【課題】湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に対して、対象物と複数のノズルとの間のそれぞれの距離が大きく異なるのを避けるとともに、構成部品となる構造体の接合が容易な液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】ラインヘッド１は、複数のノズル６１が開口する液滴噴射面６０を有するノズルプレート７２と、ノズルプレート７２に接合されるプレート７０，７１，及び、圧電アクチュエータ５７とを備えている。そして、ノズルプレート７２は、液滴噴射面６０と反対側に平面状の接合面を有し、前記接合面にはベースプレート７１が接合されており、さらに、液滴噴射面６０が曲面状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】従来の高画質、高精細のインクジェット記録ヘッドの製作方法において、ノズル形成部材１０と撥インク性部材１１の吐出口部とを同じ大きさにパターンニングしようとすると、パターニング精度の関係から数１００μｍのずれを生じて吐出口付近に撥インク剤が不均一になり、記録品位が低下する問題点を解消する製造方法を提供する。
【解決手段】このため、ノズル形成部材である第一の活性エネルギー線硬化性材料１０の硬化前に撥インクの第２の活性エネルギー線硬化材料１１を乾燥工程を経て被覆し、これら両者を同時に露光、現像することにより、吐出口を得る製造方法を採用した。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの駆動部間に残存する圧電体を除去してクロストークを低減させることができ、薄型化された駆動部を有するインクジェットヘッドが製造できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、インクが収容される複数のチャンバ、チャンバに圧力を提供する駆動部を含むインクジェットヘッドの製造方法であって、チャンバに隣接するインクジェットヘッドの一面に圧電体を形成する工程と、チャンバの位置に対応して圧電体が残存するように、圧電体をダイシングして駆動部を形成する工程と、隣り合う駆動部間に残存する圧電体が除去されるように、インクジェットヘッドの一面をエッチングする工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体流路内に圧電材料の粒子が侵入することを防止する。
【解決手段】まず、インク供給口１８を覆うように振動板３１上にフィルタ７２を載置した後（流入孔覆設工程）、フィルタ７２と、振動板３１と、７枚のプレート４１〜４７を積層して金属拡散接合により接合する（接合工程）。次に、フィルタ７２の上面に封止膜７３を形成するとともに、フィルタ７２の複数の孔に入り込んだポリイミド樹脂が固化することでインク供給口１８を封止する（開口封止工程）。その後、振動板３１の上面に、複数の圧力室１４を覆うように、ＡＤ法により圧電材料の粒子を振動板３１上に堆積させて圧電層３２を形成する（圧電層形成工程）。次に、圧電層３２を所定のアニール処理温度以上に加熱して、圧電層３２に対して熱処理を施す（アニール処理工程）。封止膜７３はアニール処理工程においてインク供給口１８から除去される。 （もっと読む）

【課題】容易に液滴形状を形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法は、母型基板１を準備する工程と、母型基板１の上方に、第１マスク層Ｒ１をマスクとして第１基板１０を形成する工程と、第１基板１０の上方に、第２マスク層Ｒ２をマスクとして第２基板２０を形成する工程と、第１マスク層Ｒ１および第２マスク層Ｒ２と、母型基板１と、を除去して、第１基板１０にノズル孔１２を形成すると伴に、第２基板２０にノズル孔１２と連通する開口部２２を形成する工程と、第１基板１０の上面１０ｂおよび下面１０ａと、ノズル孔１２を区画している第１基板１０の側面１０ｃと、開口部２２を区画している第２基板２０の側面２０ａと、に撥液処理を行う工程と、開口部２２の上方に、振動板３０および圧電素子４０を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、基板２０の下面に設けられ、ノズル孔１１とを備えるノズルプレート１０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合されており、この接合膜１５は、プラズマ重合法で形成され、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含み、エネルギーを付与したことにより、接合膜１５の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜１５に発現した接着性によって、基板２０とノズルプレート１０とを接合している。 （もっと読む）

【課題】インク流路の変形が少なく、接合強度の安定性に優れ、容易かつ安価に生産できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】凹溝が形成されたキャビティ板１０と、平板状の振動板２０とを、前記凹溝を覆うように気密に接合してインクジェット記録ヘッドの製造方法において、キャビティ板及び振動板が非結晶性熱可塑性樹脂からなり、前記非結晶性熱可塑性樹脂と相溶性を有する有機溶剤を、少なくとも一方の接合面に塗布し、互いの接合面を重ね合わせてキャビティ板と振動板とを接合し、その接合の際にインク流路内に余剰に流出した有機溶剤を、該有機溶剤と混和性を有し且つ実質的に前記非結晶性熱可塑性樹脂との相溶性が無い液体をインク流路内に通して排出する。 （もっと読む）

【課題】高い寸法精度で強固に接合された接合体を、低温下で効率よく製造することができる接合方法およびかかる接合方法で形成された接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、第1の基材21上に第1の金属原子と脱離基とを含む第1の接合膜31を形成して第1の接合膜付き基材11を得るとともに、第2の基材22上に第1の金属原子よりも融点が低い第2の金属原子と脱離基とを含む第2の接合膜32を形成して第2の接合膜付き基材12を得る工程と、接合膜31、32に対してエネルギーを付与して、これらの表面付近に存在する脱離基を脱離させることにより、接合膜31、32に接着性を発現させる工程と、接合膜31、32とが密着するように、接合膜付き基材11、12同士を貼り合わせて接合膜31、32とが接合された接合体5を得る工程と、接合膜31、32を第2の金属原子が溶融するまで加熱することにより接合体5の接合強度を向上させる工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】高い寸法精度で強固に接合された接合体を、低温下で効率よく製造することができる接合方法、および、かかる接合方法を用いて形成された接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、第1の基板21上に第1の金属原子とこの第1の金属原子よりも融点が低い第2の金属原子と脱離基とを含む第1の接合膜31を形成して第1の接合膜付き基材11を得るとともに、第2の基材22上に第1の金属原子と第2の金属原子と脱離基とを含む第2の接合膜32を形成して第2の接合膜付き基材12を得る工程と、接合膜31、32に対してエネルギーを付与してこれらの表面付近に存在する脱離基を脱離させることにより接合膜31、32に接着性を発現させる工程と、接合膜付き基材11、12同士を貼り合わせて接合膜31、32が接合された接合体5を得る工程と、接合膜31、32を第2の金属原子が溶融するまで加熱することにより接合体5の接合強度を向上させる工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】高い寸法精度で強固に接合された接合体を低温下で効率よく製造することができる接合方法およびかかる接合方法を用いて形成された接合体を提供することにある。
【解決手段】本発明の接合方法は、第1の基板21上に第1の金属原子とこの第1の金属原子よりもイオン化傾向が大きい第2の金属原子と脱離基とを含む第1の接合膜31を形成して第1の接合膜付き基材11を得るとともに、第2の基板22上に第1の金属原子と第2の金属原子と脱離基とを含む第2の接合膜32を形成して第2の接合膜付き基材12を得る工程と、接合膜31、32に対してエネルギーを付与して接合膜31、32の表面付近に存在する脱離基をこれら接合膜31、32から脱離させることにより、接合膜31、32に接着性を発現させる工程と、接合膜31、32とが密着するように、第1の接合膜付き基材11と第2の接合膜付き基材12とを貼り合わせて、接合膜31、32とが接合された接合体5を得る工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】高精度な接合が可能で、安定した吐出特性が得られるものとする。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０を、加圧液室６が形成されたを備えた、圧電素子１２で振動される振動板２、ノズル４を備えたノズル板３、圧電素子１２を保持するフレーム部材１５で構成し、隣り合って配置される流路板１と振動板２とを、圧延加工された金属プレートを含むものとし、流路板１の金属プレートの圧延方向ａと直交する方向を加圧液室６の長手方向となるように配置し、振動板２の金属プレートの圧延方向ｂに沿った方向が加圧液室６の長手方向となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】インク供給口を有する記録素子基板の側面部を封止剤により封止する場合、乾燥環境化においては、水分蒸発による封止剤自体の収縮により、特に、インク供給口の剛性の低い基板側面部も追従して変形し、最悪、基板が割れる場合がある。
【解決手段】記録素子基板２の支持部材１に基板側面部と平行する溝Ｄ１を設け、溝までの間を薄肉にすることで、封止剤の収縮に伴う記録素子基板への引張力を緩和する。 （もっと読む）

【課題】電極パッドとインナーリードとの接合部において冷却した際に発生する応力を低減させることで耐久性が向上し、信頼性が増した記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】電極パッド２とスタッドバンプ３との間の接合部分において、電極パッド２とスタッドバンプ３との接触している部分のうちの一部のみが接合されるように、電極パッド２とインナーリード８とを電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】微粒子がめっき膜中に均一に分散されるとともに、ピンホール、ボイド、及びノジュールの発生が抑制される複合めっき膜の形成方法、並びに、ワイピング耐性、耐インク性、及び吐出安定性に優れたインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】高圧流体と、微粒子を含むめっき液とを混合して攪拌した混合流体に、めっきを施すべき被めっき体を接触させて複合めっき膜を形成する。インクジェット記録ヘッドを製造する場合、ノズルプレート１１のインク吐出側とは反対側の面にめっき用保護膜１４を形成し、好ましくは、超臨界二酸化炭素と、撥液性微粒子及び界面活性剤を含むめっき液とを混合して攪拌した混合流体にノズルプレートを接触させてインク吐出側の面に複合めっき膜１６を形成する。めっき後、ノズルプレートからめっき用保護膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】端子間の短絡を防止することが可能であり、またフレキシブル基板９０の実装時の位置合せを容易化することが可能な、ヘッドチップ４１を提供する。
【解決手段】液体噴射チャネルを挟持する一対の圧電素子と、圧電素子の液体噴射チャネル側の面に形成されたコモン電極と、その反対側の面に形成された駆動電極とを備え、コモン電極に接続されたコモン端子１９ａを覆うようにカバープレート１６が接合され、カバープレート１６の表面に全てのコモン端子１９ａを統合する統合配線７０が形成され、統合配線７０はカバープレート１６の貫通孔７４に形成されたコンタクトプラグ７５を介してコモン端子１９ａに接続され、統合配線７０に接続された統合端子１９ｄと、駆動電極に接続された駆動端子１９ｂとが、アクチュエータプレート１５の端部に並んで配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アライメントを行うことなく流路とノズルの位置ズレを防ぐとともに、流路が微細であってもエッチングムラを抑制してノズル孔を高精度に形成することができるノズル孔の形成方法及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】内部を貫通する流路１２を有し、少なくとも片面に前記流路の開口部１４ａ，１４ｂが形成されている流路基板１０と、前記流路に通じるノズル孔を形成するためのノズル基板２０を準備する基板準備工程と、前記流路基板の流路の開口部１４ｂが形成されている片面に、該開口部を塞ぐように前記ノズル基板を接合する接合工程と、前記流路基板の前記流路を介して、高圧流体とエッチング液を含むエッチング混合流体を前記ノズル基板に供給してエッチングすることにより、前記流路に通じるノズル孔２２を形成するエッチング工程と、を有するノズル孔の形成方法。 （もっと読む）

【課題】３つ以上の部材同士が接合膜を介して接合された接合体において、３つ以上の部材同士を容易な方法で、かつ効率よく剥離し得る接合体およびその接合体の剥離方法を提供すること。
【解決手段】本発明の接合体は、第１の接合膜3が、第１のシリコーン材料を含有しており、第１の接合膜3に第１の剥離用エネルギーを付与して、第１のシリコーン材料を構成する分子結合の一部を切断することにより、第１の接合膜3内に第１のへき開を生じさせて、第１の基材21から第２の基材22を剥離し得るように構成され、第２の接合膜4が、第１のシリコーン材料とは異なる第２のシリコーン材料を含有しており、第２の接合膜4に第１の剥離用エネルギーとは異なる第２の剥離用エネルギーを付与して、第２のシリコーン材料を構成する分子結合の一部を切断することにより、第２の接合膜4内に第２のへき開を生じさせて、第１の基材21から第３の基材25を剥離し得るように構成される。 （もっと読む）

【課題】着弾位置精度に優れた流体噴射ヘッド及び流体噴射装置を提供すること。
【解決手段】流体を保持する流体保持部を有する第１基板と、前記第１基板との間にギャップ部材を介するように接着部材によって前記第１基板に貼り合わされると共に、前記流体保持部に接続され前記流体を対象物へ向けて噴射する複数のノズル孔が一方向に配列された第２基板とを備え、前記ノズル孔の位置及び角度のうち少なくとも一方は、前記対象物上で前記流体が前記一方向にほぼ等間隔に着弾されるように、前記第２基板の形状に基づいて設定されている。 （もっと読む）

【課題】クロストークを減少させて液体の吐出特性を向上すると共に小型化した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２を有する個別流路が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側の前記圧力発生室１２に相対向する領域に設けられた圧力発生素子３００とを具備すると共に、前記流路形成基板１０の前記圧力発生素子３００側の面には、前記圧力発生素子３００に相対向する領域に前記個別流路の共通の液体室となるリザーバ１００が設けられたリザーバ形成基板３０が、前記圧力発生素子３００との間に所定の間隔で設けられたコンプライアンス基板４０を介して接合され、当該コンプライアンス基板４０の前記リザーバ１００を封止する領域には可撓部が設けられたヘッドチップを具備し、前記個別流路と前記リザーバ１００とを連通する流路４５の一部を封止部材１２０で封止している。 （もっと読む）

【課題】 エッチング液からの保護をより完全に行うことができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコンウェハからなりノズル開口に連通する圧力発生室１２を含む第１の液体流路が設けられた流路形成基板が一体的に形成される流路形成基板用ウェハ１００上に圧力発生素子３００を形成する成膜工程と、シリコンウェハからなり圧力発生室１２に液体を供給する第２の液体流路が設けられた接合基板が一体的に形成された接合基板用ウェハ１３０を流路形成基板用ウェハ１００上に接合すると共に有機フィルム１４０を接合基板用ウェハ１３０の流路形成基板用ウェハ１００の接合側とは反対側の表面全体に接合する工程と、流路形成基板用ウェハ１００をウェットエッチングすることにより圧力発生室１２を形成するエッチング工程と、有機フィルム１４０を除去する除去工程と、流路形成基板用ウェハ１００及び接合基板用ウェハ１３０を所定の大きさに分割する分割工程とを有する。 （もっと読む）