【課題】膜内部の組成均一性が高く良好な強誘電体特性・圧電体特性を有する強誘電体膜を低コストで得ることが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及び製造装置。
【解決手段】供給工程と搬送工程と位置出し工程と成膜工程と焼成工程と冷却工程とを具備し、一連の動作を所定回数実行することにより圧電体層を構成する所定厚さの強誘電体膜を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、成膜工程にて２種類以上の前駆体液をシリコンウェハ５０に滴下して前駆体膜７２を形成する方法であり、複数の前駆体液は単一のノズルから滴下し、複数の前駆体液送液ライン中には複数の前駆体液を任意の比率に混合可能な混合器を備え、成膜回数に応じてシリコンウェハ５０に滴下する前駆体液の混合比を変化させつつ前駆体膜７２を成膜する。その後の焼成工程を含めた一連の動作を所定回数実行して所定厚さの圧電体層を構成する。 （もっと読む）

【課題】リードタイムの短縮化を図りつつ耐久性の高い薄膜を形成することが可能な成膜方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板を加熱しつつ撥液材料を急加熱によって蒸発させ、前記基板に前記撥液材料の粒子が結合するように、前記基板に前記撥液材料の薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記薄膜形成工程と連続して行われ、前記基板に形成された前記薄膜を洗浄する洗浄工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッド間における吐出特性のばらつきを抑制する。
【解決手段】本実施の形態の製造装置１０では、シリコンウェハを一枚ずつ搬送し、各シリコンウェハについて、位置調整部１６による位置調整工程、洗浄部１８による洗浄工程、成膜部２０による成膜工程、第１加熱部２２による第１の加熱工程、第２加熱部２４による第２の加熱工程、及び冷却部２６による冷却工程を、この順に繰り返し実行する。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの振動板の表面のＣｕ、Ｎｉ等の重金属の析出、汚染を減少させ、絶縁破壊や駆動不良の発生を抑え、不良の少ない液体噴射ヘッドの製造方法および画像記録装置を得ること。
【解決手段】振動板１５を備えたキャビティ基板１０を形成するシリコンウェハー１１０の表面に存在するＣｕおよびＮｉの表面濃度が、それぞれ１．０Ｅ１１（ａｔｏｍ／ｃｍ²）以下および１．０Ｅ１０（ａｔｏｍ／ｃｍ²）以下のものを使用するので、振動板１５の表面のＣｕおよびＮｉによって、振動板１５と対向する個別電極３３との間の絶縁破壊や振動板１５と対向する個別電極３３との貼り付きによる駆動不良が減少した液体噴射ヘッドの製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】プライマー膜のはみ出しを効果的に防止でき、しかもアルカリ液に接触しても基材同士が剥離しないアルカリ耐性に優れた基材同士の接合法、接合体、及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】Ｓｉ原子を少なくとも表面の一部に含むシリコン系材料のノズルプレート６０の表面を水素終端化処理する終端化処理工程と、終端化処理後のノズルプレート６０の表面のうち接合領域６０Ａのみにエネルギーを付与しながら、ノズルプレート６０の表面に、不飽和結合を末端に有する有機性のプライマー膜原料を接触させることにより、接合領域６０Ａにのみ選択的にＳｉ−Ｃ結合によるプライマー膜６２を形成するプライマー膜形成工程と、プライマー膜６２を少なくとも介してノズルプレート６０とヘッド本体部５０Ａとを結合する結合工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】高密度に配置された第１接続端子と第２接続端子とを、電気的接続信頼性良く接続する。
【解決手段】インクジェットヘッドを製造するには、まず、フレキシブル層５１の上面のランド５２と対向する部分に凹部５１ｂを形成し、続いて、凹部５１ｂを覆うように可逆性の熱収縮層５６を形成する。次に、フレキシブル層５１の下面にソルダーレジスト層５５を形成し、ソルダーレジスト層５５の貫通孔５５ａから露出したランド５２の表面にハンダ４６を形成する。次に、接続端子４５ａを洗浄処理してから、ＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱することにより、フレキシブル層５１のランド５２と対向する部分を圧電層４２側に隆起させるとともにハンダ４６を接続端子４５ａに接触させ、その後、ヒータＨを離すことにより、フレキシブル層を隆起前の状態に戻してハンダ４６を上方に引き伸ばして鼓状にする。 （もっと読む）

【課題】インク流路の変形が少なく、接合強度の安定性に優れ、容易かつ安価に生産できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】凹溝が形成されたキャビティ板１０と、平板状の振動板２０とを、前記凹溝を覆うように気密に接合してインクジェット記録ヘッドの製造方法において、キャビティ板及び振動板が非結晶性熱可塑性樹脂からなり、前記非結晶性熱可塑性樹脂と相溶性を有する有機溶剤を、少なくとも一方の接合面に塗布し、互いの接合面を重ね合わせてキャビティ板と振動板とを接合し、その接合の際にインク流路内に余剰に流出した有機溶剤を、該有機溶剤と混和性を有し且つ実質的に前記非結晶性熱可塑性樹脂との相溶性が無い液体をインク流路内に通して排出する。 （もっと読む）

【課題】微粒子がめっき膜中に均一に分散されるとともに、ピンホール、ボイド、及びノジュールの発生が抑制される複合めっき膜の形成方法、並びに、ワイピング耐性、耐インク性、及び吐出安定性に優れたインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】高圧流体と、微粒子を含むめっき液とを混合して攪拌した混合流体に、めっきを施すべき被めっき体を接触させて複合めっき膜を形成する。インクジェット記録ヘッドを製造する場合、ノズルプレート１１のインク吐出側とは反対側の面にめっき用保護膜１４を形成し、好ましくは、超臨界二酸化炭素と、撥液性微粒子及び界面活性剤を含むめっき液とを混合して攪拌した混合流体にノズルプレートを接触させてインク吐出側の面に複合めっき膜１６を形成する。めっき後、ノズルプレートからめっき用保護膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】基材の表面粗さが大きく表面に凹凸や段差が存在し、接合させる基材どうしが接する接触面積がわずかな場合でも、接合強度や耐久性を確保することが可能な接合基材を提供する。
【解決手段】接合基材１００は、基材１１０の一面１１４上に接合膜１２０，１３０，１４０が重ねられて３層構造に形成された接合層１５０を有している。それぞれの接合膜１２０，１３０，１４０は、アルキル基を含むポリオルガノシロキサンを主材料とする薄膜にエネルギー線の一例としてのＵＶを照射することによる活性化処理が行われることによって形成される。 （もっと読む）

【課題】簡易な工程で、安定して高い品質を得ることが可能なインクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクを吐出する複数のノズル孔が形成されたノズル基板と、ノズル基板の一方の面に接合され、複数のノズル孔にそれぞれ連通する複数の圧力発生室および該複数の圧力発生室の間を連通させる連通部とが形成されたボディ基板と、を有するインクジェット式記録ヘッドにおいて、ボディ基板およびノズル基板のそれぞれの側面には、それぞれの基板を保持する為の保持部が形成され、２つの基板が所定の位置関係を有して接合された時、それぞれの基板に設けられた前記保持部は、互いに重ならない位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】優れた転落性を有する撥液層の形成方法、及び、ノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】撥液層１１Ｂの形成方法では、水酸基発現工程と、塗布工程と、溶媒洗浄工程と、がこの順に行われ、ノズルプレート基材１１Ａの表面にフッ素系シランカップリング剤からなる撥液層１１Ｂが形成される。水酸基発現工程では、ノズルプレート基材１１Ａの表面に水酸基を発現させる処理が行われる。塗布工程では、ノズルプレート基材１１Ａの表面にフッ素系シランカップリング剤が塗布される。溶媒洗浄工程では、ノズルプレート基材１１Ａを常温に保持したままの状態でフッ素系シランカップリング剤の溶媒でノズルプレート基材１１Ａが洗浄される。 （もっと読む）

【課題】発熱素子などのエネルギ発生素子を形成した基板と、天板とを接合して液路を構成する液体吐出ヘッドにおいて、液路全体の寸法のばらつきを抑え、安定した吐出性能を発揮できる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】上記基板となる部分が形成された第１基体に、エネルギ発生素子の位置とあった第１基準を設ける一方、天板となる部分が形成された第２基体に、液路とつながる共通液室端部の位置とあった第２基準を設け、これらに基づいて第１および第２基体の位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】ベース電極及び圧電素子とＦＰＣとの配線を容易に、且つ良好に行うことができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル孔に連通する圧力室を構成する圧力室溝を有するボディプレート２と、前記圧力室に圧力を発生させる圧電素子３と、前記圧電素子に駆動電力を供給するフレキシブル基板４２と、を備え、前記圧電素子は、該圧電素子が有する一対の対向する電極３ａの一方の電極が前記ボディプレートの前記圧力室溝がある面の反対面に設けられたベース電極４０に結合され、前記ベース電極と前記圧電素子の他方の電極は、それぞれの電極が接続される共通電極４２−ｇと個別電極４２−ｄを有する前記フレキシブル基板と異方導電性フィルム４４を間に挟んで結合されている液体吐出ヘッドにおいて、前記ベース電極と前記共通電極との間には、該ベース電極から順に導電性部材４３と前記異方導電性フィルムがある。 （もっと読む）

【課題】簡略化された方法で歩留まりの高い噴射ヘッドを製造することが可能な噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の噴射ヘッドの製造方法は、第１開口部１３が形成された第１基板１０と、第１開口部１３と連通する第２開口部３１が形成された第２基板３０とを有する噴射ヘッドの製造方法であって、第１基板１０上に貴金属からなる隔離層９４を形成する工程と、隔離層９４を挟んで第１基板１０と第２基板３０とを接着する工程と、第１基板１０及び第２基板３０の隔離層９４を挟んで対向する位置に第１開口部１３及び第２開口部３１を形成する工程と、第１基板１０の表面に原子堆積法を用いて保護膜１５を形成する工程と、第１開口部１３にエッチング材を供給し、第１開口部１３と第２開口部３１との間に配置された隔離層９４を除去する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド表面に厚膜でかつ均一な撥インク膜を形成するインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドのノズル面の表面処理を行う工程と、柔軟性部材上に撥インク材料を塗布する工程と、前記柔軟性部材から前記インクジェットヘッドのノズル面へ撥インク膜を熱転写する工程と、プラズマ照射により前記インクジェットヘッドのノズル面上の不要な前記撥インク膜を除去する工程と、前記柔軟性部材を前記インクジェットヘッドのノズル面から剥離する工程と、前記撥インク膜をベークする工程と、を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】階段状の段差を、ガラス基板に、簡略化したプロセスで、安価に、精度良く形成
するガラス基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】ガラス基材２００をベークし、第１のレジスト膜２１０ａを設け、第１のレ
ジスト膜２１０ａに第１のレジストパターンを形成するとともに第１のアライメントマー
クを形成し、ガラスエッチングして第１段目の溝９ａを形成する第１の工程と、ガラス基
材２００をベークし、第２のレジスト膜２１０ｂを設け、第１のアライメントマークにあ
わせて、第２のレジストパターンを形成し、ガラスエッチングして第１段目の溝９ａより
も長手方向に大きい第２段目の溝９ｂを形成する第２の工程と、前記第１の工程から第２
の工程を順次繰り返して、ガラス基材２００に第２段目の溝９ｂから第ｎ段目までの溝を
形成する第３の工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ヘッドチップと配線基板との位置決めが容易で位置精度が高いインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】圧電素子からなる駆動壁１１とチャネル１２とが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネル１２の出口と入口とが配置され、前記チャネル１２内面に形成された駆動電極と電気的に接続する接続電極が後面に形成されてなるヘッドチップ１と、前記ヘッドチップ１の後面に接合され、前記接続電極と電気的に接続される配線電極３３が配列されてなる配線基板３とを有するインクジェットヘッドにおいて、前記配線基板３の表面に、該配線基板３に接合された前記ヘッドチップ１の側壁面１Ａの少なくとも一部に当接するように、樹脂の突起３６ａ、３６ｂ、３６ｃが形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板上のＩＴＯ配線の厚さを、対向するシリコン基板表面の絶縁膜より厚くでき、しかもＩＴＯ配線とシリコン基板との等電位接合を精度良く行う。
【解決手段】シリコン基板１の内側部分にＳiＯ₂層４１を形成し、シリコン基板１のＳiＯ₂層４１が形成された側の表面に絶縁膜１１を形成し、シリコン基板１の絶縁膜側のガラス基板等電位接点凸部２４に対応する表面部分をＳiＯ₂層４１が現れるまでエッチングしてシリコン基板等電位接点凹部２４Ａを形成する工程と、この等電位接点凹部２４Ａの底部の一部をエッチングしてシリコン基板１を露出させる工程と、シリコン基板１とガラス基板２とを、等電位接点凹部２４Ａと等電位接点凸部２４とを密着させ、等電位接点凹部２４Ａのシリコン基板露出部と等電位接点凸部２４とを電気的に導通可能な隙間状態として陽極接合する。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット構成部材の基体の接着強度、接着耐久性を確保しつつも、接着剤の流路内への流れ込みを減少させるインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【解決手段】 陽極化成処理によってＳｉ単結晶の接着表面を一定度合いに荒らすことで、接着強度、接着耐久性を向上させる。また高さ方向に段差をつける構成を用いて、接着剤の流路内への流れ込みを減少させる。その高低差は、非陽極化成処理部にマスク材を配置することで、陽極化成処理と同時に精度よく形成できる。 （もっと読む）

【課題】樹脂層を金属部材に接着剤を介することなく接合した振動板部材にあって、振動板領域を形成する樹脂層単層部分で皺が発生して、ノズル間での滴吐出特性にバラツキが生じることを防止する。
【解決手段】振動板部材２は、ＳＵＳ基板などの金属部材に、この金属部材の熱膨張係数よりも大きな線膨張係数を有する樹脂、例えば金属部材の熱膨張係数よりも大きな線膨張係数に調製したポリイミド前駆体を直接塗布（塗工）し、この塗工膜を加熱してイミド化して固化させることで、金属部材上に直接接着剤を介することなく樹脂層を接合形成して、振動板領域２Ａを樹脂層の単層構成とした。 （もっと読む）