【課題】インクチャンバーの開口部の幅が同一チップ内で異なるインクジェット記録ヘッドにおいて、インクチャンバーの高さのばらつきを抑える。
【解決手段】記録ヘッドは、インク供給口３を備えた基板２と、流路壁１０とインクチャンバー１２ａ，１２ｂとを有する流路構成部材８と、複数の櫛状部１５ａを備えた密着層１５とを有している。インクチャンバー１２ａ，１２の開口部１３ａ，１３ｂの、インク供給口３の延びる方向１６における幅は、少なくとも一部のインクチャンバー１２ａ，１２ｂ同士で互いに異なり、櫛状部同士１５ａの空隙部の、インク供給口の延びる方向１６における幅は略同一である。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッド流抵抗を低減させるために、断面積をより大きくする新規な方法を提供する。
【解決手段】液体の供給口・吐出口と、該吐出口に連通する液流路と、該液流路の一部に設けられた、前記液体を吐出するための圧力を発生する吐出圧力発生部とを有し、前記供給口が、前記吐出圧力発生部を構成する吐出圧力発生素子が形成された基板に貫通口として形成され、吐出圧力発生素子が形成された面(表側の面)の上部に形成される第一の流路と、前記吐出圧力発生素子面よりも下部に掘り込まれた部分に形成される第二の液流路とが存在し、それぞれが、前記面の、前記供給口が開口する部分の側から、前記吐出圧力発生素子が形成された部分へと流路毎に延びている部分を有し、前記第一の液流路の最小幅よりも前記第二の液流路の最大幅が広いことを特徴とするインクジェット記録ヘッド用基体。 （もっと読む）

【課題】半導体基板に貫通穴を開けることなく犠牲層を溶出できるようにするとともに、被覆層に割れや剥がれ等の不良が発生しないようにすることで、歩留まりが良く、安価な液体吐出ヘッドとする。
【解決手段】半導体基板１１上に、一方向に配列された複数の発熱素子１２と、半導体基板１１上に形成され、各発熱素子１２の配列方向と直交する方向に伸びる個別流路１８と、各発熱素子１２と対向する複数の吐出口１５が配列されるとともに、個別流路１８を覆う被覆層１４とを備え、発熱素子１２により、個別流路１８に供給されたインクを吐出口１５から吐出するプリンタヘッド１０であって、各吐出口１５と個別流路１８を隔てた反対側の被覆層１４に、個別流路１８に向かって引っ込んだ形状の凹部１４ａを形成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドの製造方法、インクジェットプリントヘッドおよびインクジェットプリントヘッドの中間体を提供する。
【解決手段】本発明によれば、基板上にインクを加熱するヒーターおよび電極を形成する工程と、ヒーターと電極とが形成された基板上に、インク流路を囲む流路形成層を形成する工程と、流路形成層が形成されている基板上に、上面が平坦な犠牲層を形成する工程と、流路形成層と犠牲層上に架橋ポリマーフォトレジスト組成物を塗布した後パターニングして、ノズルを有するノズル層を形成する工程と、基板の背面から基板を貫通するようにエッチングしてインク供給口を形成する工程と、犠牲層を除去する工程とを含む、インクジェットプリントヘッドの製造方法、インクジェットプリントヘッドおよびインクジェットプリントヘッドの中間体が提供される。 （もっと読む）

【課題】 ＣＲ製法において、ノズル材の硬化収縮によるウエハおよびチップの反りを低減するためのインクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッドの提供。
【解決手段】 硬化収縮が発生するＰＥＢ工程時にウエハを逆方向へ反らせて固定することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】半導体基板に液体供給用の貫通穴を有しない液体吐出用のチップ素子及びチップ素子を搭載した液滴吐出ヘッドを形成する。
【解決手段】液室内の液体を加熱して液滴を吐出する方式の液滴吐出ヘッドを、（ａ）基体に形成された液体の共通流路と、（ｂ）共通流路と接する側面端部から液室の配置方向へ、駆動素子領域、発熱素子領域、制御回路領域を順に配置したチップ素子と、（ｃ）基体上面に露出した共通流路の開口を、チップ素子の一部表面と一体的に封止する封止部材とで実現する。 （もっと読む）

【課題】 基体が液体に侵食されることを抑え、また長期間使用した場合であっても吐出口形成部材が液体を吸収して著しい変形を生じることを防ぎ、液滴の吐出動作の信頼性を向上する。
【解決手段】 複数のヒータ１６が形成された基板１１と、ヒータ１６に対応して形成されインク滴を吐出する複数の吐出口１７と、各吐出口１７に連通して形成されその内壁面にヒータ１６が設けられた液流路１３と、基板１１を貫通して形成され液流路１３に連通された供給口１４とを備える。そして、供給口１４の全ての内壁面と、液流路１３の内壁面の一部分とが同一の保護層１５で覆われている。 （もっと読む）

【課題】カラープリントにおける混色や吐出不良を防ぐ。
【解決手段】記録素子基板の吐出口面で、イアン、イエロー、マゼンタのインクを吐出する吐出口群１００ａ、１００ｂ、１００ｃの間に、吐出口群と並列に複数の溝２００（各吐出口群を囲む環状の溝２００ａと直線状の溝２００ｂ）を設けて、隣接する吐出口群を用いた２次色印字の場合に発生するミストを、各溝２００によって記録素子基板の外周部へ排除する。各溝２００の断面は、吐出口面への開口端を形成する上部が下部より狭くなっており、ミストを確実に捕捉できる。 （もっと読む）

【課題】強度が高く工程が簡単で設備投資の少ないサイドシューター型インクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】１．インク供給口５ａ内に基板面より流路高さ分だけ低い梁を有する。２．流路型材をドライフィルムにした樹脂６で形成し張りの部分で保持する。３．インク供給口５ａは研作加工で形成し、裏面側はほとんどつながっている。４．被履樹脂７を塗布、パターニングする。５．酸素プラズマエッチングで吐出口８を形成する。６．樹脂６を除去し流路を形成する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの液滴吐出側の寸法精度を向上させる。
【解決手段】液滴を吐出するノズルの形成されたノズルプレートの製造方法であって、透明基板１００上に不透明金属膜１０２をパターニングする不透明金属膜形成工程と、前記不透明金属膜上に感光性樹脂１０４を形成する感光性樹脂形成工程と、前記透明基板側から前記感光性樹脂に対して露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂を現像する現像工程と、前記不透明金属膜上に金属層１１０を形成する金属層形成工程と、少なくとも前記透明基板を前記金属層から分離する分離工程と、を含み、前記ノズルプレートは、少なくとも前記金属層からなり、前記ノズルプレートの液滴吐出側の面は、前記分離工程において前記透明基板を分離した側の面であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 発熱抵抗体性能を最大限発揮させ、かつ高密度化とを兼ね備えたインクジェット記録ヘッド、該ヘッド用基板を提供すること。
【解決手段】 基板上に、絶縁体からなる絶縁膜と、インクを発泡させるために必要な熱を発生する複数の発泡用発熱抵抗体列と、その発泡用発熱抵抗体の加熱を補助する複数の補助加熱用発熱抵抗体列と、インクを吐出する吐出口に連通する複数のインク路列が設けられたインクジェット吐出ヘッド用基板であって、発泡用発熱抵抗体と、絶縁層をはさんでその直下に補助加熱用発熱抵抗体と、さらに絶縁層をはさんでその直下に該発熱抵抗体に電気的に接続する配線が設けられており、かつ、基板の鉛直線上、発泡用発熱抵抗体の領域は、列方向でインク路の壁部より外側に位置し、かつ、補助加熱用発熱抵抗体の領域は列方向でインク路の壁部に重なり合うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 長尺化したインクジェットヘッドにおいても、被覆樹脂の剥離を防止する。
【解決手段】 土台を除去するための被覆樹脂に設けた貫通口の形状を、基板面側を狭く、被覆樹脂層表面側を広くすることにより、剥離の起点を無くす構成とする。 （もっと読む）

【課題】長尺化したインクジェットヘッドにおいて、被覆樹脂の剥離を防止する。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子１が形成された基板２上に信頼性のある液流路を形成するために、液状光カチオン硬化型エポキシ樹脂組成物は、少なくとも脂環式エポキシ樹脂とビスフェノールＡ型エポキシ樹脂とシランカップリング剤と硬化剤とからなる構成とし、その主剤である脂環式エポキシ樹脂に、平均分子量９００〜６００００のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を１０〜４５ｗｔ％混合させることにより、被膜樹脂の応力を緩和させる。 （もっと読む）

【課題】電極部が溶解樹脂層の溶出液に浸食されることなく、溶解樹脂層を完全に溶出することができ、その結果として、流路詰まり等の欠点をなくす。
【解決手段】基板１１上のＰＡＤ電極部３１を含む領域に保護層３２を形成する工程と、基板１１上の発熱素子１２が形成された領域を含む領域に、インク液室をかたちどる溶解樹脂層３４を形成する工程と、溶解樹脂層３４を覆うとともに、ＰＡＤ電極部３１上を開口した領域に、被覆樹脂層３５を形成する工程と、被覆樹脂層３５の発熱素子１２上を開口し、ノズル１８を形成する工程と、溶出液に浸漬し、溶解樹脂層３４を溶出する工程と、溶解樹脂層３４の溶出後に、保護層３２を除去する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】高精度印字記録が可能で、且つ信頼性の高いインクジェット記録ヘッド、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、表面にインク吐出エネルギー発生素子１が形成されたシリコンからなる素子基板２と、インク吐出エネルギー発生素子１の垂直上方に対応する部分にインク吐出口６が形成された薄く平坦な無機基板４を有する。さらに、素子基板１と無機基板４を接着するとともに、インク吐出エネルギー発生素子１を含んでインク吐出口６に連通するインク流路１４を形成する壁となる感光性材料層３とを備えている。無機基板４は感光性材料層３が形成された素子基板１に貼り合わされた後、インク吐出口６が形成される。 （もっと読む）

【課題】吐出特性の向上が可能なインクジェット記録ヘッド形成方法を提供する。
【解決手段】基板上にインク流路パターンを光分解性ポジ型レジスト樹脂で形成する工程と、その上に光カチオン重合開始剤を含有し且つエポキシ樹脂を主成分とするネガ型レジストであるノズル構成樹脂層を塗布、露光、ベークする工程を、それぞれインク流路パターンとインク出口パターンについて１回ずつ行う工程と、各ノズル構成樹脂層における未露光部を一括にて現像する工程と、前記形成した光分解可能な樹脂を除去する工程と、
を少なくとも含むことを特徴とする、インクジェット記録ヘッド製造方法。 （もっと読む）

【課題】高アルカリインクを用いた場合や極小オリフィスを作製した場合においても、インク流路構成部材の吸インクによるオリフィスの変形を生じにくく、長時間安定した吐出が可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、インク吐出口と、該インク吐出口に連通すると共に前記インク吐出圧力発生素子が作用できる位置に該インクを導入可能なインク流路と、を有し、前記基板に接合されたインク流路構成部材により少なくとも前記インク流路が形成されているインクジェットヘッドであって、前記インク流路構成部材を、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物の硬化物で形成する。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィーによりパターンを形成しても、パターン開口部のエッジをシャープな状態に保ちながら、パターンの凹部壁面をテーパー形状とすることが可能なパターン形成方法および前記方法を応用したインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】基体上に、光重合可能な樹脂を含有する被覆樹脂層を形成する工程と、前記被覆樹脂層上に光重合開始剤を含有する溶液を塗布し、該被覆樹脂層の膜厚方向に光重合開始剤濃度の分布を形成する工程と、パターンが描かれたマスクを介して、前記被覆樹脂層上方から光を照射する工程と、光が照射された前記被覆樹脂層を現像処理して、前記パターンを有する被覆樹脂層とする工程と、を有することを特徴とするパターン形成方法とし、この方法をインクジェット記録ヘッドの製造に応用する。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板を含む液体吐出ヘッドを高精度に形成する。
【解決手段】 シリコン基板７に半導体を作り込み、第１の配線層を形成して一部を犠牲層とする。シリコン酸化膜（層間絶縁膜）１３を形成し、発熱抵抗体１４と第２の配線層１５を形成してヒーター３を作る。犠牲層上では第２の配線層１５を除去し発熱抵抗体１４のみを残す。保護用のシリコン窒化膜１６と耐キャビテーション用のタンタル膜１７を形成してパターニングする。この半導体基板１に樹脂基板２を積層し、犠牲層を除去し供給口５を形成する。供給口５内のメンブレン膜のシリコン酸化膜１３をウェットエッチングで除去する。発熱抵抗体１４がエッチングストッパー層となり、シリコン窒化膜１６は損傷しない。メンブレン膜の残りの部分である発熱抵抗体１４とシリコン窒化膜１６をドライエッチングで除去し、樹脂基板２に流路４と吐出口６を形成する。 （もっと読む）

【課題】インク流路壁となる被覆樹脂層を形成する際に、溶解力の強い溶媒を用いてもインク流路パターンの形崩れのおそれがない、高品位のインクジェットヘッドの製造方法、該製造方法で製造されたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子が設けられた基板面上に、光照射により架橋反応が進行し加熱により分解反応が進行する感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を形成し、光照射及び現像処理によってパターニングしてインク流路パターンを形成する。そして、その上にインク流路壁となる被覆樹脂層を形成し、インク吐出口を形成後、インク流路パターンを形成している感光性樹脂層を加熱し、該感光性樹脂層を溶解除去する。 （もっと読む）