【課題】インクジェットヘッドにおいて、所望の耐溶剤性を確保しつつインク吐出孔周辺の清浄性を高める。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッド１の製造方法は、インク吐出面７５に溝部７１を有するインクジェットヘッドマニホールド２上のオリフィスプレート３表面に、インク吐出孔３ａを塞ぐマスキングテープ７６を貼り付ける工程と、オリフィスプレート３表面のマスキングテープ７６及び溝部７１と共に、ＦＰＣ５と圧電素子６との間の接着層７４を各圧電素子６の外側から覆う保護膜７２を形成する工程と、この保護膜７２をインク吐出面７５上の溝部７１内で切断しつつマスキングテープ７６を剥離する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータとフレキシブル配線材とを電気的に接続するために必要な熱が、他の部材に悪影響を及ぼすことを抑制する。
【解決手段】フレキシブル配線材１２におけるアクチュエータ１１と反対側となる面には、アクチュエータ１１における多数の外部電極４３にわたる大きさを有し、フレキシブル配線材１２よりも剛性が高く熱伝導性を有する剛性部材１３が積層され、剛性部材１３のフレキシブル配線材１２と対向する面には、フレキシブル配線材１２側に突出する突部１３ｂ、１３ｃが、外部電極４３と対応するようにフレキシブル配線材１２に設けられた電極パターン５１と、外部電極４３との接続位置に対応して形成されている。 （もっと読む）

【課題】流体噴射ヘッドの外力に対する耐性を向上し、強い外力がカバー部に作用した場合であってもカバー部及びダイアフラムの損傷を抑止可能とする。
【解決手段】ノズル開口を介して流体を噴射した際に生じる流体流路内の振動波を減衰するためのダイアフラム３９を備えるノズル基板３０と、上記ダイアフラム３９を覆うことによって保護するカバー部４０とを備える流体噴射ヘッドであって、上記ノズル基板３０と上記カバー部４０との間の隙間に充填されると共に上記ダイアフラムの変位領域を避けて配置される充填部４２を備える。 （もっと読む）

【課題】インク吐出口を開口させたインクジェットヘッドマニホールドのインク吐出面の加工精度を向上させることで、インクジェットヘッドによる印刷品質を高める。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドの研磨装置７１は、水平面に沿って研削面７６ａを回転変位させつつ自転する砥石７６と、後にオリフィスプレート３が接合されるインクジェットヘッドマニホールド２を固定するためのヘッド固定部材７３と、ヘッド固定部材保持機構７４とを備える。上記のヘッド固定部材７３は、固定したインクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面２ｅを摺接させる状態で砥石７６の研削面７６ａ上に載置される。また、ヘッド固定部材保持機構７４は、インクジェットヘッドマニホールド２の固定されたヘッド固定部材７３の重心位置を、砥石７６における研削面７６ａ上の回転中心から偏らせた位置で、ヘッド固定部材７３を自転可能に保持する。 （もっと読む）

【課題】 ヘッド形状の自由度を損なうことなく、吐出する液体の粘度を効率的に調節することで、信頼性を高めた液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２６から液滴を吐出させる記録ヘッドであって、複数のノズル開口２６を開口したノズルプレート２５およびノズル開口２６に連通する圧力発生室３５を形成した流路形成基板２４からなる流路ユニット１７と、圧力発生室３５に圧力変動を与える圧電振動子２９と、先端２８に流路ユニット１７を接合して保持するヘッドケース１６とから構成され、ヘッドケース１６に金具３８を圧力発生室３５と臨ませた状態で固定し、金具３８に、金具３８を加熱するヒータを接続した。 （もっと読む）

【課題】インク供給口４から供給されたインクを吐出する際に、インク流れへの抵抗の増加を抑えつつ、サテライトを小さくしないようにインクを吐出する記録ヘッド１を提供すること。
【解決手段】本発明の記録ヘッド１は、複数の流路１７の配列の両側においてインク供給口４が配置され、少なくとも一方の側のインク供給口４は、流路１７の配列の全範囲に沿って所定の数のインク供給口４が配置される。そして、一つのインク供給口４は、複数の流路１７の配列に沿って長さを有し、複数の流路１７それぞれの一方の側と他方の側との両方からインクが供給されるようにされている。 （もっと読む）

【課題】被着体に対して、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合膜を備えた接合膜付き基材、かかる接合膜付き基材と被着体とを、低温下で効率よく接合する接合方法、および、前記接合膜付き基材と被着体とが高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合膜付き基材は、基板２（基材）と、この基板２上に設けられた接合膜３とを有しており、対向基板４（他の被着体）に対して接合可能なものである。このような接合膜３は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含む膜であり、かつＳｉ骨格の結晶化度は４５％以下である。また、この接合膜３は、紫外線を照射することにより、脱離基がＳｉ骨格から脱離し、これにより接合膜３の表面３５に、対向基板４との接着性が発現し得るものである。 （もっと読む）

【課題】インク流路の形状を３次元的に自由に作製可能であり、オリフィスプレートの材料の選択に制約を受けにくく、各構成材料の接合時の高い位置合わせ精度が不要であるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】第一の剛体基板１を用意し、その上に第一の薄膜２を形成した上で、第一の薄膜２にインク流路の一部となる第一のパターンを形成する。一方、第一の剛体基板１とは異なる第二の剛体基板を用意し、その上に第二の薄膜６を形成する。次いで、第一のパターンの形状を有する第一の薄膜２の上に、第二の剛体基板の上に形成された第二の薄膜６を接合し、第二の剛体基板を取り除いた後、第二の薄膜６にインク流路の一部となる第二のパターンを形成する。そして、第二のパターンの形状を有する第二の薄膜６の上に、第三の薄膜７を形成し、第三の薄膜７にインク吐出口８を形成する。 （もっと読む）

【課題】２つの被着体同士を、高い寸法精度で強固に、かつ低温で効率よく接合可能な接合方法、２つの被着体同士を高い寸法精度で強固に接合してなる接合体、かかる接合体を備えた信頼性の高い液滴吐出ヘッド、およびかかる液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、第１の基材２１上に、プラズマ重合膜３を形成し、第１の被着体４１を得るとともに、別途、第２の基材２２（第２の被着体４２）を用意する工程（第１の工程）と、プラズマ重合膜３と、第２の被着体のプラズマ重合膜を備えない面とが密着するように、第１の被着体４１と第２の被着体４２とを重ね合わせて、仮接合体５を得る工程（第２の工程）と、仮接合体５中のプラズマ重合膜３に対してエネルギーを付与することにより、仮接合体５を接合して、接合体１を得る工程（第３の工程）とを有する。 （もっと読む）

【課題】２つの被着体同士を、一部の領域において選択的に、高い寸法精度で強固に、かつ低温で効率よく接合可能な接合方法、２つの被着体同士を一部の領域において選択的に、高い寸法精度で強固に接合してなる接合体、かかる接合体を備えた信頼性の高い液滴吐出ヘッド、およびかかる液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、第１の基材２１と第２の基材２２（第２の被着体４２）とを用意し、第１の基材２１上にプラズマ重合膜３を形成して第１の被着体４１を作製する被着体準備工程と、プラズマ重合膜３と第２の被着体４２とを密着させるように、２つの被着体４１、４２を重ね合わせて仮接合体５を得る積層工程と、仮接合体５のうち、一部の所定領域３１０に対して選択的にエネルギーを付与することにより、所定領域３１０において仮接合体５を部分的に接合し、接合体１を得るエネルギー付与工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】２つの被着体同士を、高い寸法精度で強固に、かつ低温で効率よく接合可能な接合方法、２つの被着体同士を高い寸法精度で強固に接合してなる接合体、かかる接合体を備えた信頼性の高い液滴吐出ヘッド、およびかかる液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、２つの基材２上に、それぞれプラズマ重合膜３を形成し、第１の被着体４１および第２の被着体４２を得る工程（第１の工程）と、各プラズマ重合膜３同士を密着させるように、２つの被着体４１、４２を重ね合わせて、仮接合体５を得る工程（第２の工程）と、仮接合体５中の各プラズマ重合膜３に対してエネルギーを付与することにより、各プラズマ重合膜３同士を接合して、接合体１を得る工程（第３の工程）とを有する。このうち、プラズマ重合膜３は、ポリオルガノシロキサンを主材料として構成されているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】２つの部材同士を、接合面の一部の領域において選択的に、高い寸法精度で強固に接合可能な接合方法、２つの部材同士を、接合面の一部の領域において選択的に、高い寸法精度で強固に接合してなる接合体、かかる接合体を備えた信頼性の高い液滴吐出ヘッド、およびかかる液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、２つの基材２１、２２の表面上に、それぞれプラズマ重合膜３０１、３０２を形成する工程と、各プラズマ重合膜３０１、３０２の表面の一部の所定領域３１１、３１２にそれぞれ紫外光を選択的に照射して、表面を活性化させる工程と、活性化させた表面同士を密着させるように、２つの基材２１、２２を貼り合わせ、２つの基材２１、２２が、所定領域３１１と所定領域３１２とが重なり合った部分、すなわち接合部３１３において、部分的に接合してなる接合体を得る工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】狭ピッチの端子同士の接続を正確に行う。
【解決手段】所定のピッチで形成された複数のノズルからなるノズル列と、それぞれの前記ノズルに対応して設けられ前記ノズルから液体を吐出させるための複数の素子と、それぞれの前記素子の制御信号を入力する端子であって前記ピッチで形成された複数の第１端子と、第１アライメントマークとを備えるヘッド基板を用意する。前記制御信号を出力する端子であって前記ピッチで形成された複数の第２端子と、第２アライメントマークとを備える中継基板を用意する。前記第１アライメントマーク及び前記第２アライメントマークを検出し、この検出結果に基づいて前記ヘッド基板と前記中継基板とを位置合わせする。異方性導電剤を用いて、前記第１端子と前記第２端子とを電気的に接続しつつ、前記ヘッド基板と前記中継基板とを接着する。 （もっと読む）

【課題】振動板の破損が少なく、接合性が良好な歩留まりの高い液滴吐出装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜振動板１０２上にアクチュエータ１０６を有する流路基板２００と、ノズルプレート１１４の接合工程において、圧力室と対向していない場所にアクチュエータ１０６より高さの高い部材１０４を配置しておき、ビッカース硬度が低い平面の加圧部材１０８を用いて流路基板２００とノズルプレート１１４とに圧力を印加して接合を行う。 （もっと読む）

【課題】振動板の破損が少なく、接合性が良好な歩留まりの高い液滴吐出装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜振動板１０２上にアクチュエータ１０６を有する流路基板２００とノズルプレート１１４の接合工程において、圧力室と対向していない場所にアクチュエータ１０６と同程度の部材１０４を配置しておき、ヤング率が低い平面の加圧部材１０８を用いて流路基板２００とノズルプレート１１４とに圧力を印加して接合を行う。 （もっと読む）

【課題】一枚の基板にノズル孔、キャビティ及びリザーバを形成するとともに、そのノズ
ル孔、特に先端ノズル孔の長さ及び径の精度を向上させて液滴の吐出精度を向上させた液
滴吐出ヘッド、液滴吐出置及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提案する。
【解決手段】エッチングストップ層１Ａが所望の深さの内部位置に形成された流路基板１
に、エッチングストップ層１Ａを貫通し液滴を吐出するノズル孔１１〜１３が形成され、
流路基板１の液滴吐出面と反対の面側に、ノズル孔１１〜１３に連通し圧力室を形成する
キャビティ１４と、キャビティ１４に連通し吐出液を取り込んで貯えるリザーバ１６とが
形成されており、入力信号に応じて変形可能であって、キャビティ１４とともに圧力室を
形成する振動板２が、流路基板１の液滴吐出面と反対の面に積層されている。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドの吐出駆動素子の個別電極と配線基板の端子と確実に接合すると共に、導電性ろう材が両者の間から漏出して、吐出駆動素子の働きを阻害して吐出特性に影響を及ぼさないような吐出ヘッドおよびその製造方法の提供。
【解決手段】吐出駆動素子４上に形成された銀電極である個別電極１（１Ａ、１Ｂ）が、吐出駆動素子４の駆動領域上に対応して主電極部２Ａと主電極部２Ａの一端から延びる副電極部２Ｂから構成されていて、副電極部２Ｂの一端部に接続部２Ｂ１が形成されている。接続部２Ｂ１は、その表面上に金皮膜Ｍｂが形成され、個別電極１のその他の部分には硫化銀皮膜Ｍａが形成されている。金皮膜部Ｍｂは、配線基板５０の接続端子５４と対向してその両者間を導電性ろう材６を介して接合され、硫化銀皮膜Ｍａは、導電性ろう材６に対して親和性が低く濡れにくいため、硫化銀皮膜Ｍａ上には、導電性ろう材６が保持されることはない。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板の製造時、支持基板からの剥離において、ノズル基板のウェハ割れやクラック発生をできるだけ低減すること。
【解決手段】先端が小径で後端が大径のノズル孔をノズル基板となるシリコン基板１００の片面から途中までエッチングし、ノズル孔後端をシリコン基板１００の片面に開口させる工程と、シリコン基板１００のノズル孔後端側の面に、自己剥離層を有した両面接着シート１１０を介して支持基板１１２を貼り合せる工程と、シリコン基板１００のノズル孔先端側の面を薄板化してノズル孔先端側を開口させる工程と、両面接着シート１１０に光または熱を照射し、両面接着シート１００の自己剥離層での気泡の成長による界面剥離を発生させながら、シリコン基板１００を外的な力で支持基板１１２から引き離す工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の電気接続パッドとフライングリードとの接続部の信頼性を高めることができるインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットプリントヘッドは、エネルギ発生素子を有する基板３と、基板３に対してギャングボンディングによる熱圧着によって電気接続された複数のフライングリード１が設けられた電気配線部材２とを有する。複数のフライングリード１の配列方向における少なくとも両端に位置するフライングリード１に熱圧着によって形成された熱圧着部５は、複数のフライングリード１の配列の中央に近い方の側である内側に片寄っている。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドの記録素子基板に設けられたインク流路形成部材の剥離や損傷を抑え、適正な状態で記録素子基板を支持部材へと実装することを可能にする。
【解決手段】記録素子基板１００の一方の面１００ａには、インク流路形成部材１０９が設けられると共に、インク流路形成部材１０９から外方に延出する延出領域Ｒ１が設けられている。この延出領域Ｒ１をツール５０で加圧しながら、記録素子基板１００の第１端子部１２４と、支持基板２００の電極端子２０２とを接合させることにより、ツール５０によるインク流路形成部材１０９の損傷を避けることが可能になる。 （もっと読む）