【課題】 耐久性に優れ、さらに、駆動効率がより向上した圧電アクチュエータを備えた液体移送装置、及び、このような液体移送装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 圧力室１４の径方向の長さをＷ、駆動電圧が印加される個別電極３２の、圧力室１４の縁部の径方向一方側部分と重なる領域に形成される部分の径方向の長さをＡとしたときに、個別電極３２の径方向長さＡは、Ａ／（Ｗ／２）の値と、個別電極３２に駆動電圧が印加されたときの振動板３０の変形量との関係に基づいて、振動板３０の変形量が大きくなるように決定されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子３００から引き出される第１のリード電極９０と、第１のリード電極９０から引き出される第２のリード電極９１とを有すると共に、圧電素子３００を構成する各層、第１のリード電極９０及び第２のリード電極９１のパターン領域に無機絶縁材料からなる絶縁膜１００が連続的に設けられて少なくとも圧電素子３００及び第１のリード電極９０が第１のリード電極９０の先端部に設けられる端子部９０ａを除いて絶縁膜１００によって覆われ、且つ第２のリード電極９１が絶縁膜１００上に延設されて端子部９０ａで第１のリード電極９０に接続されると共に第２のリード電極９１の先端部側に接続配線１３０が接続される接続部９１ａを有するようにする。 （もっと読む）

【課題】 位置決め操作が必要な光学的測定装置において、位置決めする対象の周囲がいかなる形状であっても測定位置を正確に決めることができ、画像を取得する装置等を必要とせず空間的な制約のある場所においても適用可能な光学的測定装置および位置決め方法を提供する。
【解決手段】 ニードル様の形状の作用部と、精密移動手段を備えた作用部を備える。精密移動手段により、適当な基準点から目標位置まで作用部を移動し、位置決め対象を作用部の先端に接触させて位置決めを行う。作用部の形状をニードル様のものとすれば、測定対象付近の形状によらず位置決めが可能である。
測定に使用する光学系を位置決めに利用する。作用部の先端がレーザの触れると光検出器の出力が変化し、作用部の先端がレーザに触れたことが検出できるため、画像を取得する装置等の付加なしに位置決め手段を構成することができる。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板を実装するフレキシブルフィルム配線基板のインナーリードによる接合不良等を回避する。
【解決手段】記録素子基板１ａ、１ｂを実装するフレキシブルフィルム配線基板である電気配線テープ２０のデバイスホール２２内には、ベースフィルム２１上の配線の一端部であるインナーリード２３が突出している。記録素子基板１ａ、１ｂの電極パッド２を各インナーリード２３にシングルポイントボンディング方式等によって接続する工程において、ベースフィルム２１が加熱されて熱膨張し、各インナーリード２３が曲がった状態で接続されるのを防ぐため、熱膨張によるベースフィルム２１の変形を分散緩和するハーフカット状の切り込み２４をインナーリード列の周囲に設ける。 （もっと読む）

【課題】 高品位の画像を高速で印刷できる、安価なインクジェット記録ヘッドを提供する事である。
【解決手段】 記録液吐出時に際し、記録素子基板の蓄熱，放熱を均一化させるために、チッププレートに開口部を設ける。
上記構成のより、印字品位を向上さるだけでなく、チッププレートの成型性向上と、ヘッドの軽量化を図る。 （もっと読む）

【課題】 膜質を向上させ、射出性能を安定させるインクジェットヘッドの電極形成方法を提供する。
【解決手段】 真空槽１０１内に設置した圧電体からなる基材１０３に対して、真空槽１０１内において薄膜材料を加熱、蒸発させ、基材１０３の表面に前記薄膜材料からなる薄膜を蒸着させる蒸着工程と、基材１０３の表面にイオンを照射するイオン照射工程とにより基材１０３の表面に前記薄膜材料からなる取り出し電極５１を形成するインクジェットヘッドの電極形成方法であって、基材１０３の表面に前記薄膜材料を形成する際の接着エネルギーを供給するために、前記イオン照射工程を開始した後に、そのイオン照射工程中に前記蒸着工程を行う。 （もっと読む）

【課題】 封止材を用いて基板切断面を確実に封止する際に、封止材が溢れて被覆樹脂最表面に流れ込むのを防止することを目的とする。
【解決手段】 吐出口列に並列する少なくとも１面が開放された溝（封止材誘導溝）を、エネルギー発生素子を有する基板面上に形成することにより、電気接続部や該基板側面を封止する際に、封止材が被覆樹脂最表面に流れ込むのを防止するとともに、封止材６による吐出口３部への詰まりを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力発生室形成用の溝状窪部の内面を平滑に仕上げることのできる液体噴射ヘッドの製造装置および製造方法ならびに液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】少なくとも所定ピッチで平行に配列された突条部５３ｃおよび各突条部５３ｃの間に形成された空隙部５３ｂが設けられ、突条部５３ｃを金属素材板５５に押込んで溝状窪部３３を形成する第１金型５１ａと、第１金型５１ａが押込まれる金属素材板５５を支持する第２金型５２ａとを含んで構成され、突条部５３ｃには、溝状窪部３３の深さ方向の内壁２８ｃを形成する内壁形成部５３ｄと、この内壁形成部５３ｄに連なって溝状窪部３３の底部３３ａを略Ｖ字状に窪ませて形成する傾斜面部５３ｅが設けられると共に、内壁形成部５３ｄと傾斜面部５３ｅとを接続する接続面部５３ｇが設けられている。接続面部５３ｇにより滑らかな連続面３３ｃが溝状窪部３３の内面に形成される。 （もっと読む）

【課題】 圧電特性の向上を図ることのできる圧電アクチュエータ、およびその製造方法を提供することにある。
【解決手段】アニール処理を、第１のアニール処理と、この第１のアニール処理よりも低温・長時間で行う第２のアニール工程との２段階で行う。このようにすれば、高温・短時間で行われる第１のアニール処理によって拡散層３Ａの成長を最小限度としつつグレイン成長を十分に行わせ、さらに、低温・長時間で行われう第２のアニール処理により、拡散を抑制しつつ粒子中の格子欠陥の修正を十分に行うことができる。これにより、拡散層３Ａの厚さを圧電特性に影響を与えない範囲に止めつつ、充分にアニール処理を行って圧電特性の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の湿気等の外部環境に起因する破壊を長期に亘って防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 流路形成基板の一方面に振動板を介して少なくとも圧電素子を形成する工程と、流路形成基板と圧電素子を保護するための空間である圧電素子保持部を有する保護基板とを接着剤を介して貼り合わせる工程と、流路形成基板と保護基板とを貼り合わせた未硬化の接着剤中に混在する気泡を減圧下で脱泡させる工程と、脱泡させた接着剤を硬化させて流路形成基板と保護基板とを接着固定する工程と、連通孔を封止して圧電素子保持部を密封する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子を焼成したときに発生するうねりによって、振動板に加圧して接合する際に、圧電素子のうねりの部分に応力が部分的に集中して過大になるのを防止することを目的とする。
【解決手段】 焼成後の圧電プレート７８のうねりを矯正した後に、圧電プレート７８から圧電素子５８を切り出して振動板３４に接合する。すなわち、圧電プレート７８のうねりを矯正することで、圧電プレート７８の見掛け上の曲率が大きくなる。このため、圧電プレート７８から切り出した圧電素子５８を加圧して振動板３４に接合しても、圧電素子５８にかかる応力が部分的に集中して過大になることがないので、圧電素子５８に割れやクラックが生じることがない。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットヘッドのインク吐出量の均一化を容易に実現し、効率良くインクジェットヘッドを製造することである。
【解決手段】 複数のノズル４毎に吐出力発生部材である圧電部材８，９の電気特性である静電容量を測定し、測定した複数のノズル４毎の圧電部材８，９の静電容量に応じて複数のノズル４のノズル容積を変え、複数のノズル４からそれぞれ吐出するインクの各インク吐出量が所定のインク吐出量になるように複数のノズル４を形成するようにした。これにより、短い製造工程でインク吐出量が精度良く均一に調整されるので、インクジェットヘッド１のインク吐出量の均一化を容易に実現し、効率良くインクジェットヘッド１を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】空間の使用を改良したプリントヘッドを提供する。
【解決手段】プリントヘッドモジュールは、印刷するページ幅の少なくとも一部分に沿って延在するプリントノズルの第１および第２の列を少なくとも備え、各ノズルは第１のタイプの第１の回路および第２のタイプの第２の回路を、平面図において第１および第２の回路は概ねノズルの両端に配置されるように、含んでおり、該ノズルは、第１の列の各ノズルの第１および第２の回路の各位置が、第２の列の対応するノズルの第１および第２の回路の各位置に対してミラー反転される又は回転されているように配向される。 （もっと読む）

【課題】 外部配線部材の接続信頼性を向上させる。
【解決手段】 液体を押圧する圧力発生素子７１が設けられた第１の基板５２と、圧力発生素子７１を駆動制御する制御回路が設けられた第２の基板５３と、第１の基板５２と第２の基板５３とを電気的に接続する外部配線部材５４と、液体が吐出されるノズル５５ｂと外部配線部材５４と第１の基板５２との接続部分を外部に臨ませる窓部５５ｃとが形成されたノズルシート５５とを備え、窓部５５ｃは、樹脂材料により封止され、この樹脂材料によって形成された封止部５６は、ショアＤ硬度が５５以上となるように樹脂材料を硬化させる。 （もっと読む）

【課題】 製造工程を簡略化でき、コストを低減できるとともに動作の安定化を図ることのできる圧電アクチュエータおよびインクジェットヘッド、並びにそれらの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 拡散防止層を兼ねる下部電極３を振動板２と圧電層４との間に設ける。このような構成によれば、電極と拡散防止層とを兼ねる層を一の工程で作成することができるから、製造工程の簡略化およびコストの削減を図ることができる。また、従来のように電極層と拡散防止層とを二層構造とした場合と比較して、これらの層の物性が基板の撓みに与える影響を低減することができるため、圧電アクチュエータとしての動作を安定させることができる。
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【課題】 駆動電圧補正の正確性を高めて画質の向上を図る。
【解決手段】 この液体吐出装置には、ノズルからインクを吐出させる吐出エネルギー発生素子を有する記録ヘッドと、吐出エネルギー発生素子を駆動するための駆動信号を発生させる駆動回路と、ノズルから吐出された液体の吐出特性値を検出する液体検出センサと、駆動回路の駆動信号の電圧値を調整する駆動電圧調整部と、駆動回路、液体検出センサ及び駆動電圧調整部を制御する制御部とが備えられている。制御部は、液体検出センサによる吐出特性値から補正データを作成して、補正データに０．５０以上１．００未満の収束係数を乗算した値を基に駆動信号の電圧値が補正されるように駆動電圧調整部及び駆動回路を制御して、補正後の駆動信号で吐出された液体における液体検出センサの検出結果が目標値となるまで前記電圧値の補正を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 圧電層の撓みが隣接領域に与える影響を低減できるインクジェットヘッド用圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 圧電層４において圧力室１６の開口部１６Ａを外れる非開口領域Ａ２に、圧電層４の圧電特性を低下させる元素を拡散する。すると、元素が拡散した拡散領域は抗電界が高くなるため、通常の駆動電界では動作しない領域となる。このため、圧電層４のうち特定の圧力室１６に対応する開口領域Ａ１に電界を印加して撓ませたときに、その周囲にある非開口領域Ａ２が変位して隣接する圧力室１６に影響を与えることを抑制できる。これにより、クロストークを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】リード封止剤の剥れが生じて液体がリード端子部に浸入しないようにする。
【解決手段】ベース板Ｈ１２００に、吐出口Ｈ１１１６から液滴を吐出するための吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生部を有するヘッド基板Ｈ１１００と、ヘッド基板Ｈ１１００を囲む開口部Ｈ１４０１を有する支持板Ｈ１４００と、ヘッド基板Ｈ１１００の接続端子Ｈ１１１４に接続されて吐出エネルギー発生部に駆動信号および駆動電力を伝達するためのリード端子Ｈ１３０３を有する電気配線基板Ｈ１３００とが接着されている。そして、リード端子Ｈ１３０３と接続端子Ｈ１１１４との接続部分を覆うリード封止剤Ｈ１１２０と、ベース板Ｈ１２００上のヘッド基板Ｈ１１００と支持板Ｈ１４００の開口部Ｈ１４０１との隙間を埋めるチップ周囲封止剤Ｈ１１１９とが、電気配線基板Ｈ１３００に設けた穴Ｈ１１２３あるいは切り欠きを通して接着されている。 （もっと読む）

【課題】複数プレートを積層接合して液滴吐出ヘッドを形成する際、プレート接合時の接着剤はみ出し量を低減しつつ、流路を高密度化する。
【解決手段】複数の薄板を積層して接合して流路構造を形成する際、接合時に前記流路の周辺に接着剤逃がし溝がない場合に前記流路にはみ出す前記接着剤の前記流路の流れ方向に垂直な断面に対する投影面積Ｍと、前記流路に前記接着剤がはみ出さないとした場合の接合後の前記流路の流れ方向に垂直な断面積Ｓ’との比、Ｍ／Ｓ’が所定の値より大となるような前記流路に対し、前記複数の薄板の少なくとも一方の接合面において、前記流路の周辺の少なくとも一箇所に接着剤逃がし溝を設ける。 （もっと読む）

【課題】 比較的容易に結晶状態を制御し、常に安定した特性が得られる誘電体膜の製造方法、誘電体膜である圧電体層を有する圧電素子の製造方法及び圧電素子を具備する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 有機金属化合物が溶解された溶液を塗布して誘電体前駆体膜を形成する塗布工程と、誘電体前駆体膜を乾燥する乾燥工程と、誘電体前駆体膜を脱脂する脱脂工程と、誘電体前駆体膜を焼成する焼成工程とを有し、焼成工程では、誘電体前駆体膜の温度が４００℃から７００℃まで上昇する際の昇温レートを１５（℃／ｓｅｃ）以下とする。 （もっと読む）