【課題】吐出口面の表面粗さを、液室等の液路を形成する金属壁の電鋳処理の工程で制御する。
【解決手段】基板（第１の基板）１上に、下電極４ｃ、圧電体薄膜４ｂ、上電極４ａからなる圧電素子と、振動板４ｄを積層し、パターニングして圧電振動部４を形成し、その上に、液室６等の形状を有する型材を形成する。一方、図示しない第２の基板に撥液層９ａ、導電層９ｂからなる撥液導電層９を積層し、基板１上の型材に当接して固定する。第２の基板上の導電層９ｂに電圧をかけて、電鋳処理によって金属壁８を形成した後、エッチングによって基板１にインク供給口２および空間部３を形成する。金属壁８上に撥液導電層９を残して第２の基板を分離し、型材を溶出することで、液室６や吐出口５を開口させる。 （もっと読む）

【課題】ウェットエッチングによって高精度でチャンバを加工することを課題とする。
【解決手段】圧力室を２段階に分けて形成することで、ガラス基板７２を支持する段部７２Ｂの精度を維持すれば、溝部７２Ａを高精度に形成する必要がない。したがって、低コストのウェットエッチング等により、圧力室を形成できる。また、溝部７２Ａと段部７２Ｂにポリシリコン７６を埋め込んでから、ガラス基板７２を成膜することで、振動板４８を高精度且つ低コストで形成できる。 （もっと読む）

【課題】エッチング保護膜破壊によるパターニング不良の発生を抑制し、安定生産可能なインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】インクを吐出するためのインクジェット記録ヘッドを構成する基板上に形成されたデバイス面をエッチング液から保護するためのエッチング保護膜９を形成する保護膜形成工程と、保護膜形成工程の後に、基板をエッチング液を用いてエッチングするエッチング工程とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記エッチング保護膜９にフィラーを含むエッチング保護膜９を用いる。またこの方法により製造されたインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】超極小液滴のインクを吐出する吐出口を高密度に配列したインクジェット記録ヘッドを、精度よく、低廉に得るインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクを吐出するためのエネルギー発生素子２、及び、該エネルギー発生素子２にインクを供給するための供給口１３を有する基板１と、該基板１上に形成され、インクを吐出するための吐出口１１、及び、該吐出口１１と前記供給口１３とを連通する流路を形成するための流路形成部材とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記基板１上に流路形成部材の一部となる流路の側壁９ａを成形する工程と、流路の側壁９ａ上に、流路形成部材の一部となる層を貼り合わせる工程と、該層に吐出口１１を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】マルチドロップレット印字が可能な記録ヘッドを、１チップ構成にて提供し、高精度印字を可能にする。
【解決手段】ＣＲ製法によるサイドシュータ型インクジェットヘッドにおいて、ノズル構成材料を塗布、露光、ポストベークにて硬化後、現像を行う前に、再度ノズル構成材料を塗布する。次に未硬化部のみ露光、ポストベークを行い一括現像することで、同一チップ内に、異なる発熱抵抗体とインク吐出口面との距離（ＯＨ距離）を持つノズルを作成する。 （もっと読む）

【課題】 ｛１００｝結晶方位のシリコン基板を用い、結晶異方性エッチングによる高精度のインク供給口を有しながら裏面の開口幅が小さく、ヘッドの小型化を図る。
【解決手段】 ｛１００｝結晶面シリコン基板において、基板表面に垂直な断面の形状が互いに逆傾斜の｛１１１｝結晶面２組から成る壁面を有するインク供給口が形成されていることを特徴とするインクを吐出する複数の吐出圧力発生素子を備えるインクジェット記録ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体を備えた基板上に段差流路（テーパー）構造を設けることで吐出効率を向上させる。
【解決手段】発熱抵抗体２を備えた基板上１に第１の溶解可能な樹脂を塗布し少なくとも発熱抵抗体上部に設けるようにパターニングし、その上にノズル流路を形成する為の型材となる第２の溶解可能な樹脂を塗布した後、パターニングし、さらに、インク流路及びインク吐出口７を形成する被覆樹脂５を塗布しパターニングすることによって段差流路（テーパー）形状を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ＣＲ製法において、ノズル材の硬化収縮によるチップ反り・剥がれを防止する。
【解決手段】 ・エポキシ樹脂
・オキセタン樹脂
・スピロオルト樹脂
を含むノズル材を用いる。
エポキシ樹脂の剛性・オキセタン樹脂の反応性・スピロオルト樹脂の体積膨張性が同時に発現する比率を規定する。 （もっと読む）

【課題】 完全に目が詰まることがなく、かつ、目が細かいフィルターを持っていて、高い信頼性を有していながら、流抵抗の増大によるスループットの低下が少ない記録ヘッドを提案すること。
【解決手段】 基板の供給口から各々の吐出圧力発生素子の手前までが掘り込まれている彫込み流路のヘッドであって、彫込みの上に複数の孔またはスリットが開けられたフィルター層が被さっている構成とする。
製造方法としては、フィルター層に開けられた孔またはスリットから等方エッチャントを導入して、基板に彫込みを形成する。 （もっと読む）

【課題】 ＣＲ製法ヘッドにおいて、工程短縮、及び高信頼性ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 ＰＭＭＡ、ＯＤＵＲにて二段流路を形成後、ＯＤＵＲのみ感光する光を照射し潜像を形成し、ＣＲにてインク吐出口形成時、現像工程で先の潜像を同時に除去することで、型材除去性の効率アップ、吐出口下部ひさしレスを達成する。 （もっと読む）

【課題】 低吸水性でありかつ重合反応性に優れ、架橋密度の高い硬化物を与えるエポキシ樹脂組成物の開発。
【解決手段】 ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂（Ａ）に対して、エポキシ樹脂（Ａ）の２倍以上のエポキシ基を有し、かつエポキシ樹脂（Ａ）よりもエポキシ当量の高いエポキシ樹脂（Ｂ）を添加する。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドの小型化、高密度配線の信頼性を向上させる。
【解決手段】 液体を吐出するための圧力を発生する圧電体を有し、前記圧電体に対してノズルに連通する圧力室と反対側に共通液室を配置した液体吐出ヘッドであって、前記共通液室の少なくとも５面の隔壁は、樹脂材料により一体成型され、前記５面の隔壁のうち少なくとも２面における壁面に溝状に形成された配線と、圧力室側の隔壁に前記圧力室と連通する液体の供給流路を有し、前記配線の一方は前記圧電体と接続され、他方は前記共通液室の隔壁の壁面に配置された電子回路と接続されていることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 三次元流路の形状を適正化し、吐出効率の向上がはかられたインクジェット記録ヘッドを、工程を簡略化し効率よく製造する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板上に同一の領域の波長の光に感光する三層のポジ型感光性材料層を設け、中層は光吸収剤を含有させる。上層８の露光時に中層７の紫外線吸収剤により、中層７、下層６の露光を妨げ、上層８を露光した後に、上層の露光に用いた光と同一の領域波長の光を用いて中層７および下層６の露光を行う。 （もっと読む）

【課題】基板とインク流路形成部材の密着性の高い、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】中間層４がインク流路パターンに沿って、流路パターンに対してより微少な凹凸を多数有する鋸歯状５にパターニングされており、前記鋸歯パターンの少なくとも一部がインク流路形成部材８と密着する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 吸水性を低く抑え、体積膨潤を緩和した液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】 液体吐出ヘッドの液流路壁形成部材を特定の構造のエポキシ樹脂と、次に示す化合物（Ａ）とを含有する光カチオン重合性樹脂組成物によって形成する。
（Ａ）：（II）脂環式エポキシ樹脂と、（III）アクリル系樹脂と、（IV）分子内にエポキシ基を２個以上有するエポキシ樹脂の一部をアクリル化した部分アクリル化エポキシ樹脂 （もっと読む）

【課題】 微小化された吐出口を有する液体吐出ヘッドにおいて、流路壁の膨潤、膨張等によって生じる応力を緩和する。
【解決手段】 エネルギー発生素子のエネルギーが液体に作用される部屋１０を構成する壁面に供給路１２の一部を挟んで互いに対向し、エネルギー発生室１０とは独立した中空部９を設ける。 （もっと読む）

【課題】流路型材を溶出させる際に、窪み部側面と窪み部底面が付き合わされた角部に前記流路型材が溜まってしまうということがなく、容易に取り除くことができ、また、供給口形成時のエッチング保護膜の掘り込み角部でのカバレッジ性も良くなり、エッチングガスが掘り込み角部から侵入することも無くなるインクジェット記録ヘッド用基体の提供。
【解決手段】窪み部の側面の延長線と前記窪み部の底面の延長線から成る角度よりも大きい角度で、前記側面と前記底面がつながっていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド用基体。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドにおいて、流路形成および／または吐出口形成の高精度化と、流路壁と基板との接合信頼性の確保との両方を同時に達成する。
【解決手段】基板１上に、感光性樹脂１６と２１によって、インク吐出口１１と、インク供給口１４からインク吐出口１１に連通するインク流路１５とを形成するオリフィス部材が接合されている。感光性樹脂１６は、基板１との密着性に優れた材料であり、基板１と接合した、インク流路１５の側壁となる部分を形成している。感光性樹脂２１は、インク吐出口１１を高精度に形成するのに適した材料であり、インク吐出口１１の形成部を形成している。感光性樹脂１６は感光性樹脂２１に比べてシラン材を多く含有している。 （もっと読む）

【課題】彫り込み流路製法において、型レジストにＰＭＩＰＫを主成分とするポジレジストを用いるこれまでの方法では、基板彫込み部において型レジスト表面が窪んだ形状になってしまうため、この上に塗布したノズル材は、液流路を塞ぐ形状となってしまう。
【解決手段】ＰＭＭＡを主成分とするポジレジストを塗布した後、ＰＭＩＰＫを主成分としたポジレジストを塗布し、基板彫込み部においてノズル材が液週路を塞ぐことを防ぎ、さらに、ＰＭＩＰＫを主成分としたポジレジストの厚みを制御することにより、オリプレ方向へ液流路高さを広げることによって、基板方向ばかりでなく、オリプレ方向へも液流路が拡張されることになり、リフィル速度を高速にすることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】液体流路の設計自由度を向上させることができ、安定的かつ精度高く液体を吐出することができるインクジェットヘッド提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１は、基板上面２４に設けられた、インクの流路を形成する液体流路部３を備えている。液体流路部３は、インクを吐出する吐出口５１を有する吐出部５を備えており、吐出口５１を形成する吐出部５の少なくとも一部は、基板端部２６から突出している。基板端部２６の側に位置する傾斜側面２５は、基板上面２４に対して垂直な方向を基準として吐出口５１から遠ざかる方向に傾斜している。 （もっと読む）