【課題】本発明は、オリフィス面の平坦性とオリフィスプレートの強度に優れる液体吐出ヘッドを製造する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、（１）液体流路の型パターンと、該型パターンを囲む土台パターンと、を溶解可能な樹脂を用いて前記基板の上に形成する工程と、（２）前記型パターン及び前記土台パターンを覆うように被覆樹脂を配置する工程と、（３）前記被覆樹脂に少なくとも吐出口を形成し、オリフィスプレートを形成する工程と、（４）前記型パターン及び前記土台パターンを除去する工程と、を有し、前記土台パターンは、前記オリフィスプレートが、前記液体流路の側壁を構成する側壁部と、前記側壁部の周囲領域の前記基板上に配置されかつ前記オリフィスプレートの上壁を構成する上面部を支える複数の支持構造と、を有するように形成される形状である液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 吐出口面の平坦性の向上と、基板上の電気回路部の保護を両立した液体吐出ヘッドを製造すること。
【解決手段】 第１の層を有する基板を用意する工程と、前記第１の層から、流路を形成するための流路の型と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材とを形成する工程と、前記間隙を充填し、かつ前記型と前記型の外側に間隙を介して位置する部材と被覆するように、第２の層を設ける工程と、前記第２の層から、吐出口を形成するための吐出口形成部材を形成する工程と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材を除去する工程と、前記吐出口形成部材の外側に少なくとも一部は間隙を介して位置する壁部材を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】インク吐出ヘッドのノズル孔部の硬化を防止し、ノズル孔の精度を向上させる。
【解決手段】基板２０１上のエネルギー発生素子２０２周囲位置の流路壁２０３の端面を覆いつつ、流路壁２０３により区画される空間では流路壁２０３の端面よりも低い領域を有する第一の犠牲層２０４を形成し、第一の犠牲層２０４の表面に紫外線を吸収可能な第二の犠牲層２０５を形成し、流路壁２０３の端面よりも低い領域がないよう、第二の犠牲層２０５の表面に第三の犠牲層２０６を形成し、少なくとも第二の犠牲層２０５を残存させつつ、犠牲層を流路壁２０３の端面が露出するまで除去し、形成されたノズル形成層２０７上にノズル孔１１０に相当するマスク部２０８ａが形成されたフォトマスク２０８を形成し、紫外線２０９を照射しノズル形成層２０７を硬化させ、溶解液に浸漬させて、ノズル孔部２０７ａおよび犠牲層を除去する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを薄型化しても、インクを良好に吐出できるようにする。
【解決手段】ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備する。 （もっと読む）

【課題】使用中に親水化層が剥れにくく、液体の充填及び抱き込み泡の取り除きが容易な液体吐出ヘッド、並びにこのヘッドの製造方法でありノズル毎に吐出特性にばらつきが小さく、薄く均一な親水化層を形成できる液体吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出する液体吐出口、および該液体吐出口に連通する液体流路を有するノズル層を有する液体吐出ヘッドであって、該ノズル層は２層で構成され、該２層のうちの液体流路側の層である第１層は、酸により成膜する樹脂を含む樹脂組成物の硬化物であって、かつ、もう一方の層である第２層と比較して水の静的接触角が小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド、及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】高速でのノズルへのインクの再充填が可能な記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録装置用の記録ヘッド１０は、第１の基板１と第２の基板２とを有する。第１の基板１は、インクを吐出するためのエネルギー発生素子３と、第１の基板１を貫通するインク供給口６とを有する。第２の基板２は、インクの吐出口４を有する複数のノズルと溝とを有する。そして、第２の基板２の溝と第１の基板１とでノズルとインク供給口６とをつなぐインク流路５が形成されている。第１の基板１の上に第２の基板２が配置されており、第２の基板２には、記録ヘッド１０の表面側の一方の面と、第１の基板１の方向を向いた他方の面のそれぞれに凹部７、８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板からの反射による露光パターンへの影響を抑制し、吐出口パターンを安定的に形成できる、印字品位の優れた液体吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】明細書中に定義される構造を有する液体吐出ヘッドの製造方法であり、１）エネルギー発生素子２が設けられた基板１上に工程６において溶解可能な樹脂からなる液体流路型４を形成する工程と、２）液体流路型４を工程４の露光波長に対する屈折率がｎの感光性樹脂層５ａで被覆する工程と、３）感光性樹脂層５ａの上に工程４の露光波長に対する屈折率が√ｎ−０．２以上√ｎ＋０．２以下の反射防止膜８を形成する工程と、４）感光性樹脂層５ａ及び反射防止膜８を露光及び現像して、吐出口７を形成する工程と、５）基板１に液体供給口９を形成する工程と、６）液体流路型４を溶解して液体供給口９から除去する工程とを含む液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】記録開始時の吐出安定性およびサテライト・ミスト低減を両立する記録ヘッド。
【解決手段】エネルギー発生素子と、エネルギー発生素子からエネルギーを付与する液体を収容するための室と、室から外部に液体を吐出するための吐出口とを備え、エネルギー発生素子から室内の液体にエネルギーを付与することで、吐出口から液体を吐出する記録ヘッドであって、吐出口は、液体を吐出する方向と直交する断面において吐出口の内側に凸となり、液体を吐出する方向に関してテーパ角度Θ１を有し、吐出口から液体が吐出される際にそれらの間に液体のメニスカスを形成することができる、少なくとも２つの突起と、少なくとも２つの突起とは異なる吐出口の部分であり、液体を吐出する方向に関してテーパ角度Θ２を有する外縁部と、を有し、テーパ角度Θ１およびΘ２は、式０°≦Θ１≦１０°およびΘ２＞Θ１を満たす記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】振動特性に優れた液滴吐出ヘッド用振動板、かかる液滴吐出ヘッド用振動板を効率よく製造可能な液滴吐出ヘッド用振動板の製造方法、インクの吐出特性に優れた液滴吐出ヘッド、および信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持部４０で構成される振動板３５と、圧電素子５０とを有し、支持部４０が光硬化性樹脂で構成されていることを特徴とする。また、支持部４０は、未硬化の光硬化性樹脂を振動フィルム３０の一方の面上に塗布して塗布膜を得た後、前記塗布膜の一部を露光し、硬化させて得られたものであるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】下部電極と、上部電極の接続配線との電気的短絡を防止して、実装に適した電子部品を提供する。
【解決手段】基板１１に対して、下部電極１２と同一面２１上に仮マスク４を設け、基板１１の他の面２２から光を照射することで、第１面２１上のフォトレジスト３３を露光する。未露光のフォトレジスト３３を除去すると、下部電極１２及び仮マスク４が露出するように配置されたレジスト層３３を有するレジストパターンが形成される。このレジストパターンを用いて、焼成により絶縁性のセラミック層１３となる前駆体層１６を形成し、その後の熱処理で仮マスク４をセラミック層１３及び／又は基板１１に吸収させることで、下部電極１２よりもセラミック層１３をオーバーハングさせることができる。これによって、下部電極１２と接続配線１５との間の短絡が防止される。 （もっと読む）

【課題】外部マニホールドを有する高密度インクジェットプリントヘッドアッセンブリの高精度かつより単純化された製造方法の提供。
【解決手段】隣接する圧電素子２０間の空間を満たしかつダイヤフラム３６に接触するように感光性の侵入型層５０を計量分配することと、隣接する圧電素子２０間の空間内の感光性侵入型層５０の第１の部分を除去し、かつ感光性侵入型層５０の第２の部分を隣接する圧電素子２０間の空間内に残すことと、隣接する圧電素子２０間の空間に感光性侵入型層５０の第２の部分が存在する状態で、各圧電素子２０と各圧電素子２０へ付着される電極１１４との間に電気経路を形成するために複数の圧電素子２０を複数の電極１１４へ付着することを含む方法。 （もっと読む）

【課題】液体中のゴミや異物を捕集した際のフィルターの目詰まりを防止し、ゴミ捕集後も液体流量の低下がなく安定した液体吐出が可能な液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出するための複数の吐出口、及び各吐出口に連通する液体流路を有する被覆樹脂層と、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、及び該液体流路に連通する液体供給口を有する基板とを含むノズルチップを備える液体吐出ヘッドであり、該液体供給口と該液体流路との間にフィルター層が形成されており、該フィルター層が、液体流量を確保するための吐出口径以下の開口径を有する貫通孔と、液体中のゴミを捕獲するための先端を液体供給口側にして該貫通孔よりも液体供給口側に配置される先細状構造体からなるゴミ捕集用突起体とを有するノズルチップを備えた液体吐出ヘッド。およびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】リフィル速度の高速化、液滴の吐出量の安定化を図り、液滴の吐出効率を向上することができるインクジェット記録ヘッドとその製造方法を提供する。
【解決手段】サイドシューター型インクジェット記録ヘッドにおいて、一つの発泡室１２に対してインク供給口９から第１のインク流路１２と第２のインク流路１４が夫々独立して設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流抵抗が緩和された吐出口が設けられ、かつ十分な強度を有する吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まりよく製造することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、液体を吐出する吐出口が配列方向に沿って複数設けられた吐出口部材を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、光硬化性樹脂を含有する樹脂層が設けられた基板を用意する工程と、前記樹脂層を露光する露光処理である、第１の露光処理及び第２の露光処理を行う露光工程と、前記第１の露光処理及び第２の露光処理を行った樹脂層から前記吐出口を形成する工程と、を有し、前記第１の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角と、前記第２の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角とが異なることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】複数の吐出口の形状がそろったインクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】隣接するヒータ４００の間に、それらのヒータ４００に共通に接続される共通配線４０１、またはヒータ４００の通電に関与しないダミー配線４０３のいずれかを形成する。この共通配線とダミー配線は同じ幅に形成され、さらに、共通配線とヒータの間隔とダミー配線とヒータは同じ間隔に形成される。これにより、隣接するヒータの間の部分から流路形成部材１１１を露光硬化するための入射光が左右対称となり、吐出口１００の形状および大きさをそろえて形成することができる。 （もっと読む）

【課題】供給口を効果的に洗浄可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、供給口２０が形成された基板１１と、複数の吐出口１１が形成されたオリフィス部３１と、が対向配置されている。インクジェット記録ヘッド１では、供給口２０から供給されたインクが基板１１とオリフィス部３１との間の流路３４を通って吐出口３３から吐出される。供給口３３は、基板１１の流路３４側の面に垂直な壁面を有する。インクジェット記録ヘッド１は、供給口は、前記基板の前記流路側の面に垂直な壁面を有し、オリフィス部３１の、供給口２０に対向する位置から、流路３４内に突出した柱状部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度な流路形状を形成可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及びそれにより得られるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子を有する基板と、インクを吐出する吐出口と、前記吐出口と連通するインクの流路を形成する流路形成部材と、を有するインクジェット記録ヘッドを、前記基板上に、ポジ型感光性樹脂にて前記流路のパターンを設ける工程；前記基板上に、前記パターンを被覆するように前記流路形成部材となるネガ型感光性樹脂の被覆樹脂層を設ける工程；３００ｎｍ以上の波長の光のみで前記被覆樹脂層を露光して、前記吐出口を形成する工程；および前記パターンを除去して前記流路を形成する工程；を有する方法で製造する。ただし、前記パターンは、３００ｎｍより短い波長の光には感度を有し、前記被覆樹脂層を露光するために用いられる光に対しては、感度をもたない。 （もっと読む）

【課題】 高精度に形成された流路を有する液体吐出ヘッドを歩留まりよく得ることができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 流路となる領域１１ａを囲むように流路壁部材となるための固体部材６が設けられた基板を提供する工程と、金属あるいはその化合物からなる型７を領域１１ａ内に形成する工程と、固体部材６と型７とを被覆するように、樹脂からなる被覆層８を設ける工程と、型７を除去して流路１１を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 流路壁部材の強度を維持し、複数の吐出口の長さの均一化を図ること。
【解決手段】 第１の層が平坦に設けられている基板を用意するＡ工程と、前記流路を形成するための前記流路の型と、前記型の外側に前記型と間隙を介して設けられた部材（Ａ）と、を前記第１の層から形成するＢ工程と、前記間隙を充填し前記型と前記部材（Ａ）とを被覆するように、第２の層を設けるＣ工程と、前記吐出口を形成するための部材（Ｂ）を前記型の上に前記第２の層から形成するＤ工程と、前記部材（Ａ）を除去するＥ工程と、前記部材（Ｂ）に密接するように、少なくとも前記基板に第３の層を設けるＦ工程と、前記型を除去して前記流路を形成するＧ工程と、をこの順に有する液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 吐出液滴量のバラツキがより一層低減され、かつ吐出口に連通する流路が高精度に形成された信頼性の高い液体吐出ヘッドの製造を歩留まりよく行う。
【解決手段】 流路の型が設けられた基板を用意するＡ工程と、流路壁部材となる第１の層を、流路の型を被覆するように設けるＢ工程と、第１の層の流路の側壁となる部分を硬化させるＣ工程と、第２の層を、第１の層の硬化させた部分と流路の型とを被覆するように設けるＤ工程と、第２の層を基板側に押圧することで、第２の層を平坦化するＥ工程と、第１の層及び第２の層に吐出口を設けるＦ工程と、流路の型を除去して流路を形成するＧ工程と、をこの順に有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）