に、圧電アクチュエータの配列を形成する方法であって、連続する上部分により一体接続され、前記アクチュエータ（20）の圧電層（36）を形成することになる島部の配列を有する、圧電櫛状構造を調製するステップであって、前記島部は、底部側に電極（32）を有する、ステップと、その底部電極を有する前記櫛状構造を、前記膜（18）の表面に取り付けるステップと、前記櫛状構造の前記連続する上部分を除去するステップであって、これにより前記アクチュエータが相互に分離される、ステップと、前記アクチュエータの前記圧電層（36）の上部表面に、上部電極（34）を形成するステップと、を有ることを特徴とする方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】 記録素子基板の反りやゆがみ、あるいはインク供給部材との剥離によるインク漏れを防止したインクジェット記録ヘッド及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 記録素子基板とインク供給部材との間に、部材間の線膨張率差を緩和するための支持部材を、段階的に２層以上設ける。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドにおける吐出口が形成された吐出口面と記録媒体との距離を小さくし、液体吐出ヘッドから吐出された液滴の着弾精度が向上された液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】記録ヘッド１は、ヘッドチップ３と、配線部材２とを具えている。ヘッドチップ３は、吐出口９が形成されたオリフィスプレート５及びインクを吐出させるためのエネルギーを発生させる発熱素子１０が設けられた素子基板６とが接合されることで形成される。配線部材２は、発熱素子１０を駆動させるための電気を伝送するための配線を具えている。そして、ヘッドチップ３は、配線部材２に形成され、ヘッドチップ３を囲む凹部１１に収容されている。ヘッドチップ３と配線部材２との間の空間には支持部１９が配置されている。支持部１９には、導電性材料によって形成され、配線部材２に具えられた配線部材側配線４と発熱素子１０とを接続するための接続用配線１４が配置されている。 （もっと読む）

【課題】電界クロストークの影響を激減させ、インク吐出性能の安定化を図り得るインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】分極された圧電素子基板に複数の平行な溝を形成することにより、複数のインク流路１と複数の隔壁２とを並設し、隔壁２の両壁面に電極７を形成し、該電極７に電圧を印加することにより、隔壁２をせん断変形させてインク流路１内の圧力を変化させ、インクを吐出させるインクジェットヘッドにおいて、圧電素子基板におけるインク流路１が形成されている面と反対側の面で、且つインク流路１の底面１ａから３００μｍ以内に二つ以上の境界面Ａ、Ｂを有しており、二つ以上の境界面Ａ、Ｂの各々を挟んで隣接する層は、比誘電率が互いに異なることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィーによる工程の繰り返しがなくて生産性に優れ、テーパ形状を含む高精度なノズル孔のパターニングが可能で、吐出特性に優れたノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基材１００の表面にレジスト１０１をコーティングする工程と、
複数回の多重焦点露光により、レジスト１０１に第１の露光部１２０、及び多段形状の第２の露光部１３０を形成する工程と、レジスト１０１を除去して、第１の露光部１２０を第１のノズル部１２を形成するための第１のレジストマスク１２１とし、第２の露光部１３０を第２のノズル部１３を形成するための多段形状の第２のレジストマスク１３１とする工程と、第１、第２のレジストマスク１２１、１３１によりシリコン基材１００にドライエッチングを行って、第１のノズル部１２及び第２のノズル部１３を形成する工程と、を有するものである。 （もっと読む）

【課題】製造工程中の被加工基板の破損を防止でき、また、ハンドリングが容易で歩留まりや生産性の向上に役立つノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】被加工基板１００にエッチングパターン１０１を形成し、被加工基板１００のエッチングパターン形成面に支持基板１２０を貼り合わせ、支持基板１２０を貼り合わせた面の反対側の面から被加工基板１００を薄板化し、その加工面に撥液保護膜１０４と撥液膜１０５とを形成し、被加工基板１００の撥液膜１０５の形成面側に支持基板１２０Ａを貼り合わせて支持基板１２０を剥離し、エッチングパターン１０１をマスクとしたドライエッチングにより被加工基板１００にノズル孔を形成し、ノズル孔の先端部分の撥液保護膜１０４と撥液膜１０５とをドライエッチングにより除去してノズル孔を貫通させ、被加工基板１００のノズル孔の内壁部及びノズル孔の形成面に液滴保護膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】振動板を薄膜にしても、また絶縁膜にＨｉｇｈ−ｋ材や表面保護膜を使用しても、振動板の反りなどの変形を抑制できる静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】振動板５と、この振動板に対向する電極（個別電極６）と、前記振動板を静電気力により変位させる駆動手段２０とを有する静電アクチュエータにおいて、前記振動板５は、前記電極に対する電極側対向面に絶縁膜７を有するとともに、前記電極側対向面と反対面に前記絶縁膜７の膜応力を打ち消すための応力調整膜８を有する。 （もっと読む）

【課題】生産効率が向上でき、かつ電気的接続信頼性を高くすることができる半導体装置
、半導体装置の製造方法および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】溝部２０内の底面２１上に形成された電極２２とフレキシブル基板２３とが
電気的に接続され、溝部２０内が樹脂材料で封止された半導体装置１０において、フレキ
シブル基板２３の上方に、フレキシブル基板２３を電極２２に向かって押圧するための弾
性部材３１が配置され、弾性部材３１には、硬化した樹脂材料４１と係合して弾性部材３
１の位置を固定する貫通孔３３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ダイ表面のうちヘッド内流路形成に費やされる部分を少なくしプリントヘッドデバイスの製品サイズを小さくする。
【解決手段】突端を有するノズルプレート２３０をシリコンウェハの上方に形成する。プレート２３０とウェハ表面の間隔はノズルプレート２３０の一端寄りで支持材２５０により確保する。そのウェハから切り出した個々のダイ２１０をその上のノズルプレート２３０等と共にプリントヘッド基板２７０上に配置する。その位置は基板２７０の開口２８０に面する位置にする。更に、ノズルプレート２３０の突端に接するよう基板開口２８０上方に犠牲材を配し、ノズルプレート突端・プリントヘッド基板表面間を封止材２９０で封止し、そして犠牲材を除去することにより、基板開口２８０からノズルプレート２３０に至る流路２６２を形成する。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板を有する基材と天板とを接合する際に、基材の破損を低減する。
【解決手段】樹脂１３０に形成された溝部１３８及び溝部１３４は、シリコン基板の劈開方向と異なる方向に形成されている。このため、天板４１と基材１３２とを接合する際に、加工工具で加圧することにより、樹脂１３０に形成された溝部１３４及び溝部１３８に沿って、基材１３２のシリコン基板が撓もうとしても、基材１３２の損傷を低減できる。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを製造する際に、電極が拡散防止層から剥離したり、圧電層に亀裂が生じたりするのを防止する。
【解決手段】圧電アクチュエータを製造するには、振動板の上面にＡＤ法により拡散防止層を形成し（Ｓ１０２）、拡散防止層を７５０℃で３０分間加熱して（Ｓ１０３）拡散防止層の残留応力を緩和させる。次に、スパッタ法により拡散防止層の上面に下部電極を形成し（Ｓ１０４）、下部電極を５００℃で３０分間加熱して（Ｓ１０５）下部電極の残留応力を緩和させる。次に、下部電極が形成された拡散防止層の上面にＡＤ法により圧電層を形成し（Ｓ１０６）、続いて、圧電層を８５０℃で加熱することにより、圧電層を構成する圧電材料の結晶を成長させるアニール処理を行う（Ｓ１０７）。次に、圧電層の上面にスパッタ法により上部電極を形成する（Ｓ１０８）。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位のバラツキが大きなチップを用いても、各ノズル開口から吐出されるインク滴の吐出速度が均一化された液体噴射ヘッドを容易に作製することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板上に圧力発生手段が形成され且つ流路形成基板に圧力発生室が形成された状態で、複数の圧力発生室の共振周波数又は圧力発生手段の変位量を測定する工程と、圧力発生室の列設方向における各圧力発生室の共振周波数又は圧力発生手段の変位量の変化の度合に応じて予め設定した複数のランクに、この測定結果に応じて流路形成基板をランク分けする工程を有する一方、各ランクに応じて開口径の異なる複数種類のノズル開口を配列したノズルプレートを作製する工程を有し、流路形成基板のランクに応じて所定のノズルプレートを流路形成基板に接合する。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドと保持部材との接着強度を向上して、信頼性を向上した液体噴射ヘッドユニットの製造方法及び液体噴射ヘッドユニットを提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１が開口する液体噴射面Ａを有する液体噴射ヘッド２と、該液体噴射ヘッド２の前記液体噴射面Ａに接着剤４００を介して接着される保持部材２５０とを具備する液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、前記液体噴射面Ａに積層膜２２を形成する工程と、前記積層膜２２が形成された前記液体噴射面Ａの前記保持部材に接着される領域に前記積層膜２２が形成されていない非撥液領域２５を形成する工程と、前記非撥液領域２５にプライマ液を塗布するプライマ処理工程と、前記液体噴射面Ａの前記非撥液領域２５に前記保持部材を接着剤４００を介して接着する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル配線材を大面積化させることなくアクチュエータの小型化や高密度化を図る。
【解決手段】アクチュエータ１８の共通電極をその側端部１８ａに露出させ、複数の個別電極の端子部をその上面に配置したアクチュエータ１８の表面に、フレキシブル配線材１９が接続され、フレキシブル配線材１９の下面に形成された複数の個別導体１９ａが、個別電極の端子部と接続されていて、フレキシブル配線材１９の上面には共通電極に接続される接地導通部１９ｂが銅箔を露出して形成されるとともに、接地導体２０ａを有するアース配線材２０が、その接地導通部１９ｂとアクチュエータ１８の側端部１８ａに露出した共通電極の端縁部ａとを接続している。 （もっと読む）

【課題】 複数列のチャネルを有して小型で効率良く印刷可能であるとともに、配線基板を容易かつ確実に接続することが可能なヘッドチップユニット及びヘッドチップユニットの製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法、並びに、インクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】 ヘッドチップユニット２０は、一縁端２１ａ側に設けられて配線基板１３が接続される基板接続面２８と、インクが供給されるインク室３２と、インク室３２から他縁端側２１ｂに向かって形成されて開口するチャネル２９と、チャネル２９の壁面２９ｂから基板接続面２８まで延設された電極３１とを有するヘッドチップ２１を複数備え、複数のヘッドチップ２１は、隣り合う他のヘッドチップ２１の基板接続面２８を一縁端２１ａ側に張り出させて段状になるようにして積層されている。 （もっと読む）

【課題】複数種のインクを吐出することができ、小型化を図るとともに複数種インクによる印刷を可能とするヘッドチップユニット及びヘッドチップユニットの製造方法、インクジェットヘッド、並びに、インクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】 ヘッドチップユニット２０は、一縁端２１ａ側から他縁端２１ｂ側に向かって形成されて他縁端２１ｂ側に開口するチャネル２９と配列方向に形成されてチャネル２９と一縁端２１ａ側で連通するインク室３２とを有するヘッドチップ２１が複数積層され、ヘッドチップ２１のインク室３２は、一方側Ｒ１に積層されている他のヘッドチップ２１のチャネル２９及びインク室３２と積層方向Ｒに重ならない位置まで形成された供給部３５を有し、一方側Ｒ１に積層された他のヘッドチップ２１には一方側Ｒ１に開口しヘッドチップ２１を貫通して供給部３５まで連通するインク供給孔３６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】吐出動作の安定化を図りつつサテライトの発生を防止し、飛翔方向のずれを防止する液体吐出ヘッドおよび画像形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
液体流路に対応するノズルを備えた液体吐出ヘッドにおいて、前記ノズルの内部に配置され、前記ノズルの中心軸を中心に軸対称な構造であり、柱形状の第１構造部と前記ノズルの吐出口方向に向かって断面積が減少して先端部を備える第２構造部とからなり、前記第１構造部と前記第２構造部の境界部分の断面積が等しい構造体を有すること、を特徴とする。 （もっと読む）