【課題】可動電極である振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の酸化絶縁膜あるいはＤＬＣ膜である水素化アモルファスカーボン膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエーター等を提供する。
【解決手段】基板上に形成された固定電極となる個別電極５と、個別電極５に対して所定の間隔で対向配置し、個別電極５との間に発生した静電気力で変位する可動電極となる振動板６を備える静電アクチュエーター４において、振動板６と個別電極５との少なくとも一方に、水素化アモルファスカーボン膜８を形成し、さらに、振動板６と個別電極５との対向配置に係る密閉空間であるギャップＧを、有機系処理剤に係る雰囲気とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に多段の溝を安価に精度良く形成することができるガラス基板の溝形成方法等を提供すること。
【解決手段】ガラス基板２の表面に段差状の開口穴２１ａ〜２３ａを有するエッチング保護膜Ｂを形成し、エッチング保護膜Ｂとガラス基板２とを同時にエッチングして、ガラス基板２に段差状の開口穴２１ａ〜２３ａに対応する多段の溝９ａ〜９ｃを形成する。このとき、段差状の開口穴２１ａ〜２３ａを有するエッチング保護膜ＢがＴＥＯＳ酸化膜のような酸化膜であり、あるいは窒化膜である。エッチングに際しては、ガラス基板２のエッチングレートとエッチング保護膜Ｂのエッチングレートとの相違により、エッチング保護膜Ｂの段差部の膜厚を決定する。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板の製造中に、ノズル孔内に撥インク膜やプライマー液が入り込むのを抑制して、ノズル孔内壁の親水化をより向上させる。
【解決手段】シリコン基板１をドライエッチングしてノズル孔１０となる部分を形成する工程と、ノズル孔１０となる部分が形成されたシリコン基板１の表面に酸化膜１０２を形成する工程と、ノズル孔１０となる部分に溶解性樹脂２０１を充填する工程と、支持基板１０３をシリコン基板１のノズル孔１０部を加工した面に貼り合せる工程と、支持基板１０３を貼り合せた面と反対側の面からシリコン基板１を研削及び研磨して薄板化し、ノズル孔１０を貫通させる工程と、シリコン基板１の研削及び研磨した面に撥インク膜１２を成膜する工程と、支持基板１０３を剥離し、シリコン基板１の撥インク膜１２成膜面をプライマー処理する工程と、溶解性樹脂２０１をノズル孔１０から除去する工程と、を備えたノズル基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】圧電層に作用する圧縮応力を緩和し、圧電層の見かけ上の圧電特性の低下を抑制する。
【解決手段】まず、振動板４０の一表面に、エアロゾルデポジション法により圧電層４１を形成する（圧電層形成工程）。そして、圧電層４１が形成された振動板４０を所定の温度（例えば、９００℃）で加熱する（加熱工程）。その後、加熱された圧電層４１が形成された振動板４０を環境温度まで冷却し（冷却工程）、圧電層４１の表面に複数の個別電極４２をそれぞれ形成する（電極形成工程）。続いて、個別電極４２を覆うように圧電層４１の上面に、ＡＤ法により圧電層形成工程で用いた粒子とキャリアガスとを含んだエアロゾルと同様のエアロゾルを噴きつけて絶縁層６０を形成する（噴きつけ工程）。 （もっと読む）

【課題】ノズル形成基板の変形が抑えられ、液滴の到達位置精度の低下が抑えられた液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】ノズル列１５に沿って複数回ギャップ剤８０を配置するので、ギャップ剤８０がノズル列１５方向（Ｙ軸方向）に間隔Ｄを狭くして多く配置できる。したがって、加圧、加熱によるノズル開口への接着剤シート７０の流れ込みを防ぎつつ、ノズル列１５に沿ったノズル形成基板１７の変形を抑えることができ、液滴の到達位置精度が良好で描画品質の低下の少ない液体噴射ヘッドの製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】孔部を有する基材の表面をムラなく均一に撥液処理を行う。
【解決手段】孔部を有する基材の表面に撥液性を付与する撥液処理方法であって、前記基材の表面及び孔部内壁面に有機膜を形成する有機膜形成工程と、前記基材の表面の有機膜上に保護部材を形成する保護部材形成工程と、前記基材の孔部内壁面の有機膜を除去する有機膜除去工程と、前記基材の表面の有機膜上の前記保護部材を除去する保護部材除去工程と、前記基材の表面の有機膜をフッ化処理するフッ化処理工程と、を含むことを特徴とする撥液処理方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】メニスカスが安定して良好な吐出性能が得られ、また、ノズル径精度の高いノズル基板を製造することが可能なノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】吐出方向の先端側から後端側に向けて開口断面が段階的に大きくなる２段のノズル孔１１を有するノズル基板１の製造方法であって、ノズル孔１１の各段毎に基板を分けた２層基板構造とし、各層基板１ａ，１ｂのそれぞれに独立して第１ノズル部１１ａ又は第２ノズル部１１ｂを形成すると共に、撥液膜１０５又は親液膜１２３を必要箇所に形成した後、両基板１ａ，１ｂを接合する。 （もっと読む）

【課題】成膜工程においてエアロゾルが噴きつけられることによって振動板が変形するのを抑制する。
【解決手段】まず、磁化されてない強磁性体からなる２枚の振動板４０のうち、一方の振動板４０に外部磁場を印加することにより、この振動板４０を磁化させ、磁化した一方の振動板４０に他方の振動板４０を近づけて、磁力によって２枚の振動板４０を接着する。そして、２枚の振動板４０の対向していない側のそれぞれの表面に、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）により圧電層４１を成膜する（成膜工程）。成膜された圧電層４１を所定の温度で熱処理を施す。具体的には、圧電層４１がそれぞれ形成された２枚の振動板４０を、圧電層４１のアニール温度及び振動板４０の消磁温度以上の温度で加熱する（加熱工程）。これにより、加熱工程において、振動板４０の磁化の消磁が行われ、２枚の振動板４０が分離される。 （もっと読む）

【課題】 コストの低減と作業性の向上とを図りつつ流路ユニットをグランド電位にすることができ、更に、空中配線や両面基板を採用する必要なく同電位配線を短絡させることのできる液体吐出装置と該液体吐出装置の製造方法とを提供する。
【解決手段】 液体吐出装置１００は、ＣＯＦ６４上の第１グランド線３１，７３に、独立して接続される第２グランド線８３，８６が第２ベースシート６５ａ上に形成されたＦＰＣ６５を備え、第２ベースシート６５ａが有する延設シート６５ｂ上には、第１，第２グランド線の接続箇所から更に延設された第２グランド線８５，８６同士が短絡されると共に流路ユニット１１に対して導通する接点たるバンプ８８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射可能な第一噴射孔列に連通して並設された複数の第一溝３５を有する第一アクチュエータプレート３０Ａと、第一溝のそれぞれに液体を供給する第一液体導入孔３１ａが形成された第一カバープレート３１Ａと、を備えた第一ヘッドチップ２１Ａと、液体を噴射可能な第二噴射孔列に連通して並設された複数の第二溝３５を有する第二アクチュエータプレート３０Ｂと、第二溝のそれぞれに液体を供給する第二液体導入孔３１ｂが形成された第二カバープレート３１Ｂと、を備えた少なくとも一つ以上の第二ヘッドチップ２１Ｂと、が積層され、複数の噴射孔列を有する液体噴射ヘッドの製造方法において、第一液体導入孔と第二液体導入孔との間を連通する貫通孔３９を形成する工程を有し、貫通孔がサンドブラスト加工にて形成される。 （もっと読む）

【課題】圧力室内の液体に所定の圧力を付与することができる。
【解決手段】７枚のプレート２１〜２７を積層して加熱押圧して流路ユニット３１を作製する。このとき、流路ユニット３１に孔６０を形成する。３枚のグリーンシートの一表面に、上部電極４５、中間電極４４及び下部電極４３をそれぞれ形成する。このとき、上部電極４５が形成されるグリーンシートに上部電極４５と所定距離だけ離隔した上部電極マーク６１を形成する。また、中間電極４４が形成されるグリーンシートに中間電極４４と所定距離だけ離隔した中間電極マーク６２を形成する。そして、３枚のグリーンシートを積層し、所定温度で焼成して、圧電アクチュエータ３２を作製する。その後、作製された流路ユニット３１の孔６０と、圧電アクチュエータ３２の中間電極マーク６２が平面視で重なるように、流路ユニット３１と圧電アクチュエータ３２を位置合わせして接合する。 （もっと読む）

【課題】液体の吐出不良を防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置の製造方法並びに液体噴射ヘッドの製造装置を提供する。
【解決手段】液体供給路３６を介して供給された液体を噴射するノズルを有するヘッド本体と、液体供給路３６が設けられた供給部材本体３１及び供給針３２と、供給部材本体３１と供給針３２との間に液体供給路３６を横断して設けられたフィルター３３と、挟持領域３９の外側に形成された樹脂からなる一体成型部３４とを備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、供給部材本体３１にフィルター３３を吸着用液体９０の表面張力で吸着させ、フィルター３３が吸着された供給部材本体３１と供給針３２とでフィルター３３を挟持し、供給部材本体３１と供給針３２とでフィルター３３を挟持した状態で挟持領域３９の外側に一体成型部３４を成型により形成することで供給部材本体３１と供給針３２とフィルター３３とを一体化する。 （もっと読む）

【課題】液体のリークを抑制すると共にガスバリアー性を向上して、信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体流路１２０の一部の壁面を構成する第１流路部材１００と、液体流路１２０の前記第１流路部材１００と異なる一部の壁面を構成する第２流路部材１１０と、液体流路１２０の周りに形成され、第１流路部材１００と第２流路部材１１０とを一体成型接合する一体成型部材１４０と、を備えた液体噴射ヘッドであって、前記第１流路部材１００と前記第２流路部材１１０とは、前記液体流路１２０の周囲に互いに当接する当接領域１０４ａを有し、前記第１流路基板１００及び前記第２流路基板１１０の少なくとも一方の前記当接領域１０４ａには、複数の凸部１３０が設けられていると共に、前記一体成型部材１４０は、前記第１流路部材１００と前記第２流路部材１１０との前記当接領域１０４ａの外側に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ヘッド幅が狭く、吐出安定性を向上させたインクジェットヘッドを実現する。
【解決手段】圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁面に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッドであって、前記インクチャンネルにインクを供給する供給流路と、前記インクチャンネル内に充填されたインクを循環させる循環流路と、を備え、前記インクチャンネルは、前記ノズルのインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設され、前記インクチャンネルには、前記供給流路に連通する供給口が設けられるとともに、前記循環流路に連通する排出口が設けられる。 （もっと読む）

【課題】インク供給口の開口幅を小さくしても、インクの吐出に支障をきたさないでオリフィスプレートの強度を十分に保つことが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】複数の吐出エネルギー発生素子３と、複数の吐出エネルギー発生素子３の配列方向に沿って位置し梁５によって互いに区画された複数のインク供給口４と、が設けられた基板１と、梁５に支持された複数のリブ６と、複数のリブ６に支持され、複数のインク供給口４から流入し複数の吐出エネルギー発生素子３で吐出エネルギーを与えられた液滴を吐出する吐出口８を備えたオリフィスプレート７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子のこれが対応させられた圧力発生室に対するアライメント精度を容易に向上させることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１６Ａ，１６Ｂ、固定部材３３及びこの固定部材３３から一体的に振動板１５側に伸びる脚部４１が一体化された圧電素子ユニット１７を形成する工程と、圧電素子ユニット１７を流路形成基板１２に対しその所定位置にアライメントするとともに固定する工程と、流路形成基板１２に対して固定された圧電素子ユニット１７を収容部１８に収容しつつヘッドケース１９を前記流路形成基板１２に対して固定する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】メンブレインにストレスを与えずに、それぞれの圧電体を分離してインクジェットヘッドの駆動部を製造できるインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】インクを収容するチャンバ１１４と、チャンバ１１４の一側に形成されるメンブレイン１１２とを備えたインクジェットヘッドを製造する方法であって、第１圧電体及び第２圧電体の一面にそれぞれ分離溝を形成する工程と、第１圧電体及び第２圧電体の分離溝が互いに対向するようにして第１圧電体及び第２圧電体を接合する工程と、分離溝が露出するように第１圧電体の他面を加工する工程と、第１圧電体の他面をメンブレイン１１５に接合する工程と、分離溝が露出するように第２圧電体の他面を加工する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】高吐出口密度を有する記録素子基板の接着固定に必要な精度を容易に満足できるインクジェット記録ヘッド、記録素子基板、インクジェット記録ヘッドの製造方法、および記録素子基板の製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板３を複数備えている。各記録素子基板３は、各流路が開口する複数のインク吐出口７が配された第１の面１３と、第１の面１３と交差して記録素子基板３の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチング処理によって形成された第２の面１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】気泡が混入されても液滴の不吐出に至るのを回避できる記録液供給路を構成する。
【解決手段】第１の流路形成部材１１の底面には記録液供給路１１ａとなる溝が設けられている。一方、第２の流路形成部材１２は複数の幅狭の長尺部である腕部１２ａを備えている。腕部１２ａは、第１の流路形成部材１１底面の、記録液供給路１１ａとなる溝の輪郭に沿った形状となっている。第２の流路形成部材１２の腕部１２ａは第１の流路形成部材１１底面に形成された液体供給路１１ａとなる溝の開口を塞ぐ蓋としての役割を担っている。このような第１の流路形成部材１１と第２の流路形成部材１２は射出成形により形成され且つ接合部材１３によって接合される。第１の流路形成部材１１の記録液供給路１１ａとなる溝の開口縁と第２の流路形成部材１２の腕部１２ａとが当接する部分の周囲を覆うように接合部材１３が形成される。 （もっと読む）

複合デバイスを作製する方法が、第１のピッチの構成要素の第１のセットを含む第１のパーツを用意するステップと、第１のピッチとは異なる第２のピッチの構成要素の第２のセットを含む第２のパーツを用意するステップとを含む。第１のパーツは、複合デバイスを作製するために第２のパーツに固定される。複合デバイスは、実質的に位置合わせされた複合構成要素の対応するサブセットを形成するために、構成要素の第２のセットのサブセットと実質的に位置合わせされる構成要素の第１のセットのサブセットを含む。
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