【課題】液体噴射ヘッドを精度良く所定位置に配置して液滴の吐出精度が向上し、かつ大
型化を抑えた液体噴射ヘッドユニットの製造方法、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射
装置を提供する。
【解決手段】記録ヘッド３０に設けられた自己封止ユニット３７には、インクを吐出する
ノズルが形成されたノズル形成面に交差する本体６２のヘッド側面６９にフィルム６０が
設けられている。フィルム６０の端部６０ａは、本体６２のヘッド側面６９の外縁部より
も外側に突出している。このフィルム６０の端部６０ａを記録ヘッド３０側に屈曲させ、
その後、記録ヘッド３０をサブキャリッジ２０の所定位置に配置してヘッドユニット４０
とする。 （もっと読む）

【課題】微細なバリ等の塵埃を発生させず、少ない工数で製造可能な流路部材１を提供する。
【解決手段】流入口７を有する流入部２と、流路１９を構成する流路部３と、流路１９を横切るフィルター９を構成するフィルター部４と、流路１９に連通する流出口１０を有する流出部５と、流路１９を閉塞する閉塞部６が積層して接合して流路部材１を構成した。これにより、金型成形の際に形成されるパーティングラインから微細なバリが分離し脱落してノズルを詰まらせるという課題を解決することができる。また、接合工程や洗浄工程を減少させて量産性に優れた流路部材の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ダイシング時におけるダイシングテープと基板間の隙間を無くし、切り屑が基板とテープ間の隙間に侵入し異物となることを最小限に抑えることで、他の部材との組立後のヘッドのノズル詰まり等による歩留り低下を改善し、低コスト化を図る。
【解決手段】本発明にかかる、基板１上に形成したチップ含む液滴吐出ヘッド５０の製造方法では、基板へダイシング加工する際にダイシングテープ３０を貼り付ける基板のテープ貼り付け面１Ａ側に、ダイシングライン５と重なるように設けられる凹状のパターン４の側面４１Ｂ、４１Ｃを傾斜面とし、テープ貼り付け面１Ａとダイシングテープ３０との界面に空間４０が残らないようにダイシングテープを貼り付けてチップを分離形成する。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減した液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法を得ること。
【解決手段】流路形成基板１０としてシリコン単結晶基板を使用する場合と比較して、酸化ジルコニウムを含有する混合液を塗布、焼成して振動板１３を備えた流路形成基板１０を形成する。したがって、振動板の形成工程、シリコン単結晶基板を研削する工程およびシリコン単結晶基板をエッチングするためのマスク膜を形成する工程を省略でき、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。また、シリコン単結晶基板を侵すインクを使用しても、流路形成基板１０が酸化ジルコニウムを含んでいるので、インクからの保護のための保護膜を形成する工程が省略でき、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】基板及び圧電部材に形成される金属皮膜の除去により電極や電気配線を形成するインクジェットヘッドの製造方法において、ショートを確実に検出することができるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドの製造方法は、基板に対して圧電部材を固定し、前記圧電部材に対して複数の圧力室を形成し、前記基板と前記圧電部材の表面に金属皮膜を形成し、金属皮膜除去手段により、前記圧力室の内面に、第１の電極群に属する互いに導通する複数の電極と、前記第１の電極群とは電気的に絶縁である第２の電極群に属する複数の電極が形成されるように、前記金属皮膜を除去するインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】接合層の膨潤片による液体流動への悪影響防止し得る液体噴射ヘッドおよびそれが装備された液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室ユニット２４と、供給口形成基板９と、共通液体室形成基板７と、ノズルプレート６とが層状構造として形成され、供給口形成基板９に、共通液体室２から圧力発生室４に液体を導入する導入流路１３が設けられ、供給口形成基板９および共通液体室形成基板７に、圧力発生室４からノズル開口５に液体を供給する供給流路１４が設けられ、共通液体室形成基板７の導入流路１３側の表面７ａに、共通液体室２と導入流路１３とを連通させる制御流路２５が形成されている。上記構成により、制御流路２５の液体流動の制御により、液体噴射時に液体が共通液体室２に逆流する量を低減させ、圧力発生室４への液体導入時には、液体導入量を増量させる。 （もっと読む）

【課題】長期信頼性を確保できる高精度なインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】凹部１４を有する第１のシリコン基板１２と、ＳｉＯ_２層１８を備える平滑な第２のシリコン基板１６と、を貼りあわせ、Ｓｉ−ＳｉＯ_２接合体を形成する工程と、第２のシリコン基板１６の非接合側からエッチングによりノズル穴部２０を形成する工程と、第１のシリコン基板１２と接していないＳｉＯ_２層１８をエッチングにより除去する工程と、第１のシリコン基板１２と第２のシリコン基板１６とを加熱し、ＳｉＯ_２層１８より膜厚の薄い熱酸化膜２２を形成する工程と、第１のシリコン基板１２を除去する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドである。 （もっと読む）

【課題】配線基板とアクチュエータ手段との接続をはんだ接合によって行なう場合の接合温度管理が難しく、断線、接合不良などが発生しやすい。
【解決手段】ＦＰＣ１５には、ポリイミドなどからなる基材１５０上に、駆動信号を伝達する配線である配線電極４１、４２とは別に、第１金属配線１５１及び第１の電気配線１５１とは異なる金属で形成された第２金属配線１５２が形成され、第１、第２金属配線１５１、１５２は、圧電部材１２の表面に絶縁膜１５３を介して設けられた金属膜１５４と半田１５６で接合され、第１金属配線１５１と第２金属配線１５２との間の熱起電力を測定することで、圧電部材１２とＦＰＣ１５の接合部の温度を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 ヘッド構造、製造に与える制約が少なく、フォトリソグラフィーの工程で膨張する内気を効率よく排出して高精度に形成された吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まりよく製造する。
【解決手段】 流路壁部材となる流路壁部材５が設けられた基板１を用意する工程と、感光性樹脂からなり吐出口部材となる樹脂層６ａと、流路壁部材５と、を流路８となる空間を内側に包むように接合する工程と、空間と外気とが連通するように、樹脂層に貫通孔７を設ける工程と、樹脂層６ａを部分的に露光する工程と、露光が行われた樹脂層６ａを加熱する工程と、加熱が行われた樹脂層６ａから露光が行われなかった部分を除去して吐出口７を樹脂層に形成して吐出口部材を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】流路部材の平面状の面に接合する際に、接合性の良好なインクジェット用圧電アクチュエータユニット、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。
【解決手段】複数の圧電セラミック層が積層されている積層体と、該積層体の一方の主面に第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている複数の個別電極３５と、複数の個別電極３５のうち前記一方の主面の周縁部に形成されている個別電極３５以外の個別電極の上にそれぞれ形成されている複数の接続ランド３６と、前記積層体の内部に形成されている複数の個別電極３５に対向している共通電極とを有する液体吐出ヘッド用圧電アクチュエータユニットであって、前記積層体は、複数の接続ランド３６が囲まれている接続ランド形成領域８０の平坦度より、接続ランド形成領域８０の周囲の周縁領域の平坦度が大きい。 （もっと読む）

【課題】容易に製造することができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】一つの実施形態に係るインクジェットヘッドは、複数のノズルを有したノズルプレートと、前記複数のノズルからそれぞれインクを吐出させる複数の駆動素子を有するとともに、前記ノズルプレートに対向した基材と、前記ノズルプレートと前記基材との間に介在された枠状部と、前記枠状部の内側に設けられたインク室と、前記インク室内に連通しインクを供給するように前記基材に設けられた供給流路と、前記インク室内に連通しインクを排出するように前記基材に設けられた排出流路と、を備える。前記枠状部は、前記複数の駆動素子に対応するように前記インク室と連通した複数の第１の開口部と、前記複数の第１の開口部の全部に亘るとともに前記複数の第１の開口部と前記排出流路とを接続した一つの第２の開口部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高精細化及び高品位の印刷が可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 絶縁基板と、前記絶縁基板の上においてインク圧力室を隔てて配置された圧電部材と、前記インク圧力室に対向するノズル穴を有するノズルプレートと、前記圧電部材と前記ノズルプレートとを接着する接着剤と、を備え、前記圧電部材は、隣接する前記インク圧力室の間において、前記絶縁基板に接する第１幅の底面と、前記ノズルプレートに接する前記第１幅より小さい第２幅の上面と、を有することを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】圧力チャンバの空間を減らすための突出部を備えてインクジェットプリントヘッドの駆動電圧を低めることができ、突出部をＳＯＩウエハーからなる下部基板の上部シリコン層に形成して、製造工程を簡素化したインクジェットプリントヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明はインクジェットプリントヘッド及びその製造方法に関し、本発明によるインクジェットプリントヘッドは、圧力チャンバが形成される上部基板、及び上部シリコン層、絶縁層、及び下部シリコン層を含む下部基板を含み、前記下部基板は前記上部シリコン層からなって、前記圧力チャンバの空間を減らすために前記圧力チャンバ内に突出される突出部を含み、前記上部基板の底面と前記下部基板の前記下部シリコン層の上面が固定されることができる。 （もっと読む）

【課題】被着体に対して、接合膜を介して基材を強固に接合することができるか否かの接合膜の接着性の程度を精度よく評価することができる接合膜の評価方法を提供する。
【解決手段】接合膜３の評価方法は、Ｓｉ骨格と、有機基からなる脱離基とを含む接合膜３の評価方法であり、接合膜３は、エネルギーが付与されることにより、脱離基が前記Ｓｉ骨格から脱離し、その表面に、対向基板（他の被着体）４との接着性が発現するものであり、前記エネルギーを付与する前後の接合膜３をそれぞれ赤外吸収スペクトル法で測定し、Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ結合に帰属するピーク強度を１としたときのメチル基に帰属するピーク強度を求め、エネルギーを付与する前後のメチル基に帰属するピーク強度を比較し、その比較結果に基づいて、接合膜３の対向基板４に対する接着性を評価する。 （もっと読む）

【課題】圧電部材の配置の密度が高められる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッド３は、液体を吐出するための圧力を液体に付与するための圧力室１４と、圧力室１４の内面の側に設けられた第１電極２２と、圧力室１４の外側に設けられた第２電極２３と、を備える圧電部材１２が、複数、各圧電部材１２の圧力室１４を流れる液体の流れ方向が互いに沿う様に、流れ方向と交わる第１方向と、流れ方向と交わるとともに第１方向とも交わる第２方向と、のそれぞれに関して配列されている。第１方向に配列された複数の第１電極２２と共通して接続された第１共通配線２４と、第２方向に配列された複数の第２電極２３と共通して接続された第２共通配線２５と、をそれぞれ複数有し、複数の第１共通配線２４が第２方向に関して配列され、複数の第２共通配線２５が第１方向に関して配列されている。 （もっと読む）

【課題】流路部材内の空間の利用効率の高い液体吐出ヘッド用流路部材およびそれを用いた液体吐出ヘッドならびに記録装置を提供する。
【解決手段】上下面に凹凸を有する第１のプレート２１と、第１のプレート２１の下面の凸と接合されている第２のプレート２２とを有する液体吐出用流路部材４であって、第１のプレート２２の上面の凹部２１ａ内を液体加圧室とし、第１のプレート２１と第２のプレート２２との間の空間をマニホールド５としてなり、前記液体加圧室とマニホールド５とがしぼり１２を介して繋がっており、かつ前記液体加圧室に繋がっている液体吐出孔８を有する液体吐出ヘッド用流路部材である。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、ダミー基板上に圧電アクチュエータを形成するステップと、前記圧電アクチュエータをインクジェットヘッドのヘッドセル単位に切断するステップと、前記圧電アクチュエータと対応する位置に形成されるインクチャンバを含むインクジェットヘッド基板を設けるステップと、前記圧電アクチュエータと前記インクチャンバが互いに対応するよう、前記ダミー基板と前記インクジェットヘッド基板を接合するステップと、前記ダミー基板を除去するステップと、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】各基材、基板を高精度に接合すること。
【解決手段】インクジェットヘッド３は、インクを吐出するノズル１１が形成されたノズル基板２０と、ノズル基板に積層され、ノズルに連通する圧力室４１が形成された圧力室基板４０と、圧力室の一壁部を構成し、変位により、圧力室内の圧力を変化させる振動板５０と、振動板を挟んで圧力室に対向する位置に設けられ、電圧の印加により振動板を変位させる圧電素子６０と、圧電素子に対向し、圧電素子に接続される配線８７，９１が設けられるとともに、圧力室にインクを導くインク流路８８が形成された配線基板８０と、を備えており、圧力室基板と配線基板とを互いに熱膨張率の等しい材料で形成した。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの変形が阻害されることなく、また、配線基板と圧電素子との間に押し付けすぎや接点不良が発生せず、電気的接続の信頼性の向上したインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】複数のノズル11aと、複数の圧力室13aと、アクチュエータ15とを有するヘッド基板10と、配線を有する配線基板20とを備え、配線基板20がヘッド基板10に対して接着樹脂層30を介して所定の加熱温度で圧着されることによって、アクチュエータ15表面の電極と配線とが電気的に接続されると共にヘッド基板10と配線基板20とが接合されてなるインクジェットヘッド1であって、アクチュエータ15表面の電極と配線との間の電気的接続は、融点が前記加熱温度よりも高い第1のバンプと、融点が前記加熱温度以下である第2のバンプとの接合による電気的接続であり、第1のバンプと第2のバンプのうちの一方がアクチュエータ15表面の電極に設けられ、他方が配線に設けられている。 （もっと読む）

【課題】配線基板の反りを防止して高精度な接合を行うこと。
【解決手段】インクジェットヘッド３は、インクを吐出するノズル１１と、ノズルに連通された圧力室４１と、圧力室にインクを供給するインク流路３２，４２，７２，８８，９２と、圧力室のインクをノズルから吐出させるための力を付与するアクチュエータ６０と、アクチュエータに接続される配線８７，９１が設けられた配線基板８０と、を備え、配線基板の両面に互いに熱膨張率の等しい絶縁層７０，９０を設けた。 （もっと読む）