【課題】インクによる腐食やショートを効果的に防止する。
【解決手段】第１の基板の第２の基板側と反対側の第１の面上に設けられた第１保護層であって、第１保護層の側面はインク供給口の側面内壁と同一面を構成する第１保護層と、インク供給口の側面内壁の全面及び第１保護層の側面の少なくとも一部を覆うように設けられた第２保護層と、を備えていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】数μｍ〜数十μｍの厚膜においても、すそ引きを発生することなく、テーパ形状の精度良いパターンが形成可能である光カチオン重合性エポキシ樹脂組成物を用いた液体吐出ヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】基板１上にネガ型感光性樹脂１１の層を形成する工程と、層に対して３６５ｎｍの波長の光で露光を行い、吐出部７を形成する工程と、を有し、ネガ型感光性樹脂は、エポキシ樹脂と、光カチオン重合開始剤と、非共有電子対を有する原子を有し、非共有電子対を持つ原子が、芳香環に直接結合している、もしくはヘテロ環として取り込まれている多環式芳香族化合物と、を含む、液体吐出ヘッドの製造方法 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣケーブルのリード線と基板との間に発生する電気的短絡を防止するとともに、ウェハーの切削時にヘッドの主要部分がパーティクルによって汚染されることを防止するためのインクジェットプリントヘッド及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】パッド領域を有する基板と、インクを吐出するために、パッド領域に隣接して基板上に配置されるインク吐出部と、インク吐出部に電気的信号を印加するために、パッド領域に配置される接続パッドと、基板の外縁を切削するときに発生するパーティクルのパッド領域への流入を防止するために、パッド領域の外縁に沿って配置される区画壁と、を備えるインクジェットプリントヘッドにおいて、区画壁は、パッド領域の一面に沿って延長される延長部と、延長部から延長される折曲部と、を含むインクジェットプリントヘッドが提供される。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動が可能で大きな振動板戻り力を得ることが困難である。
【解決手段】振動板１１は、振動板１１の短辺方向でおいて、相対的に剛性が異なる少なくとも第１、第２、第３の領域１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃを有し、第１の領域１１Ａよりも第２の領域１１Ｂの剛性が低く、第１の領域１１Ａよりも第３の領域１１Ｃの剛性が高い関係にあり、第２の領域１１Ｂ、１１Ｂは振動板１１の短辺方向の固定端側（隔壁部９側）に設けられ、第３の領域１１Ｃは振動板１１の中央部側に設けられ、更に第３の領域１１Ｃの一部には相対的に剛性の低い低剛性領域１１Ｄが設けられている構成となる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、液体吐出ヘッドに用いる保護層として、緻密で化学的および物理的に安定し、薄膜化してもインク等の液体に対して絶縁性および耐性があり、段差部のカバレッジ性に優れた、さらに好ましくはより薄い保護層を提供することにある。
【解決手段】液体吐出ヘッド基体に用いる保護層として、緻密で化学的および物理的に安定し、薄膜化しても液体に対して絶縁性および耐性があり、段差部のカバレッジ性に優れ、より薄化できる保護層を提供するため、本発明の液体吐出ヘッド基体は、基体と、基体に形成された発熱抵抗層と、液体の流路と、発熱抵抗層に積層され、その端部が発熱抵抗層上で段差部を形成する配線層と、発熱抵抗層と段差部を含む配線層とを覆い、発熱抵抗層と流路との間に配された保護層と、を有する液体吐出ヘッド基体において、保護層は、Ｃａｔ−ＣＶＤ法により形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡易な工程で撥水性の劣化、流路形成材の膨潤、流路形成材の基板面からの剥がれが生じ難い製法を提供する。
【解決手段】 吐出圧発生素子と、少なくとも流路となる部分を占有する固体層（流路型材）がポジ型レジストにより形成された基体上に、ノズル形成部材であるネガ型の活性エネルギー線硬化性材料を被覆し露光、現像により吐出口を形成し、前記固体層を除去することによりノズルを形成するインクジェットヘッドの形成方法において、吐出口を形成する工程で吐出口と同様にしてガス抜き穴を形成する。 （もっと読む）

【課題】流路形成部材に体積変化が生じても、吐出口や流路に変形が生ずることの少ない液体吐出ヘッドを実現する。
【解決手段】液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子１が複数設けられた基板２上に、液体が吐出される複数の吐出口５ａと、液体が供給される液体供給口６ａとが設けられている。また、前記液体供給口６ａと前記吐出口５ａとを連通させる流路７が設けられている。そして、前記流路７を形成する流路形成部材は、樹脂によって形成され、一つの前記吐出口５ａに連通する前記流路７を形成している前記流路形成部材は、他の前記吐出口５ａに連通する前記流路７を形成している前記流路形成部材から独立している。 （もっと読む）

【課題】 高精度のインクジェットヘッドを歩留まりよく作製する。
【解決手段】 流路基板とオリフィスプレートを接着剤を用いた接合を行わず、一体的に形成する。すなわち、流路基板裏面に設けた金属層をエッチングマスクとしてドライエッチングにより流路を形成、その後、金属層をシード層としてオリフィスプレートを電鋳法により形成する。 （もっと読む）

液滴排出装置は、基板(1)、及び液体を受け入れる液体チャンバ(36)を有する。前記液体チャンバは、前記基板の上に位置し、かつノズルプレート、チャンバ壁、及びライナ層(39)を有する。前記ノズルプレート及び前記チャンバ壁は有機材料(44)を有する。前記ライナ層は無機材料を有する。前記ライナ層は、前記ノズルプレート及び前記チャンバ壁上に設けられている。そのため、前記液体が前記チャンバ内に存在するときには、前記無機材料は前記液体と接することができる。
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【課題】 吐出休止中におけるインク吐出口からのインク溶媒の蒸発を抑制し、印字障害の発生を防止することを目的としたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 インク吐出口近傍に、インク吐出口とは別の液面を有するインクジェットヘッドにおいて、前記液面を形成する液溜まりに突起部を設けることで液面と外気との接触面積を拡大し、液面からの蒸発を促進し、該インク吐出口近傍の湿度を高く保つことで、該インク吐出口からのインク溶媒の蒸発を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 特に１インチ以上の長尺化されたインクジェットヘッドの吐出エレメントを形成する際に、剥れのない吐出性能の安定した長期に渡って信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができるとともに、極めて高いインク選択自由度を有することとなり、耐光性や耐ガス性に優れた新規インク組成に対しても高い信頼性を有したインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】 隣接する発熱抵抗体の間に設けられるヒーター基板上の上部保護膜上に形成される密着向上層に凹部を形成することにより目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】 供給口形成時における気泡の発生を防ぎ、ノズル材の変形を防止することができる液体吐出ヘッド、およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 シリコン基板を用い、該基板上に発熱抵抗体が形成された複数のチップユニットを有し、該基板上に設けられた吐出口を有するノズル材とを備え、該ノズル材の吐出口から該基板面に対し垂直方向にインク液滴を吐出する液体吐出ヘッドの製造方法において、インク供給口を形成するために前記基板に対して異方性エッチングを行う前であって、前記基板に保護材塗布前に、該保護材よりも粘度の低い除去可能な気泡防止材を前記基板に塗布する。 （もっと読む）

【課題】インク発泡室およびその傾斜面部に発熱抵抗体を具備したインクジェット記録ヘッドを、汎用半導体工程を用いて容易かつ高精度に製造可能にする。
【解決手段】基材１上に傾斜面部を有する除去可能な凸部１ａを形成し、傾斜面部に沿って発熱抵抗体５を形成する。この発熱抵抗体５、傾斜面部および基材１の一面を覆うように、オリフィスプレートを形成する。この後、凸部１ａを除去することによってインク発泡室を形成する。 （もっと読む）

【課題】梁を備えたインク供給口を短時間で精度良く形成する。
【解決手段】インクジェットヘッド用基板の製造方法は、シリコン基板の裏面におけるインク供給口１０を形成する部分に、シリコン面が露出した被エッチング面を形成する工程を有する。さらに、被エッチング面のうち梁１９を形成する領域を少なくとも除いた領域に、レーザー加工によって第１の凹部を形成する工程と、シリコン基板に対して、被エッチング面から第１のウエットエッチングを行う工程とを有する。さらに、第１のウエットエッチングによってエッチングされたシリコン基板の被エッチング面に、レーザー加工によって第２の凹部２０ｂを形成する工程を有する。さらに、シリコン基板に対して、被エッチング面がシリコン基板を貫通して犠牲層に達するまで第２のウエットエッチングを行い、梁１９を備えたインク供給口２０を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 従来のサイドシューター型のインクジェット記録ヘッドでは、基板はＳｉの単結晶基板に限定され、作製できるインクジェット記録ヘッドの大きさにも単結晶基板の大きさが制約になった。また、Ｓｉの異方性エッチングには７〜１１６時間という長大な時間が掛かるという問題点もあった。
【解決手段】 基板にインク吐出圧力発生素子が設けられ、インク吐出圧力発生素子に対向するプレート側に吐出口が配されて、インク内に気泡を発生させて該吐出口基板に垂直にインクを吐出するインクジェット記録ヘッドであって、セラミック等の耐熱基板にインク供給口のための貫通孔が開けられ、前記基板表面に放熱のための第一の金属層と、前記基板と第一の金属層の間に両者を接合するための第二の金属の積層が形成されて、電気−熱エネルギー変換素子およびインク吐出口、インク流路が形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッドによって解決される。 （もっと読む）

【課題】 普通紙を高速で印刷し、写真を高画質で印刷するために、安定した大小液滴吐出をするインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 吐出量の異なるノズルが一体に基板上に形成され、吐出量により、吐出方向に対する吐出口壁面の角度を異ならせる。 （もっと読む）

【課題】気泡を制御してデッドゾーンを更に少なくして吐出特性が優れ高品質の画像を形成する液滴吐出ヘッド、その液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッドを備える液体カートリッジ、並びに画像形成装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する液滴吐出部１と、前記液滴吐出部１の液滴吐出口１１に連通して液滴を吐出する熱エネルギーが液体に作用する液室２と、前記液室２へ液体を供給する液体供給口３と、前記液室２内に熱エネルギーを発生する発熱抵抗体４と、前記液室２を形成する隔壁５と、前記発熱抵抗体４から離れるに従い前記隔壁５の前記液室２に面する接線５０と前記発熱抵抗体４のなす角度（Ｚ）が連続的に増大して９０度となった後に連続的に減少する形状の曲面６を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度な流路形状を形成可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及びそれにより得られるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子を有する基板と、インクを吐出する吐出口と、前記吐出口と連通するインクの流路を形成する流路形成部材と、を有するインクジェット記録へッドを、前記基板上に、ポジ型感光性樹脂にて前記流路のパターンを設ける工程；前記基板上に、前記パターンを被覆するように前記流路形成部材となるネガ型感光性樹脂の被覆樹脂層を設ける工程；３００ｎｍ以上の波長の光のみで前記被覆樹脂層を露光して、前記吐出口を形成する工程；および前記パターンを除去して前記流路を形成する工程；を有する方法で製造する。ただし、前記パターンは、３００ｎｍより短い波長の光には感度を有し、前記被覆樹脂層を露光するために用いられる光に対しては、感度をもたない。 （もっと読む）

【課題】リフィル速度の高速化、液滴の吐出量の安定化を図り、液滴の吐出効率を向上することができるインクジェット記録ヘッドとその製造方法を提供する。
【解決手段】サイドシューター型インクジェット記録ヘッドにおいて、一つの発泡室１２に対してインク供給口９から第１のインク流路１２と第２のインク流路１４が夫々独立して設けられている。 （もっと読む）

【課題】液滴の吐出量の変動を吸収して安定した吐出及び高品質な印字が可能で、簡易かつ安価な液滴吐出ヘッド、その製造方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズルプレート２を、ベース樹脂プレート２ｃと感光性樹脂プレート２ｄとが積層された樹脂プレート積層体から構成するとともに、液体供給路１２に対応する領域の少なくとも一部に、感光性樹脂プレート２ｄの一部を除去してベース樹脂プレート２ｃからなるダンパー部１１を形成する。 （もっと読む）