【課題】 インク流路形成時の露光でインク流路パターンが感光することにより発生する「インク流路内クラック」を抑制する事を目的としている。
【解決手段】 インク流路形成材料を二層構造にし、下層には上層よりも多くの光酸発生触媒が入っている事を特徴としており、この光酸発生触媒が吸光することで、インク流路パターンの感光を抑えられる。また、紫外線吸収剤を添加した場合と比較して、硬化に必要な光を、紫外線吸収材に奪われる事が無く、基板界面との密着性も維持される。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドにおいて、流路形成部材として、線膨張係数が小さく、高精度のパターニングが可能な材料を用いることによって、長期にわたって高品位の画像記録が可能な信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドの流路形成部材として、カチオン重合可能な樹脂と、光カチオン重合開始剤と、加水分解性有機シラン化合物の加水分解物と、平均粒経が５０ｎｍ以下の無機微粒子と、を含む樹脂組成物の硬化物を用いる。 （もっと読む）

【課題】ノズル密度が向上し、かつインクを良好に吐出させることができるインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上の少なくとも複数の流路１５同士を仕切る部分である流路の側壁となる部位に第１の流路形成部材６を形成する。流路１５の型となるパターン（不図示）であって、基板１と第１の流路形成部材６の流路１５の側壁となる部分との上にまたがって形成されており、流路１５の側壁となる部分における一部を被覆し、他の部分を被覆していないパターン（不図示）を形成する。第１の流路形成部材６とパターン（不図示）との上に、第１の流路形成部材６に対応する材料により構成される第２の流路形成部材７を形成する。第２の流路形成部材７に吐出口４を形成する。パターン（不図示）を除去することにより、流路１５を形成する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの信頼性の向上のためノズルの周辺に凸部を設ける場合、凸部の内面周の形状の制御性及び均一性に優れるとともに、異物の除去性にも優れた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル２ａを有するノズルプレート２と、ノズルプレート２の表面上のノズル２ａの周辺に、ノズル２ａ側の端面が階段状となるように形成、配設された複数の段差部ｄ１、ｄ２からなる凸部９とを備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの複数のノズルの信頼性の向上のため、ノズルの周辺に、ノズル側の端面に斜面部（テーパ面）を有する凸部を設ける場合、凸部の斜面部（テーパ面）の形状の制御性及び均一性に優れるとともに、異物の除去性にも優れた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル２ａを有するノズルプレート２と、ノズルプレート２の表面上のノズル２ａの周辺に、ノズル２ａを囲むように配設された凸部９とを備えた構成にするとともに、凸部９を、本体部９ａと、本体部９ａのノズル側の端面に本体部９ａとは別体に配設された斜面部９ｂとから構成する。 （もっと読む）

【課題】端面が十分な強度を備えた薄化基板を提供する。
【解決手段】貫通電極３００を備えた基板であって、前記基板の端面が前記貫通電極３００と同一の金属からなる外周部パターン３５０に被覆されている。 （もっと読む）

【課題】多ノズル化に伴うノズル材の剥離を防止し、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インク供給口６上のオリフィスプレートの基板１と接する面とは反対面に、オリフィスプレートの厚みと同等のスリット３、へこみをオリフィスプレートに設け、深さを変えることによって基板１の変形をコントロールし、基板中央に引っ張る力を減らす。また前記オリフィスプレートと基板１が接する部分に第二のオリフィスプレートを設けた。 （もっと読む）

【課題】吐出安定性に優れる液滴吐出ヘッドを簡便に精度よく形成する液滴吐出記録ヘッドの製造方法。
【解決手段】液体吐出エネルギ発生部３が形成された基板１上に、除去可能な液流路型を形成する工程と、液流路型上にネガ型の感光性樹脂からなる被覆樹脂層５を形成し、液体吐出エネルギ発生部上方の被覆樹脂層に液滴吐出口６を形成する工程と、液流路型を溶解除去して液流路７を形成する工程とを有する液滴吐出ヘッドの製造方法において、被覆樹脂層５を２層構造とし、第１樹脂層８に、感光性を活性化させるエネルギを吸収させる成分を含有させることで、第２樹脂層９は液滴吐出口断面積がマスク寸法に対して一定となる潜像を形成し、第１樹脂層８は液滴吐出口６断面積が徐々に大となるような潜像を形成し、吐出側に断面積が一定となる部分を有し、液体吐出エネルギ発生部３に向かって断面積が大きくなる液滴吐出口６を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ノズル製造工程が簡略なインクジェットノズル製造方法およびインクジェットノズルおよびインクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】 インク液供給用の穴加工を施した基板に第１の高分子樹脂で穴埋めを行う工程、基板上にノズルパターンの液流路型材を第２の高分子樹脂で形成する工程、この基板上に液流路形成用材料として第３の硬化型樹脂を被覆し仮硬化させる工程、第３の硬化型樹脂をパターンニング後に本硬化させる工程、前記液流路型材を構成する第２の高分子樹脂を除去して液流路を形成する工程、前記インク液供給路の穴埋め材を構成する第１の高分子樹脂を除去してインク液供給路を形成する工程、及び、吐出エネルギー発生手段を形成する工程を少なくとも有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、第１の高分子樹脂を加熱により揮発性モノマーに分解除去することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】効率的なヘッドベースの生産が可能なインクジェットヘッド製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のベース製造方法は、第１の工程Ｓ３と、第２の工程Ｓ４と、第３の工程Ｓ５と、第４の工程Ｓ６とを具備する。第１の工程Ｓ３では、金型の内部に可燃性のインサートを取り付ける。第２の工程Ｓ４では、第１の工程Ｓ３の後、金型の内部にセラミックス未焼成体を射出して、インサートが埋め込まれた成形品を成形する。第３の工程Ｓ５では、第２の工程Ｓ４の後、金型から成形品を取り出す。第４の工程Ｓ６では、第３の工程Ｓ５の後、成形品を焼成することにより、セラミックス未焼成体に由来する部分からベース本体を形成するとともに、インサートを焼却してインサートに由来する部分から調温用流路を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体による膨潤が抑えられて、高精度且つ信頼性の高い液路内面及び吐出口が形成された液体吐出ヘッド基体、その基体を用いた液体吐出ヘッド及びそれらの製造方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、基体と、該基体上に形成された液体を吐出するためのエネルギー発生素子と、液体を吐出する液体吐出口を具備して前記基板上に前記エネルギー発生素子を覆って設けられた樹脂構造物と、を有する液体吐出ヘッド基体であって、前記樹脂構造物の内部に形成された前記液路を形成する面と液体とが接する当該樹脂構造物の部位に、触媒化学蒸着法で形成された保護層を有することを特徴とする液体吐出ヘッド基体である。 （もっと読む）

【課題】 異方性エッチングを使用しない簡単なサイドシユーター方式ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 （１）インク供給口部表面に浅い溝加工。
（２）ＯＤＵＲ塗布からＣＲ／ＰＥＲパターニング。
（３）基板裏面より表面溝に至るまで穴開け。
（４）型剤除去。充てん剤充てん工程がないので工程が簡単。表面溝部には厚いＣＲ剤が形成されるので、優れたセンターリブ構造が得られる。 （もっと読む）

【課題】封止材のオリフィスプレート上への流れ込みを防止し、かつ高い封止性能を得る。
【解決手段】インクジェットヘッド用基板１は、インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子３と、エネルギー発生素子３への電気エネルギーを供給する電気接続用パッド５とが形成された素子基板２６と、エネルギー発生素子３に対応してインクの吐出口１４が形成されたオリフィスプレート２８と、を有している。オリフィスプレート２８の記録媒体と対向する面は、吐出口１４が形成された第１の面Ｓ１と、電気接続用パッド５に隣接する縁部３０に沿って、第１の面Ｓ１よりも素子基板２６からの高さｈが低く形成された第２の面Ｓ２と、を有している。第１の面Ｓ１は第２の面Ｓ２よりも高い撥水性を有している。 （もっと読む）

【課題】 発熱部表面の凹凸による発泡への影響を低減させる。
【解決手段】 シリコン基板１０１の表面に部分的に多孔質シリコン１０２を形成し、該多孔質シリコンの孔を封止することにより、表面を平滑化し、保護層１０３および発熱部１０４を形成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド用基板を高い生産効率で安定的に製造することを可能にするインクジェットヘッド用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド用基板の製造方法は、開口部を有するエッチングマスク層８をシリコン基板１の裏面に形成する工程を有する。さらに、エッチングマスク層８の開口部を通じて、シリコン基板１に、先導孔２０を開口部の長手方向に少なくとも２列に配列して形成する工程を有する。さらに、開口部よりシリコン基板１を結晶異方性エッチングにてエッチングし、インク供給口１６を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】液体流路と吐出口を半導体プロセス工程で製造し、高密度なヘッドに対応し、シンプルな構成でできるように、次世代ヘッドとして、歩留りアップとコスト低減を目指す。
【解決手段】ヒータを搭載した基板上に、ＳｉＮ膜で、流路７と吐出口４を形成する。切断時のチッピングやクラック防止に、上記膜は切断端面から離して形成し、さらに補強として、同じ工程で柱状の壁６を形成し、ゴミ対策としても使用する。 （もっと読む）

【課題】 ノズル材料とＨＢとの密着向上。
【解決手段】 ＨＢの上部保護膜（Ｔａなど）の上にＳｉＯ、ＳｉＮ、ＳｉＣなどの膜を形成することにより、ヘッドが長尺化した場合でもノズル構成部材と良好な密着性を長期に渡り確保する。 （もっと読む）

【課題】ＣＲ製法において溶解可能なインク流路形成樹脂とインク流路壁を形成する被覆樹脂の相溶を解消または抑制することで、吐出口に発生する「ひさし」を解消または抑制すること。
【解決手段】溶解可能なインク流路形成樹脂４に分子量１０００以下の炭化フッ素を含む物質を混合して、塗膜形成時にブリードしてきた炭化フッ素が表面を覆うことでその上を覆うインク流路壁を形成する被覆樹脂５との相溶７を解消または抑制することで境界に発生しやすい「ひさし」を解消または抑制する。混合量が少なすぎても効果が発現せず、多すぎては最終的に樹脂を除去するときに残留してしまうので０．５以上４．０％以下という最適値が存在する。 （もっと読む）

【課題】構成を複雑にしたり幅や大きさを大きくすること無く液供給経路を設けることができ、効率よく冷却が可能となる液体吐出ヘッドユニット及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】複数の吐出エネルギ発生部が設けられた素子基板と、この素子基板を支持する支持基板４とを含み、素子基板には吐出エネルギ発生部に対応する個別液室、これら個別液室の一端側に接続してこれら個別液室に液体を供給するための液供給口が貫通して形成され、個別液室の他端に連通する複数のノズルを有し、支持基板４には液供給口に連通する貫通穴２６が形成され、ノズルから素子基板と垂直方向に液滴を吐出する液体吐出ヘッドユニットにおいて、支持基板４は、素子基板と反対側に設けられる水冷ユニット１９を備え、この水冷ユニット１９には内部に液供給口に連通する液供給経路２３が設けられている貫通穴２４を設けている。 （もっと読む）

【課題】オリフィスプレート及び被覆樹脂層の厚さによらず、被覆樹脂層と基板との十分な密着性を確保しつつ、高品位印字が可能なインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】インク吐出エネルギー発生素子２が形成された基板１上に、溶解可能な樹脂により液流路型材８を形成する工程と、前記液流路型材が形成された基板上に、ネガ型の感光性樹脂により被覆樹脂層９を形成する工程と、前記被覆樹脂層を露光及び現像して、前記被覆樹脂層にインク吐出口１１を形成する工程と、前記液流路型材を溶解除去して、液流路を形成する工程と、を有する方法で製造するにあたり、前記被覆樹脂層の露光時における、前記被覆樹脂層の、前記液流路型材の上方に位置する領域以外の露光領域に与えられる単位面積あたりの露光エネルギーが、前記被覆樹脂層の他の露光領域に与えられる単位面積あたりの露光エネルギーより大きくする。 （もっと読む）