【課題】材料選択の幅が広く、経済性を悪化させることなく、インクの吐出面の平坦性を確保することができ、インクの吐出特性を安定的に維持できるようにしたインクジェットヘッドを製造できるようにする。
【解決手段】発熱抵抗体１３を配した基板１４上に、後工程で溶解可能な樹脂を積層してインク液室の形状パターンの溶解樹脂層２１とし、この溶解樹脂層２１上に、ドライフィルム化した樹脂を真空ラミネートして加圧することによって被覆樹脂層２２とし、この被覆樹脂層２２に、ノズルを形成してインク吐出部材とするとともに、溶解樹脂層２１を溶出して、インク液室を形成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関し、例えば発熱素子と発熱素子を駆動するトランジスタとを一体に基板上に形成したサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、塗布型の絶縁膜により段差の発生を防止して、かつ発熱素子の劣化を防止することができるようにする。
【解決手段】 本発明は、発熱素子の下層を塗布型の絶縁膜５５により平坦化し、この絶縁膜５５の表面を無機化する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関し、例えば発熱素子と発熱素子を駆動するトランジスタとを一体に基板上に形成したサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、塗布型の絶縁膜により段差の発生を防止して、かつ発熱素子の劣化を防止することができるようにする。
【解決手段】 本発明は、発熱素子３７（６０ａ、６０ｂ）の下層を塗布型の絶縁膜により平坦化すると共に、この発熱素子３７（６０ａ、６０ｂ）の近傍に凹部５９、７３を設けて熱処理により塗布型の絶縁膜から揮発成分を除去する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関し、例えば発熱素子と発熱素子を駆動するトランジスタとを一体に基板上に形成したサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、塗布型の絶縁膜により段差の発生を防止して、かつ発熱素子の劣化を防止する。
【解決手段】 本発明は、塗布型の絶縁膜５５、６８により層間絶縁膜を形成するようにして、この層間絶縁膜の表層、層間絶縁膜に設けられる貫通孔５８、７２の内側壁面にシリコン絶縁膜５６、５９、６９、７３を形成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関し、例えば発熱素子と発熱素子を駆動するトランジスタとを一体に基板上に形成したサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、塗布型の絶縁膜により段差の発生を防止して、かつ発熱素子の劣化を防止することができるようにする。
【解決手段】 本発明は、塗布型の絶縁膜５５、６８により層間絶縁膜を形成するようにして、この層間絶縁膜の表層、層間絶縁膜に設けられる貫通孔５８、７２の内側壁面にシリコン絶縁膜５６、６９、微結晶構造による金属膜５９、７３を形成する。 （もっと読む）

【課題】 基板の所定位置に設けたインク流路の少なくとも一部となる領域を占める溶解除去可能な固体層を、流路壁の少なくとも一部と吐出口を設けるための吐出口形成材料からなる層で被覆した状態で固体層を溶解してインク流路の少なくとも一部を形成する工程を有する方法によりインクジェット記録ヘッドを製造する際に、吐出口のインク流路への開口部におけるスカムの発生を抑制すること。
【解決手段】 吐出口形成材料として、紫外線吸収剤を含む紫外線硬化型の樹脂組成物を用いる。 （もっと読む）

【課題】 任意の天板が使用でき、固体層を被覆する樹脂として活性エネルギー硬化性樹脂以外も使用可能十分なインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 基板／液路／接着層／天板のエッジシューター型インクジェットヘッドにおいて液路壁部材に活性エネルギー硬化性樹脂以外の樹脂を使用可能とする。
後に除去する固体層の液路端部位に凹部を設け、液路部位上部から硬化性樹脂を塗布し凹部端部で硬化性樹脂を停止させる。 （もっと読む）

【解決手段】 特にインクジェットプリントヘッド用の、樹脂（３２）の中に作られている液圧超小型回路を、攻撃性のある液体に対して保護被覆するための工程において、ａ）基板上に堆積し、液圧超小型回路（３５、３６、３７）の内側形状を画定している銅の犠牲層（２６）を備えているシリコン基板（２０）を配置する段階と、ｂ）犠牲層（２６）の外側表面上に、電気化学処理によって少なくとも１つの保護金属被覆層（３０）を堆積させる段階と、ｃ）所定の厚さを有し、犠牲層（２６）を完全に覆うのに適している非感光性のエポキシ又はポリアミド樹脂（３２）を犠牲層（２６）の上に加える段階と、ｄ）樹脂（３２）を重合させ、機械的及び熱的応力に対するその機械的強度を向上させ、更に樹脂（３２）の外側表面（３３）を、機械的なラッピングと同時に化学的処理を施して、平坦化する段階と、ｅ）犠牲層（２６）を、強酸性溶液内で化学エッチングによって取り除く段階と、ｆ）樹脂（３２）の外側表面（３３）上に、金属の保護層（３９）を真空蒸着によって堆積させる段階と、から成る工程。
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【課題】 要求式液滴インクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】 この液滴インクジェットプリンタは、夫々の噴出ノズル（１６）を有するインク噴出室（１２）を規定する受動部品と、開口部および開口部内に位置決めされたアクチュエータ構造体（８）を備えたボディ（２）とを有している。アクチュエータ構造体はスラリーからの成形または、燃焼除去される型を使用した可撓性シートの真空形成により圧電性材料で形成されている。一連のマスク使用の付着、エッチングおよび同様な処理工程を使用して前記構造体をシリコンウェファーに構成するのに、ＭＥＮ技術が用いられてもよい。
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【課題】 目的とするインク流路を高スループットで形成可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 エネルギー発生素子を有する基板の表面上に、第１のポジ型レジスト層２を形成する工程と第２のポジ型レジスト層３を形成する工程と、該ポジ型レジスト層２および３の所定領域をフォトリソ過程により除去する工程と、該構造が形成された基板の表面上に、分子間架橋可能なネガ型レジスト層を形成する工程と、該ネガ型レジスト層の所定部分にインク吐出口を形成する工程と、前記ポジ型レジストを除去する工程と、を有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記第１のポジ型レジストと第２のポジ型レジストが１．共にカルボン酸の無水物構造を有するアクリル系樹脂を主成分としていること２．互いに異なる波長域に感光性能を持つ感光剤を有していることである。 （もっと読む）

【課題】２層構造の微細構造を２種のポジ型レジストで生成する場合に、少なくとも下層における熱架橋処理が不要な微細構造の形成方法、およびこの微細構造の形成方法を利用した液体吐出ヘッドとその製造方法を提供する。
【解決手段】ヒータを形成した基板上に下層としての第１のポジ型レジスト層（ＰＭＩＰＫ）を形成し、その上に上層としての第２のポジ型レジスト層（ＰＭＭＡ系共重合体）を形成し、第２のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて上層のポジ型レジスト層１３を露光、現像して所定のパターンを形成し、更に、第１のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて下層のポジ型レジスト層１２を露光、現像して所定のパターンとして微細構造を得る。この方法を用いた液体吐出ヘッドの製造方法と、その方法で製造された液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 長尺なインク供給口を有する構造であっても、特別の工程や補強部材を必要とすることなく優れた機械的強度を有する記録ヘッド用基板および記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 記録ヘッド５０は、結晶方位が＜１１０＞面のシリコン基板１と、その表面側に配置され複数の吐出口７が形成された被覆樹脂層５とを有している。シリコン基板１には、複数個の共通液室８が吐出口７の配列方向に沿って形成されており、それぞれの共通液室８の開口部であるインク供給口１０はシリコン基板１の表面側で実質的に１つのインク供給口となるように構成されている。共通液室８は、上部液室８ａと下部液室８ｂとで構成されており、隣接する共通液室８同士の間には、シリコン基板１を残すことによって形成された梁構造部２０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】流路への異物の侵入を防止し，流体抵抗の増加を最大限に抑制できるフィルタリングピラーを備えたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドは，基板上に配置され，インク吐出のための圧力を提供する複数の圧力発生要素と，基板を貫通するインク供給口２６と，圧力発生要素とインク供給口との間に配置され，インク供給口の両側に基板の圧力発生要素が設けられた面から所定の深さで凹設されるマニホールド１４'と，このマニホールドの底面上にフィルタの役割を果たすフィルタ開放部を複数形成するように，基板と一体に形成される複数のフィルタリングピラー１６と，基板上に配置され，圧力発生要素を各々その内部に含むインクチャンバー２８と，インクチャンバーをマニホールド方向に開放させるインクチャネル３０と，インクチャンバーと連通するノズルとを含む流路を限定する流路構造物とを備える。 （もっと読む）

【課題】 段状の液体流路を有する液体吐出記録ヘッドの製造において型材の材料選定を容易化させ、製造コストを抑えることが可能な液体吐出記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 ヒータ２が形成された素子基板１の上面に、インク流路の型材として流路樹脂層１１を単一の層で形成する。次いで、流路樹脂層１１上にマスク部材１２を形成してパターニングする。次いで、マスク部材１２をマスクとして、流路樹脂層１１を上面側からドライエッチングして部分的に薄膜化する。その後、素子基板１の上面を部分的に露出させるために流路樹脂層１１をパターニングし、その流路樹脂層１１を覆うようにノズル部材となる流路形成部材１５を形成し、流路樹脂層１１を溶解除去して記録ヘッドのインク流路を形成する。 （もっと読む）

【課題】目的とするインク流路を正確に形成可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 流路パターンを規定する型となる溶解除去可能な固体層（流路となる構造）とそれを被覆するネガ型レジスト層とを少なくとも用いたインクジェットヘッドの製造において、流路となる構造を、一般式（１）で表されるポリメタクリレート共重合体系樹脂とメラミン系の縮合性架橋剤とを有する分子間架橋型のポジ型感光性樹脂組成物の、電離放射線の照射による主鎖の崩壊反応により形成する。
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【課題】目的とするインク流路を正確に形成可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 流路パターンを規定する型となる溶解除去可能な固体層（流路となる構造）とそれを被覆するネガ型レジスト層とを少なくとも用いたインクジェットヘッドの製造において、流路となる構造を、特定の物性を有する（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸エステルの共重合体を樹脂成分とするポジ型感光性樹脂組成物から形成する。 （もっと読む）

【課題】 カルボン酸無水物構造を有するアクリル樹脂を用いたポジ型感光性樹脂組成物の露光感度を向上させるととも、感光波長の選択幅を広げること、更には、このポジ型感光性樹脂組成物を用いることで基板から吐出口方向への高さ方向に形状が変化するインク流路を精度良く、かつ効率良く形成できるパターン形成方法及びそれを用いたインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 少なくともカルボン酸無水物構造を有するアクリル樹脂と光酸発生剤とを用いてポジ型の感光性樹脂組成物を調製する。 （もっと読む）

記述される実施形態は、基板（３００）内のフィーチャー（９０５）及びそれを形成する方法に関連する。１つの例示的な実施形態は、第１の基板表面（３０２）と、概ね反対に位置する第２の基板表面（３０３）との間に延在する基板（３００）と、第１の表面（３０２）に対して垂直でない穿孔軸に沿って第１の表面（３０２）内に形成される少なくとも１つのフィーチャー（９０５）とを含むマイクロデバイスにすることができる。
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１個又は複数個のインクジェットチャンバを形成する方法であって、基板上のサーマル素子（７０）の全体又はほぼ全体をある種の未硬化感光造形素材にて被覆する工程と、未硬化感光造形素材被覆領域を部分的にマスキングするよう且つサーマル素子をマスキングするよう第１マスク（５０）を設ける工程と、未硬化感光造形素材被覆領域のうち非マスキング部分を露光させる工程と、サーマル素子上を少なくとも部分的にマスキングするよう第２マスク（９０）を設ける工程と、未硬化感光造形素材被覆領域のうち未露光部分を吐出ノズルが形成されるよう露光させる工程と、未硬化感光造形素材被覆領域のうち露光済部分を硬化させる工程と、残りの未硬化感光造形素材全てを除去してインクジェットチャンバを形成する工程と、を実行する。
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【課題】インクジェットヘッドの液体撥水材料を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、フッ素含有基を有する加水分解性シラン化合物および光重合性樹脂組成物を含む縮合生成物から構成されるノズル材料から形成される。 （もっと読む）