【課題】クロストークを減少させて液体の吐出特性を向上すると共に小型化した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２を有する個別流路が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側の前記圧力発生室１２に相対向する領域に設けられた圧力発生素子３００とを具備すると共に、前記流路形成基板１０の前記圧力発生素子３００側の面には、前記圧力発生素子３００に相対向する領域に前記個別流路の共通の液体室となるリザーバ１００が設けられたリザーバ形成基板３０が、前記圧力発生素子３００との間に所定の間隔で設けられたコンプライアンス基板４０を介して接合され、当該コンプライアンス基板４０の前記リザーバ１００を封止する領域には可撓部が設けられたヘッドチップを具備し、前記個別流路と前記リザーバ１００とを連通する流路４５の一部を封止部材１２０で封止している。 （もっと読む）

【課題】金属部材で形成された流路部材の流路間隔壁部の幅を狭くすると所要の強度、接合強度が得られなくなる。
【解決手段】ノズル４が連通する加圧液室６を形成する流路板１は金属板で形成され、２つの加圧液室６、６を隔てる隔壁部６１は、長手方向に沿う中央部６１ａが隔壁部６１の両端部６１ｂ、６１ｂに対して捻られて形成され、長手方向に沿う中央部６１ａの短手方向の断面形状で、流路板１に接合される部材との接合面６１ｃ、６１ｄが流路板１自体の接合面１ａに対して角度θａ傾いて形成され、長手方向に沿う中央部６１ａの短手方向の断面形状で、２つの加圧液室６、６のそれぞれの壁面となる２つの側壁面６１ｅ、６１ｅが流路板１自体の接合面１ａに垂直な面に対して同じ方向に角度θｂ傾いて形成されている。 （もっと読む）

【課題】所望の波形を印加することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】導電性液体を噴射する液体噴射面にノズル開口２１が穿設された金属製のノズルプレート２０と、ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、電気信号に応じて圧力発生室１２に圧力を発生させる圧電素子３００とを備えた液体噴射ヘッドであって、ノズルプレート２０の液体噴射面のノズル開口２１の周囲に撥液膜２４が設けられ、ノズルプレート２０の少なくとも噴射させる導電性液体と接触する領域に絶縁膜（下地膜２３）が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドＩ。 （もっと読む）

【課題】圧力発生手段の収容部へ異物が侵入することを防止することが可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】振動子ユニット１３を収容する収容室１２、及び、ノズル開口に通じるケース流路１０´を有するヘッドケース１０と、インクをケース流路１０´側に導入するインク導入路を有する導入針ユニット２と、インク導入路とケース流路１０´とを連通する連通口１８を有し、ヘッドケースと導入針ユニットの間に配置されるシール部材７と、を備え、このシール部材によって収容室の開口を覆い隠した。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔が高密度に配置された液体噴射ヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１０００は、基板１と、基板１に形成された圧力室２８と、圧力室２８の上方に形成された振動板３０と、振動板３０の上方に形成された圧電素子４０と、圧力室２８から液滴を吐出するノズル孔５２を有するノズルプレート部材５０と、を含むユニットヘッド１００を複数有し、圧力室２８の１つの側面２８ａは、開口されており、ノズルプレート部材５０は、開口されている側面２８ａを覆うように配置され、ユニットヘッド１００は、上下方向に積層され、液滴を吐出する方向は、振動板３０の変位方向と交差する方向である。 （もっと読む）

【課題】 製造コストを低廉に維持しつつ、基板に形成された孔の径の精度を向上することができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 インクジェットヘッド１１は、インクの供給口３１となる孔を有する基板１２と、基板１２に接着される枠部材１３と、枠部材１３に接着されるノズルプレート１４と、ノズルプレート１４に形成されるとともに、それぞれ複数のノズル２２を含む一対のノズル列２１と、複数のノズル２２に対応する複数の駆動素子を有し、一対のノズル列２１にそれぞれ対応するように基板１２に接着された一対の圧電部材１５と、を具備する。一対の圧電部材１５は、互いの距離が一定に維持された状態で、孔の一部を塞ぐように基板１２に接着される。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートの周縁部にバリが生じていてもノズルプレートと流路形成基板との接合を均一に行う。
【解決手段】ノズルプレート１４は、加工時の周縁のバリ１４ａが金属板８１側に向けられ、金属板８１とノズルプレート１４の間にシート９１を介在させ、一対の金属板８１，８２による加圧接合時にノズルプレート１４のバリ１４ａをシート９１に当接させ、金属板８１とノズルプレート１４が全面で均一に接触した状態にする。 （もっと読む）

【課題】 記録素子基板とオリフィスプレートとからなるインクジェットヘッドにおいて、吐出口の変形やオリフィスプレートと記録素子基板との剥がれを抑制する。
【解決手段】 インクジェットヘッドにおいて、複数の供給口は、記録素子基板の一端部側に配される第１の供給口と、配設の方向に関して記録素子基板の一端部の反対側である他端部側に配される第２の供給口と、を含み、配設の方向に関して、一端部と第１の供給口との間隔に比べ、他端部と第２の供給口との間隔が小さく、第１の供給口と連通する複数の第１のインク流路を構成する第１の流路壁と記録素子基板との接触面積に比べ、第２の供給口と連通する複数の第２のインク流路を構成する第２の流路壁と記録素子基板との接触面積が大きい。 （もっと読む）

【課題】列設された各圧力発生室に連通するノズルからの液滴の噴射特性を均一化することができると共に駆動ＩＣに接続配線を良好に接続することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室１２が複数列設された流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられて圧力発生室１２内に圧力変化を生じさせる圧電素子３００と、流路形成基板１０の圧電素子３００側の面に接合されて圧電素子３００を保護する圧電素子保持部３１を有する保護基板３０と、一方面にボンディングパッド部１１１を有すると共にその他方面が保護基板３０上に固着される圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ１１０とを有し、駆動ＩＣ１１０が、粒状のギャップ材２１０が混合された変形許容層２００を介して保護基板３０に固着されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な工程で、安定して高い品質を得ることが可能なインクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクを吐出する複数のノズル孔が形成されたノズル基板と、ノズル基板の一方の面に接合され、複数のノズル孔にそれぞれ連通する複数の圧力発生室および該複数の圧力発生室の間を連通させる連通部とが形成されたボディ基板と、を有するインクジェット式記録ヘッドにおいて、ボディ基板およびノズル基板のそれぞれの側面には、それぞれの基板を保持する為の保持部が形成され、２つの基板が所定の位置関係を有して接合された時、それぞれの基板に設けられた前記保持部は、互いに重ならない位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、基板２０の下面に設けられ、ノズル孔１１とを備えるノズルプレート１０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合されており、この接合膜１５は、プラズマ重合法で形成され、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含み、エネルギーを付与したことにより、接合膜１５の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜１５に発現した接着性によって、基板２０とノズルプレート１０とを接合している。 （もっと読む）

【課題】作業効率及び生産効率を向上した液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ケースヘッド５０の収容部５１に各圧電素子ユニット４０を収容した後、収容部５１の外側に引き出された各配線フィルム４８の端部を回路基板６０の貫通孔６２にそれぞれ挿通する際、回路基板６０のケースヘッド５０とは反対面側から各貫通孔６２内に挿入した規制板１０２で配線フィルム４８を整列させた状態で、回路基板６０をケースヘッド５０に向かって移動させて配線フィルム４８をスリット状の貫通孔６２に挿通させる。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出面およびノズル孔内壁が吐出液に浸食されず、耐久性に優れ、撥水性に優れたシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで連続して耐吐出液保護膜１３が形成され、耐吐出液保護膜１３の液滴吐出側の面１ａに凹凸を形成し、耐吐出液保護膜１３の凹凸面に沿って撥水膜１４をさらに形成した。そして、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて連続して保護膜１２を設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。ノズル孔１１の内壁１１ｃはノズル孔１１の吐出口縁部１１ｄを境にして親水化処理されている。耐吐出液保護膜１３はＤＬＣからなる膜であり、耐吐出液保護膜１３の凹凸は高さが数十ｎｍから数μｍであり、撥水膜１４はフッ素含有有機ケイ素化合物からなる膜である。 （もっと読む）

【課題】 製造歩留まりを向上すると共に製造コストを低減して、高速印字及び高密度印字が可能なヘッドチップ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板２０の一方面に溝２５が側壁２６により区画されて設けられていると共に前記側壁２６に設けられた電極２７に電圧を印加することにより、前記溝２５内のインクを前記基板２０の一方面に接合されたノズルプレート４０のノズル開口４１から吐出するヘッドチップ１０において、絶縁性の基板本体２１の一方面側に基準方向に延びる複数列の圧電セラミック２２を埋め込んで前記基板２０とし、前記圧電セラミック２２の列方向に亘って所定間隔で前記溝２５を形成することにより前記側壁２６を設け且つ当該側壁２６の前記圧電セラミック２２の領域に前記電極２７をそれぞれ設けることにより独立して駆動する駆動部２８を形成し、前記ノズル開口４１を前記溝２５の各駆動部２８に対応する位置にそれぞれ設けて複数のノズル列を形成する。 （もっと読む）

【課題】 材料費や加工費を節約しつつ、容易に製造できるインクジェットヘッドとその製造方法を提供する
【解決手段】 インクジェットヘッド２６は、一面側に形成された複数の第１溝部４６と、複数の第１溝部４６と接続されるとともに他面側に開口するインク供給路５６とを有する第１圧電体基板（第１基板）４３と、第１圧電体基板４３に接着されるとともに、第１圧電体基板４３との接着面側に第１溝部４６とともにインク室４９を構成する第２溝部４８を複数有する第２圧電体基板（第２基板）４４と、第１及び第２溝部４６，４８の側壁に形成された駆動電極６５と、を有する構成である。 （もっと読む）

【課題】 感光性エポキシ樹脂ドライフィルムの残溶剤量を制御し、クラックや膜厚変動のない良好なドライフィルムを得ることを目的とする。
【解決手段】 該感光性エポキシ樹脂ドライフィルムの残溶剤量を２〜７％と制御する。 （もっと読む）

【課題】寿命の長い駆動部と寿命の短い噴射部を離合自在に構成して駆動部に対し噴射部を交換可能な構成にした高周波音響液体ジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】駆動部１２の超高周波発生部２５は駆動制御部２４を介して共通電極２１と個別電極２３間に超高周波電圧を供給する。超高周波電圧を印加された薄層２２は超音波を出射し、駆動部１２の基材Ｂ１９、噴射部１１の第２の音響整合層１８、基材Ａ１７、第１の音響整合層１６、を伝播して液室１５に達し、ノズル孔１３から液滴２６を噴射させる。駆動部１２と噴射部１１は離合自在に合体し、ノズル孔１３の重度の目詰まり等の回復不能な障害が起きたときは駆動部１２に対し噴射部１１を交換することができる。 （もっと読む）

【課題】吐出効率の向上を目的として液体吐出ヘッドの内部に設けられた可動部材の繰り返し応力に対する耐久性を向上させる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置並びに液体吐出ヘッド製造方法を提供する。
【解決手段】ヘッド（１０）は、液体を吐出するノズル（１２）と、ノズルと連通する液室（１４）と、液室を構成する壁（１５）に設けられ、液室内の液体を加圧するヒータ（１６）と、ノズル側の端部が自由端（２０Ａ）となるとともにノズルと反対側の端部が固定され、ヒータが設けられる壁と自由端が所定の間隔をおいて対面する構造を有する可動部材（２０）と、を備え、可動部材は、第１の層（２４）の両面に第２の層（２６）及び第３の層（２８）が積層された構造を有し、第２の層及び第３の層は第１の層よりも小さい応力を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 吐出素子基板と粘着テープを剥離する際に、その剥離強度を極めて小さくすると共に、突き上げピンを必要とせず、粘着テープからの剥離を可能にする事により吐出素子基板の損傷を低減させるピックアップ方法および液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 インク供給口へ気体を注入し吐出素子基板にダメージを与えず剥離させる。 （もっと読む）

【課題】シリコンからなる基板に対して形状ばらつきの少ない凹部を形成可能とする。
【解決手段】第１の酸化膜エッチング工程において、第１の酸化膜エッチング工程（ステップＳ４）において、エッチングによって酸化膜３０１に形成される凹部３０４の側壁部３０５は、等方性エッチングによって得られる傾斜角αを有する傾斜部３０７を備え、かつ、該傾斜部３０７の酸化膜エッチングによる深さ距離Ｌ１が、第２の酸化膜エッチング工程（ステップＳ６）にてエッチングされる酸化膜の深さ距離よりも大きな深さ距離となるようにエッチングされることによって形成される。 （もっと読む）