【課題】所望の部分のみに封止材を付着などさせて余分な封止材の除去工程をなくす。
【解決手段】個別電極１２を有する電極基板１０と、個別電極１２とギャップ４０を介して対向し、個別電極１２との間で発生した静電気力により動作する振動板２２を有するキャビティ基板２０とが接合された接合体５０の一方の基板に、ギャップ４０を外気と遮断する封止材２５を配備するための貫通溝穴２６を形成する工程と、貫通溝穴２６に対応する部分が開口した第１マスク基板６０Ａを貫通溝穴２６が形成されたキャビティ基板２０に密着させて該基板をカバーする工程と、第１マスク基板６０Ａの開口に対応する部分が開口した第２マスク基板６０Ｂを、第１マスク基板６０Ａに密着させて第１マスク基板６０Ａをカバーする工程と、第２マスク基板６０Ｂ及び第１マスク基板６０Ａの開口を利用して、貫通溝穴２６に封止材２５を選択的に堆積してギャップ４０を封止する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳプロセスで吊り下げられたビームを製造するための優れた方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳプロセスで吊り下げられたビームを形成する方法が開示される。プロセスでは、基板（５）にピット（８）をエッチングする。犠牲材料（１０）を、ピット（８）内及び周囲の基板表面上に付着させる。次に、周囲の基板表面及びピット（８）の周囲から犠牲材料（１０）を除去し、したがって犠牲材料とピットの少なくとも２つの側壁の間にギャップがある。次に、残りの犠牲材料がピットの側壁と接触するように、犠牲材料をリフローするように加熱する。次に、通常は金属であるビーム（１２）の材料を、基板表面及びリフローした犠牲材料に付着させ、次に犠牲材料を除去して、吊り下げられたビームを形成する。ビームは、インクジェットプリンタの加熱要素として使用することができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル形状を加工したシリコン基板を樹脂によって支持基板に貼り合わせ、ノズル内に充填した貼り合わせ用樹脂を引抜く際に、酸化シリコン膜のバリや樹脂残渣がノズル内に残らないようにしたノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板に、第１のノズル孔と、第２のノズル孔とからなるノズルを形成するノズル基板の製造方法であって、第１のノズル孔及び第２のノズル孔を形成する工程と、樹脂を用いてシリコン基板に支持基板を貼り合わせ、樹脂を凹部の内部に充填する工程と、シリコン基板を薄板化し、薄板化されたシリコン基板から第１のノズル孔を開口させる工程と、第１のノズル孔に充填されている樹脂を除去する工程と、シリコン基板に酸化膜及び撥水膜を形成する工程と、支持基板をシリコン基板から剥離する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】優れたインクジェット印字ヘッドを提供する。
【解決手段】平面の熱アクチュエータ（１２）、ＣＭＯＳ電極に直接付着した接触部（２８）、及び抵抗損をそれほど増加させずに、接触部（２８）を非常に小型化した構造にできるように、垂直又は傾斜表面によって引き起こされるホットスポットを防止する吊り下げられた加熱器要素（２９）を有するインクジェット印字ヘッド。抵抗損が低いと、吊り下げた加熱器要素（２９）の効率的な動作が維持され、小さい接触部のサイズは、印字ヘッド上にノズルを接近させてパッキングするために都合がよい。 （もっと読む）

【課題】インク流路パターンを高密度化した場合であっても、精度良くインクジェット記録ヘッドを製造可能な方法を提供する。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子２が形成された基板１上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パターン３を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂にてインク流路パターンが形成された基板上に、前記溶解可能な樹脂の溶解可能性が失われない温度で、気相成長法により有機材料を堆積させて被覆樹脂層４を形成する工程と、前記被覆樹脂層の、前記インク吐出圧力発生素子の上方に位置する部分に、インク吐出口５を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を溶出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】テーパ角度を精密に制御することが可能なインクジェットプリントヘッドの製造方法及び該製造方法によって製造されたインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】前駆体ポリマー、陽イオン性の光開始剤、及び溶媒を含む架橋ポリマーレジスト組成物に化学線を照射してノズル層を形成する工程を含むインクジェットプリントヘッドの製造方法であって、陽イオン性の光開始剤の濃度を変化させて、ノズル層に存在するノズルのテーパ角度を制御することを特徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方法である。これにより、該インクジェットプリントヘッドの製造方法は、別途の追加工程なしにノズルテーパ角度の自由な調節が可能であり、最適のメニスカスの挙動を観察でき、その結果によって該方法で製造されたインクジェットプリントヘッドは、インクの吐出速度、周波数及び吐出様態など、インクの吐出性能を向上させうる。 （もっと読む）

【課題】吐出効率を向上させるとともに、吐出方向、吐出量を安定化させる。
【解決手段】基板上に第１の感光性材料を層状に形成し、第１の感光性材料上にストレート状の孔部を有するストレート部形成部材を配置し、前記孔部に第２の感光性材料を充填し、前記ストレート部形成部材側から所定の光を照射して、前記第２の感光性材料の略全体を感光するとともに、前記第１の感光性材料を前記基板側に向かって径が徐々に拡がるテーパ状に感光し、前記ストレート部形成部材を剥離するとともに、前記第１及び第２の感光性材料の現像処理を行い、前記現像工程により前記基板上に残存した前記第１及び第２の感光性材料を型として、めっき法により前記基板上に前記ノズルプレートとなる金属層を形成し、前記基板と前記第１及び第２の感光性材料から前記金属層を剥離することを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 線膨張の差によって、素子基板に損傷が生じたり破損したりすることを確実に防止するとともに素子基板に生じる反りを低減することを可能として、液滴の吐出動作の信頼性を向上することができるインクジェット記録ヘッドの提供。
【解決手段】 複数の吐出口が配列されてなる吐出口列と、電気信号に応じて前記吐出口からインクを吐出するためのエネルギー発生手段と、前記エネルギー発生手段にインクを供給するためのインク供給口とを複数有する記録素子基板と、前記記録素子基板の前記インク供給口に連通される開口部を有し、前記記録素子基板を支持するための支持部材を備えるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク供給口のうち、少なくとも最外部２つは補強部を有し、前記最外部に設けられた前記インク供給口と、前記最外部以外に設けられた前記インク供給口とで前記補強部の数が異なることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】長期にわたる使用にも耐えられる液体吐出ヘッドを容易に製造する。
【解決手段】液体吐出ヘッドの製造方法は、エネルギー発生素子３の列を備えた基板１に、ポリエーテルアミド樹脂からなる密着層（樹脂層７）を積層する工程と、流路壁９を密着層上に形成する工程と、流路壁９をマスクとして密着層をエッチングし、密着層のパターニングを行う密着層形成工程と、流路壁９が形成されている基板上に流路壁９を覆うように埋め込み材料１１を堆積させる埋め込み材料堆積工程と、堆積された埋め込み材料１１の上面を、流路壁９の上面が露出するまで、平坦に研磨する工程と、研磨された埋め込み材料１１および露出した流路壁９の上面にオリフィスプレート１２を形成する工程と、インクの吐出口１４を形成する工程と、埋め込み材料１１を溶出させる工程と、を有し、密着層形成工程後に埋め込み材料堆積工程が行われる。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出面に生じたインク溜りに起因する吐出方向のヨレや不吐現象の発生を減少させることが可能なインクジェット記録ヘッド等を提供する。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッドは、複数のインク吐出口１と、インク吐出口１にそれぞれ連通するインク流路６と、各インク流路６内に配置されたインク吐出エネルギー発生素子７とを有し、インク吐出口１が開口しているインク吐出面に、複数のインク吐出口１が配列されてなる複数の吐出口列が並んで配置されている。インク吐出面の複数の吐出口列同士の間には吐出口列の長さ方向に延びる溝２が形成され、溝２の壁面とインク吐出面とが鋭角を成している。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出型記録ヘッドの信頼性を向上させる。
【解決手段】
液体吐出型記録ヘッド１の液流路５と液体吐出口６を有する第１の被覆樹脂層７を分子中に少なくとも１個のオキセタニル基を有するオキセタン化合物と、光カチオン重合開始剤とを必須成分とするオキセタン樹脂組成物で形成する。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出型記録ヘッドの信頼性を向上させる。
【解決手段】
液体吐出エネルギ発生素子３３ａが形成されると共に液体を供給する流路の一部を構成する基板３３と、基板３３上に形成され、流路の一部を構成すると共に液体を吐出する液体吐出口３５を有する被覆樹脂層３６とを有し、被覆樹脂層３６を分子中に少なくとも１個のオキセタニル基を有するオキセタン化合物と光カチオン重合開始剤とを必須成分とするオキセタン樹脂組成物で形成する。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材との密着力を高め、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供すること、および簡便な方法で信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】 特定構造のポリエーテルアミド樹脂に、イオン結合により感光基を導入した感光性樹脂組成物を、インクジェットヘッドの密着層として使用することを特徴とするインクジェットヘッド及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】 密着向上層に微粒子を添加し、密着向上層表面に凹凸を形成することで、露光時の反射光の抑制、インク流路壁との密着性向上を図ることができるインクジェット記録ヘッド及びその製造方法の提供。
【解決手段】 インク吐出圧力発生素子と、密着向上層と液路となる部分を占有する固体層とが設けられた基体上に、光酸発生触媒により硬化されるインク流路壁形成材料を被覆し、インク流路壁形成部材に吐出口を形成し、前記固体層を除去することによりインク流路を形成する手段を包含するインクジェット記録ヘッドにおいて、密着向上層に微粒子が含まれていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット用ヘッド基板のノズルが多くなり、長尺化又は縮小化していくと、基板の表面に形成された感光性樹脂の影響で、引っ張り方向で基板の変形が起こり、ノズル剥がれや吐出口の変形、さらにはインクの吐出方向が定まらず印字に悪影響を与えてしまうという課題があった。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッドのノズルやインク供給口を形成する過程で、裏面に異なるパターンの樹脂層を２層作製し、ウエハの反りを防止して、基板上部にあるメンブレンの割れを防止する。最終的には２層ある裏面の樹脂層のうち１層は途中工程で除去し、インジェクト記録ヘッド用基板としては裏面の樹脂層が１層になる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドの吐出効率を向上させる。
【解決手段】液体を吐出するノズルに連通する圧力室と、前記圧力室の一壁面を構成する振動板と、前記振動板を挟んで前記圧力室に対向する位置に配置され、一端が前記振動板に接続された筒状の圧電素子と、前記圧電素子を挟んで前記振動板に対向する位置に配置された共通液室と、前記圧電素子の内周側に形成され、一端が前記振動板を介して前記圧力室に連通し、他端が前記共通液室に連通する液体流路と、を備え、液体吐出時、前記液体流路の少なくとも一部が狭くなることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】被覆樹脂層を平坦に形成し、且つ、ゴミやインクカスの発生が少なく、コスト、歩留まりを上げることなく信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】発熱抵抗体が形成された基板の基板面に対して、垂直方向にインク吐出口よりインク液滴が吐出されるインクジェット記録ヘッドの基板上に、溶解可能な樹脂層により前記吐出口に連通するインク流路を形成するための型材とともに前記型材の周辺の少なくとも一部と所定間隔を開けた前記基板上の位置に土台を形成し、前記型材と土台となるパターン上に平坦な樹脂層を形成した後に、前記型材と土台を構成した溶解可能な樹脂層を全て除去して成るインクジェット記録ヘッドとして、土台となった前記溶解可能な樹脂層を除去するための前記被覆樹脂層に設けられた開口部が、前記吐出口と異なる面に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高アルカリインクを用いた場合や極小オリフィスを作製した場合においても長時間安定した吐出が可能であるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層にインク流路壁となる被覆樹脂層を形成する工程と、インク吐出圧力発生素子上方にインク吐出口をフォトリソグラフィーにて形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を溶出し、インク流路を形成する工程と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記インク流路壁となる被覆樹脂層が有機フィラーを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高精細なインク流路を備えたインクジェット記録ヘッドを、歩留りよく製造する方法を提供する。
【解決手段】 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、液体を吐出するための吐出口と、該吐出口へ液体を供給するための流路と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法において、ネガ型感光性樹脂が流路形成用遮光膜パターンを介して複数積層されたネガ型感光性樹脂の積層物を、前記エネルギー発生素子が形成された基板上に形成する工程と、 該積層物に吐出口マスクを介して露光，現像することにより、前記吐出口と前記流路とを形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 吐出安定性、形状安定性、耐アルカリ性に優れた液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出エネルギー発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂にて液流路パターンを形成する工程と、活性エネルギー線の照射により選択的に硬化させることが可能な被覆樹脂層を前記溶解可能な樹脂層上に形成する工程と、被覆樹脂層に液体吐出口を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂を除去する工程と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、前記被覆樹脂が少なくとも、
（１）１分子中に少なくとも２つ以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂と
（２）光塩基発生剤と
（３）塩基の作用により分解して塩基を発生する塩基増殖剤と
を含む樹脂組成物であることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）