【課題】インクジェットヘッドをセラミック材質で形成して同時焼成する場合、セラミック材質の収縮によりインクジェットヘッドが変形するという問題を解決できる製造方法の提供。
【解決手段】第１セラミックグリーンシート１１上にノズル領域を形成し第２セラミックグリーンシート１２上にリザーバ領域及びチャンバー領域を形成し第３セラミックグリーンシート１３上にリストリクター領域を形成し第４セラミックグリーンシート１４にインク注入領域を形成する段階、各領域の変形を防ぐための拘束物質２０を充填させる段階、第１乃至第４セラミックグリーンシートを焼成温度で個別的に焼結させた後、拘束物質を除去する段階、第１乃至第４セラミックグリーンシートの一面に接合物質を形成する段階、接合物質が形成された第１乃至第４セラミックグリーンシートを順番に積層して圧力チャンバーを形成する段階、を含む。 （もっと読む）

【課題】流路が、液体吐出効率に対し有効である三次元的形状を有し、且つ、流路及び吐出口が良好な形状で形成可能であり、更に、インク吐出口と発熱抵抗体との距離を均一に形成可能な液体吐出記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、基板上に光カチオン重合開始剤を含有し且つエポキシ樹脂を主成分とする第１のネガ型感光性樹脂層の硬化樹脂層からなる第一の流路パターンの側壁を形成し、その後、第一の流路パターンを少なくとも埋める第１のネガ型感光性樹脂層よりも厚いポジ型感光性樹脂層を形成した後、ポジ型感光性樹脂の表面を流路の側壁の上端面が露出するまで研磨した後、平坦化により得られた平面に、光カチオン重合開始剤を含有し且つエポキシ樹脂を主成分とする第２のネガ型感光性樹脂層を形成する工程を少なくとも有することを特徴とする、液体吐出記録ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室内の圧力変化によりインク液をノズル開口部から吐出するインクジェット式記録ヘッド１００の製造方法であって、基板１の表面に圧力発生室となる溝部５１を形成する工程と、溝部５１の底面にノズル開口部となる溝部５２を形成する工程と、溝部５１、５２に犠牲膜５３を埋め込むように形成する工程と、犠牲膜５３及び基板１の表面上に振動膜２０を形成する工程と、振動膜２０上に圧電素子３０を形成する工程と、基板１の裏面を研削して溝部５２の底面を開口させる工程と、基板１の表面側から犠牲膜５３を露出する開口部を形成する工程と、この開口部を介して犠牲膜５３をエッチングし除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】被覆樹脂９に所望形状の微細構造（インク吐出口等）を精度良く形成できるインクジェット記録ヘッド（又は微細構造体）の製造方法を提供する。
【解決手段】インク吐出エネルギー発生素子２を形成した基板１上にインク流路の型パターンを形成し、被覆樹脂９で被覆し、その後型パターンを溶解除去することによりインク流路を形成する方法において、被覆樹脂９に対してｉ線を用いたパターン露光を行なう工程を少なくとも有し、かつインク流路の型パターンの少なくとも一部（樹脂層（２）６）を、波長３６５ｎｍの吸光度が０.１以上となるポジ型感光性レジスト又はジアゾナフトキノンを含有するｉ線用ポジ型感光性レジストにより形成するインクジェット記録ヘッド（又は微細構造体）の製造方法。 （もっと読む）

【課題】多層材料層を使用してインクジェットプリントヘッドを製作する方法を提供する。
【解決手段】導電体材料、半導体材料及び非導電体材料の複数の層を有する電子駆動回路を製作するステップと、各々のノズルチャンバが、ノズルチャンバの壁部にインク吐出開口を有するように、集積回路製作材料の被着とその後のエッチングによって、材料の複数の層上に複数のノズルチャンバを形成するステップと、各々のアクチュエータが一つのノズルチャンバに対して動作可能に配置されるように、材料の複数の層上にアクチュエータを形成するステップと、材料の複数の層のうち少なくとも一つにおける部分を犠牲材料として利用するステップと、各々のアクチュエータを解放するように部分を除去するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレート１１に流路抵抗の小さいノズル孔５を形成することができる液滴吐出ヘッドの製造方法を実現する。
【解決手段】ノズル孔が未加工のノズルプレート１１にノズル孔５に連通する連通孔２３が形成されたスペーサプレート１２を接合する工程と、ノズルプレート１１のにおける連通孔２３に対応する位置で、連通孔２３から露出している面に対してレーザ光を照射して、ノズルプレート１１にノズル孔５となる貫通孔５０を穿設する工程と、各貫通孔内に、ノズルプレート１１のスペーサプレート１２と反対側の開口側から、粘性を有する液状のレジスト５１を充填して閉塞する工程と、連通孔２３側から露出するノズルプレート１１の面に対して連通孔２３側からエッチングを施し、貫通孔５０におけるレジスト５１の外周のノズルプレート１１に凹部５２を形成する工程と、固化したレジスト５１を除去する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】ｉ線露光によりインク吐出口の形成を行う場合でも、下地による反射の影響がなく、安定したパターン形状が可能であり、反射防止膜が残らないインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のインク吐出エネルギー発生素子を有する基板と、インク吐出エネルギー発生素子上に液滴を保持するためのインク流路と、ｉ線露光にて形成したインクを吐出するためのインク吐出口とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、反射防止膜を形成する工程と、ｉ線露光によりインク吐出口形成後、前記反射防止膜を、反射防止膜を選択的に除去可能な方法で除去する工程を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 インク流動制御構造を有するインクジェットプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】 インクジェットプリントヘッドは、ウェハ基板と、ウェハ基板上に設けられ、ノズルチャンバと外気とを連通させるノズルを各々が有するインク吐出ノズル配列と、使用時にインクメニスカスが形成される、各々のノズル周りに設けられたメニスカスリムと、各々のメニスカスリムから外側に離間して設けられ、且つウェハ基板に向かって延びるピットを形成するようにウェハ基板に延びるインク流動防止リムとを備える。インク流動防止リムは、インクジェットプリントヘッドの表面を横切るインクの流動を防止するように各々のノズル配列を実質的に取り囲む。 （もっと読む）

【課題】 ＢＴＪのヒータボードプロセス（単層配線対応）で、ヒータ保護膜として最適な膜厚と、異方性エッチングストップ層として必要な膜厚を実現するためのインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッド・プロセスを提案する。
【解決手段】 ｐ−ＳｉＮｘをヒータ保護膜として必要な膜厚まで成膜し、その後にヒータ上部にＴａの耐キャビテェーション層を形成後、ｐ−ＳｉＮｘを再度メンブレンとして必要な膜厚まで成膜する。
次に、２層目のｐ−ＳｉＮｘをＴａをエッチングストップ層として削りこみ、ヒータ保護膜それぞれに必要な膜厚を実現する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、吐出速度が速く、極めて着弾精度が高く、高画質の記録を高速で行うことができ、更に、インクのリフィール速度が速い溶液吐出ヘッドを得ることを目的とする。
【解決手段】本発明は、基板上に、吐出口と溶液供給口とに連通する流路と、溶液吐出エネルギー発生素子と、を有するインクジェット記録ヘッドであって、前記流路が、前記吐出口に対して、対称に配され、前記溶液供給口が、共通溶液供給口と、該共通溶液供給口と前記流路とに連通される独立溶液供給口とからなり、前記独立溶液供給口が、前記流路の前記吐出口と対向する側に配され、前記独立溶液供給口が前記基板の流路が形成された面に対して垂直に形成されていることを特徴とする溶液吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】 吐出口表面への付着物を少なくし、ヨレのない良好な吐出を得られるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドの製造方法の製造方法において、基板１上に有機物の層７を形成する工程と、層７上に、流路の型となる溶解可能なパターン１０を形成する工程と、パターン１０上に流路形成部材を形成する工程と、流路形成部材に吐出口５を形成する工程と、パターン１０を溶解除去する工程と、吐出口５が開口している面に付着した付着物１３に紫外線を照射する工程と、付着物１３を除去する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体を有する基板面に対して垂直方向にインク液滴が吐出される液体噴射記録ヘッドにおいて、吐出するインク種ごとに、インク吐出エネルギー素子とオリフィス面間の距離を制御することが非常に困難である。
【解決手段】インク吐出エネルギー発生素子３が形成された基板４上に、溶解可能な樹脂層によりインク流路部１，１０と共にオリフィスプレートの厚みを制御するための土台部２，９を形成する。その後、オリフィスプレートとなる溶解可能な樹脂層５を基板４上に塗布する。これにより、各インク供給口８に繋がるインク流路部ごとにインク流路上のオリフィスプレートの厚みが異なるものとなる。その後、インク吐出口７および貫通口６を設け、溶解可能な樹脂層５をすべて除去する。 （もっと読む）

【課題】接着剤がノズル孔内に入り込みにくく簡略なノズルプレートを製造する。
【解決手段】基板１にノズル孔２を形成する。基板１の吐出面１ａを光硬化性樹脂４で被覆すると共に、ノズル孔２を光硬化性樹脂４で充填する。裏面１ｂから吐出面１ａに向かう方向の紫外光を基板１に照射して、光硬化性樹脂４を硬化させる。基板１の裏面１ｂを光硬化性樹脂１４で被覆する。裏面１ｂに被覆した光硬化性樹脂１４の上に、透明フィルム１７を被覆する。裏面１ｂから吐出面１ａに向かう方向の紫外光を透明フィルム１７を介して光硬化性樹脂１４に照射して、光硬化性樹脂１４の遮光領域１８と重ならない部分を硬化させる。透明フィルム１７を除去して、硬化樹脂部１５及び未硬化の光硬化性樹脂１４を露出させる。光硬化性樹脂４，１４の未硬化部を除去する。硬化樹脂部５，１５をマスクとして、撥水膜３，１３を形成する。硬化樹脂部５，１５を除去する。 （もっと読む）

【課題】 インク供給口を設計値通りに形成し、スムーズなインク供給を可能にすることにより印字品位に優れたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 ＣＲ製法のインクジェットヘッドに於いて、インク供給口形成の為の犠牲層にＡｌＣｕを用いる。（Ｃｕの含有率を０．０５％を超え５％以下に限定。） （もっと読む）

【課題】熱駆動方式のインクジェットプリントヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上にインクチャンバーが形成されたチャンバー層を形成する工程と、インクチャンバーを満たすようにチャンバー層上に犠牲層を形成する工程と、犠牲層及びチャンバー層の上面を１次化学的機械的研磨工程を通じて平坦化させて、犠牲層及びチャンバー層を所望の高さで形成する工程と、を含み、ここで、１次化学的機械的研磨工程に使われるスラリーには、平均粒径が５００ｎｍ〜２μｍである研磨粒子が含まれるインクジェットプリントヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドに設けられる複数の液体吐出基板同士の間、もしくは液体吐出基板の周囲に配されたプレートとの間にインクが溜まることなく、さらに、液体吐出基板の損傷などが生じないインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】樹脂５０７内部に空洞５０８を設けることで、隣り合う液体吐出基板２００と液体吐出基板２００の間に窪みを作ることなく、樹脂５０７の実質的な体積を減らしている。これによって液体吐出基板２００間の窪みにインク等が溜まることが無く、製造工程や製品の使用環境における温度変化で樹脂が伸縮しても、空洞５０８が無く樹脂５０７で満たされている場合と比べて、液体吐出基板２００に加わる外力を低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いた液体吐出ヘッドにおいて、高密度に液体吐出ヘッドノズルを配置した場合でも、吐出時と液体供給時に効率の良い液体の流動を可能にした液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッドが、液体を吐出する複数のノズル８と、それぞれに圧力発生手段５を備えた複数の個別液室２と、共通液室１０と、共通液室と複数の個別液室をそれぞれ連通し、共通液室から個別液室へ液体を供給する液体供給流路９を有している。その液体供給流路が、共通液室との境界部における断面積が個別液室との境界部における断面積より大きくなるように形成される。かつ、液体供給流路の一部を構成する底面１５の深さが、個別液室との境界部よりも共通液室との境界部の方が深く形成される。 （もっと読む）

【課題】ＵＶ及び／または熱硬化時にチャンバ／ノズルプレートの硬化変形及びそれによる印字品質の低下を防止できるインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】
インクを加熱する複数の抵抗発熱体、及びインクカートリッジからインクを供給するインク供給口を形成した基板１０１と、基板１０１上に形成され、インク供給口と連結されたインクチャンバ１０４からなる流路構造を形成するチャンバプレート１０９ａと、チャンバプレート１０９ａ上に形成され、複数のノズル１０７を形成するノズルプレート１０９ｂと、ノズルプレート１０９ｂに一部の深さまで形成された少なくとも１つの溝と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発熱体素子で発生した熱エネルギーを効率良く発泡のエネルギーに変換可能なインクジェット及びその作製方法を提供する。
【解決手段】発熱体素子１０６を形成した面と反対の基板面より貫通エッチングを行い、液体供給路１０５を作成すると同時に発熱抵抗素子１０６を内壁面より浮かせた状態に支持することにより、ヘッド本体や基板への熱の散逸を防止することができ、発熱体素子１０６で発生したエネルギーを効率よく発泡エネルギーに変換することができる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドのインクの吐出を阻害する要因を極力取り除くことで印刷品質を高める。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッド１の製造方法は、インクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面３７ａに開口するインク吐出口３７に、ロウ材７４を充填してインク吐出口３７を閉塞する工程と、インク吐出口３７の閉塞されたインク吐出面３７ａを研磨する工程と、インク吐出面３７ａが研磨された後、インク吐出口３７からロウ材７４を除去する工程と、ロウ材７４が除去されたインク吐出面３７ａに、インク吐出口３７とつながるインク吐出孔３ａが穿孔されたオリフィスプレート３を接合する工程と、を有する。 （もっと読む）