【課題】優れた印刷ヘッド（特に、インク噴射面上をコーティングするポリシルセスキオキサンを有する印刷ヘッド）を提供する。
【解決手段】疎水性ポリマー材料でコーティングされたインク噴射面を有する印刷ヘッド。ポリマー材料が、ポリ（メチルシルセスキオキサン）又はポリ（フェニルシルセスキオキサン）等のポリシルセスキオキサンから成る。印刷ヘッドは、インク噴射面と接触することを必要とする様々な印刷ヘッド保守操作に適応できる。 （もっと読む）

【課題】基板との密着性を確保し、かつ空域の断面積を確保した微細な構造体を製造方法することが可能な構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の層１０ａと第２の層１０ｂとがこの順で積層されている基板１２を用意する工程と、前記構造体を形成するための型となる型部材の一部である第２の型を前記第２の層１０ｂから形成する工程と、前記第２の型をマスクとして前記第１の層１０ａをエッチングして、前記型部材の他の一部である第１の型を前記第１の層から形成する工程と、前記第１の型と前記第２の型とを被覆するように前記構造体となる被覆層１３を設ける工程と、前記第１の型と前記第２の型とを除去して前記構造体を形成する工程と、を含む構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】製造時の負荷を低減し、所望の形状の吐出口を精度よく得ることが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出する吐出口と連通する液体の流路を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、第１の感光性樹脂からなる第１の層を基板上に設ける工程と、前記第１の層から前記流路の型を形成する工程と、前記型の表面に光吸収剤を提供する工程と、前記光吸収剤が提供された前記型を被覆するように、第２の感光性樹脂からなる第２の層を設ける工程と、前記第２の層の一部を露光した後に現像して、前記吐出口となる開口を前記第２の層に形成する工程と、前記開口を形成した後に、前記型を除去して前記流路を形成する工程と、を含む液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】薄い振動膜を形成する。
【解決手段】まず、キャビティプレート４１に厚み方向に貫通した圧力室１４を形成するし、圧力室１４内に樹脂８２を充填し、圧力室１４の開口を封止する。続いて、樹脂８３が充填された圧力室１４を覆うようにキャビティプレート４１の表面と樹脂８３の表面とに跨って、薄い振動膜３１を形成する。次に、振動膜３１の上面に、平面視でキャビティプレート４１に形成された各圧力室１４と重なる領域を覆うように、圧電材料の粒子を振動膜３１上に堆積させることにより圧電層３２を形成する。次に、キャビティプレート４１、振動膜３１及び圧電層３２を所定の温度に加熱して、圧力室１４内に充填された樹脂８３を熱分解させて除去する。その後、圧電層３２の形成された振動膜３１及びキャビティプレート４１に７枚のプレート４２〜４８を積層して接着剤などで接合する。 （もっと読む）

【課題】インク吐出用のマイクロメカニカルなプランジャの耐久性を向上する。
【解決手段】パドル８は、ノズルチャンバ２内からノズルチャンバ２の１つの壁において規定されたインク噴出ノズル４を通って液体を噴出する。パドル８は、使用中はインク噴出ノズル４に対向しインク噴出ノズル４から間隔を置いて配置された略平らなプランジャ表面を提供するように構成された第１の部分と、第１の部分の周辺におけるプランジャ表面上に形成されて第１の部分の構造上の支持を行う第２の部分とを含み、それによって、使用中、プランジャが作動してインクを、インク噴出ノズル２を通って噴出している間、第２の部分がスペーサとしての役割を果たして、プランジャ表面がインク噴出ノズル４に触れるのを防止する。 （もっと読む）

【課題】モールドのプレスにより得られたパターンの残渣の発生を抑制し、より簡便な構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】ポジ型感光性樹脂からなる樹脂膜を備えた基板を準備する工程、該樹脂膜上にポジ型感光性樹脂と相溶するネガ型感光性樹脂を塗布する工程、モールドをネガ型感光性樹脂に押し付けモールドのパターンの凸部と基板との間にあるポジ型感光性樹脂とネガ型感光性樹脂を相溶させ相溶層を形成する工程、基板又はモールド越しに全面に活性エネルギー線を照射しネガ型感光性樹脂を硬化しポジ型感光性樹脂及び相溶層を現像液に対し可溶化する工程、モールドを離型しネガ型感光性樹脂にパターン形成した後他の支持基板に対しネガ型感光性樹脂を貼付する工程、基板をポジ型感光性樹脂及び相溶層から剥離する工程、ポジ型感光性樹脂と相溶層を現像液で除去する工程、を含む構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】２層構造の微細構造を２種のポジ型レジストで生成する場合に、少なくとも下層における熱架橋処理が不要な微細構造の形成方法、およびこの微細構造の形成方法を利用した液体吐出ヘッドとその製造方法を提供する。
【解決手段】ヒータを形成した基板上に下層としての第１のポジ型レジスト層（ＰＭＩＰＫ）を形成し、その上に上層としての第２のポジ型レジスト層（ＰＭＭＡ系共重合体）を形成し、第２のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて上層のポジ型レジスト層１３を露光、現像して所定のパターンを形成し、更に、第１のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて下層のポジ型レジスト層１２を露光、現像して所定のパターンとして微細構造を得る。この方法を用いた液体吐出ヘッドの製造方法と、その方法で製造された液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】均一かつ精度の良いインク流路及びインク吐出口を有し、インク吐出特性にばらつきの少ない液体吐出ヘッドを簡便に作製することのできる方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）基体２の表面に、活性エネルギー線硬化型樹脂層３を形成し、活性エネルギー線硬化型樹脂層の表面に、活性エネルギー線透過物質４を付着させる工程と、（Ｂ）活性エネルギー線を透過し、吐出口のパターンの突起形状を有する原盤５を、活性エネルギー線透過物質に押し付け、突起形状を活性エネルギー線透過物質に転写する工程と、（Ｃ）活性エネルギー線硬化型樹脂層に対して液体流路のパターンに活性エネルギー線７を選択照射し、活性エネルギー線硬化型樹脂層を硬化する工程と、（Ｄ）原盤を除去する工程と、（Ｅ）活性エネルギー線硬化型樹脂層の未硬化部を除去する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット素子を多数個取りするインクジェット記録ヘッドの製造方法において、ウエハー表面端部まで均一に被覆樹脂材料を塗布できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】被覆樹脂材料を塗布する工程において、ウエハー１外周端部に接してウエハーを保持するリング状のウエハー保持部１１を有し、かつウエハーを取り付けたときにウエハー保持部の上面の高さが型材表面と同じかそれよりも高い冶具１０を用いて、被覆樹脂材料５をウエハー保持部の上面まで塗布する。 （もっと読む）

【課題】吐出エネルギー発生素子とインク流路および吐出口との位置関係を高精度かつ再現性良く制御でき、印字特性の良好なインクジェットヘッドを安定して製造できる方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出する吐出口２と連通する流路１７を形成するための流路形成部材を基板１上に有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、基板１上に感光性樹脂からなる層を設け、その層上の流路１７に対応した部位にマスク層を設け、感光性樹脂からなる層に対して露光を行い流路１７の形状を有するパターンとし、このパターンを被覆するように流路形成部材となる層を設け、流路形成部材となる層の一部に吐出口２を形成し、そのパターンを除去して流路１７を形成することを含む液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】流路を高精度に形成することが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッドの製造方法は、常温、常圧下で、被覆樹脂層１２の重量が塗布された時の重量の９３％以下となるように被覆樹脂層１２から溶媒を除去した後に、減圧状態で被覆樹脂層１２からさらに溶媒を除去する工程を含む。この工程により、被覆樹脂層１２と型材１０とが交じり合ってできる層の厚さを、複数の液体吐出ヘッド間でより均一化することができる。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位量を大きくすることができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００は、圧力室２２が形成された基板２０と、基板２０の上方に形成された振動板３０と、振動板３０の上方に形成された第１部材４０と、振動板３０の上方に形成され、第１部材４０を下方側から支持している支持部５２を有する第２部材５０と、第１部材４０の上方に形成された圧電素子６０と、を含み、第１部材４０は、圧力室２２の上方の振動板３０に接着された第１部分４２と、圧電素子６０が形成された第２部分４４と、第１部分４２から第２部分４４に向かって斜め上方に延び、第２部材５０の支持部５２によって支持された第３部分４６と、を有し、支持部５２から第１部分４２までの距離Ｌ１は、支持部５２から第２部分４４までの距離Ｌ２より大きい。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドの低コスト化を可能としたインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１に形成された圧力発生室１０と、基板１の表面側に形成されて圧力発生室１０を覆う振動膜２０と、基板１の表面側であって振動膜２０を挟んで圧力発生室１０と対向する領域に形成された圧電素子３０と、基板１の表面側に形成されて圧電素子３０に接続する配線３４、３５と、ＩＣ素子５０（基板５１と、基板５１の表面に形成されたドライバ回路５２と、基板５１の表面側に形成されてドライバ回路５２に接続するバンプ電極５３と、を含む。）と、凹部４１ａを有する封止板４０と、を備える。バンプ電極５３は配線３４、３５に接合され、封止板４０は、ＩＣ素子５０と圧電素子３０とを凹部４１ａの内側に収納した状態で、基板１の表面側に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】吐出口の中心軸に関して対称に配置された複数の連通路を微細に形成することに適した記録ヘッドを提供する。
【解決手段】記録ヘッドは、液体に熱エネルギーを作用させることにより、前記液体を吐出口から吐出させる記録ヘッドであって、前記吐出口の下に配され前記液体が前記吐出口から吐出されるように前記液体に圧力を加えるための加圧空間を含む供給室と、前記液体を前記供給室へ供給する液体供給流路及び前記液体供給流路と前記供給室とを仕切る仕切り部を含む半導体基板とを備え、前記仕切り部には、前記液体供給流路を前記供給室へ連通させる複数の連通路が形成されており、前記複数の連通路は、前記吐出口の中心軸に関して対称に配されており、前記仕切り部は、前記半導体基板における前記仕切り部の周辺より高い濃度で不純物を有する半導体で形成されている。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドにおいて、半導体基板内における表面近傍に、単純な製造工程で製造可能な構造を有したフィルタ部を設ける。
【解決手段】記録ヘッドは、液体に熱エネルギーを作用させることにより、前記液体を吐出口から吐出させる記録ヘッドであって、前記液体を前記吐出口へ供給する第１の液体供給流路と、前記液体を前記第１の液体供給流路へ供給する第２の液体供給流路と、前記第２の液体供給流路と前記第１の液体供給流路との間に配されたフィルタ部とを含む半導体基板とを備え、前記フィルタ部は、前記第１の液体供給流路により供給された前記液体から異物を除去して、異物が除去された液体を前記第１の液体供給流路へ通過させるように配された複数のスルーホールを有し、前記半導体基板における前記フィルタ部の周辺より高い濃度で不純物を有する半導体で形成されている。 （もっと読む）

【課題】高い撥液性、拭き取りに対する高い耐久性（高い撥液性を維持する）、拭き取りの容易さおよびノズル材料への高い接着力を同時に提供するために、および高品質画像記録を実現するインクジェットヘッドの撥液材料を提供すること。
【解決手段】撥液特性を有するノズル表面を備えるインクジェットヘッドが作製される。ノズル表面は、フッ素含有基を有する加水分解性シラン化合物およびカチオン重合性基を有する加水分解性シラン化合物からつくられる縮合生成物を含む。 （もっと読む）

【課題】回復動作を頻繁に行うことなく、液滴の吐出の安定性を向上させる。
【解決手段】記録ヘッドは、基板１と流路形成部材２とを有する。流路形成部材２は基板１に積層されている。流路形成部材２には、各々の吐出エネルギー発生素子１０に対応したノズル４が形成されている。流路形成部材２には、第１の開口部６と、第１の開口部６内を流路形成部材２の外側に連通する第２の開口部７と、がさらに形成されている。連通路５は、液滴供給口９とは連結されていない。第１の開口部６は、フェイス面１３において、すべての吐出口３を環状に取り囲むように形成されている。第１の開口部７から第２の開口部６への連通路５内は親水性を有する。第２の開口部７は流路形成部材２の側面に設けられている。第２の開口部７は、連通路５に保持された小液滴を排出する際に、連通路５の内部が減圧されることを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドの製造方法において、型材形成用の層の不要部の除去後に発生する、密着性向上層の表面の荒れを抑制し、密着性向上層と流路壁との密着性安定化を図るとともに、工程の簡略化を行う。
【解決手段】密着性向上膜のパターニング時に使用したエッチングマスクを除去せず、エッチングマスク上に型材形成用の膜を積層させ、この膜の型材形成用の現像処理においてこのエッチングマスクも同時に除去する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高く、形成する画像の高画質化に寄与するインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、インク供給口（不図示）が形成されたシリコン基板１を有している。また、シリコン基板１の表面に設けられ、並べて配置された複数の圧力室８および各圧力室８と外部空間とを連通している吐出口７が形成された流路形成部材３を有している。また、シリコン基板１の表面に設けられ、流路形成部材３の一部を保持している密着層４と、各吐出口７に対向して配置され、インクを吐出口７から吐出させる吐出エネルギー発生素子２と、を有している。各圧力室８は、シリコン基板１の表面をそれぞれ囲むように流路形成部材３に形成された流路６ａまたは流路６ｂによって、インク供給口に連通されている。密着層４は、流路形成部材３を保持している部分から、シリコン基板１の表面の、流路６ａの中の領域にわたって配置されている。 （もっと読む）

【課題】より感度が高いｄｅｅｐ−ＵＶレジスト材料を用いることで、より生産性の高い、より微細なノズル構造を形成できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】（ｉ）インク吐出圧力発生素子が形成された基体上に特定の高分子化合物を含有するレジスト材料を含む層を形成した後、該層をパターニングしてインク流路パターンを形成する工程と（ii）常温にて固体状のエポキシ樹脂を含む液体を流路パターン上に塗布してインク流路壁となる被覆樹脂層を形成する工程と（iii）インク吐出圧力発生素子上に位置する被覆樹脂層を除去してインク吐出口を形成する工程と（iv）流路パターンを除去する工程とを有しており、工程（ii）において、インク流路パターン上に形成される被覆樹脂層の屈折率とインク流路パターンの屈折率との差が０．０３以下であるインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）