【課題】低い駆動電圧であっても変形量を十分大きくする。
【解決手段】圧電アクチュエータ５０は、圧電材料層５３における振動板５１と個別電極５５とによって挟まれている動作部２が流路ユニット４０の圧力室２１と対向するように、流路ユニット４０に接合されている。圧電材料層５３における動作部２の中央部分２ａは上向きに分極されており、縁部分２ｂは下向きに分極されている。これにより、個別電極５５に駆動電位を印加し、動作部２に下向きの電界を作用させると、圧電アクチュエータ５０における動作部２の中央部分２ａに対応する箇所は圧力室２１とは反対側に凸となるように湾曲し、縁部分２ｂに対応する箇所は流路ユニット４０に接合されている側とは反対側の端部が圧力室２１とは反対側に変位するように湾曲する。 （もっと読む）

【課題】金属板が積層された積層体を湾曲しにくくする。
【解決手段】インクジェットヘッドが、共通インク室及び共通インク室から圧力室を経てノズルに至る個別インク流路が形成された流路ユニットを含んでいる。流路ユニットにおいては、元材であるローラ材に関する圧延方向が長手方向と同じになっている同じ種類の金属板２１〜２８が積層されている。流路ユニット２全体において、金属板２１〜２８の内周面５０ａが金属板２１〜２８の積層方向に関して交互に反対方向を向いている。 （もっと読む）

【課題】電鋳法などにより磁性を有する金属で形成されたノズルプレートのハンドリング性を向上させる。
【解決手段】磁性を有する金属から成るノズルプレート６０を電磁石１００で磁気吸着する際、前記ノズルプレートを介して磁気的閉回路が形成され前記ノズルプレートの厚さ方向に磁束が貫通しないようにすることを特徴とするノズルプレート６０のハンドリング方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】圧電体薄膜素子を形成する過程において、圧電体薄膜中の酸素濃度の低下を防ぐことにより、圧電体特性に優れた圧電体薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】多結晶体からなる圧電体膜１５を挟んで上電極１６と下電極１４とを形成し、この下電極上に前記圧電体を形成後熱処理する圧電体薄膜の製造方法であって、前記下電極形成後圧電体薄膜形成前に酸素雰囲気下で熱処理する。 （もっと読む）

【課題】広角のテーパ部やくびれ部などを有する所望のノズル形状を高精度で作製する。
【解決手段】透明基板(32)の片側面に光干渉層(34)と光遮断層(36)とを積層した露光マスク(22)を用い、該露光マスク(22)の光遮断層(36)側の面にレジスト(24)を付着させる。光干渉層(34)は、露光に用いる波長の光の入射角度が大きくなるにつれて透過率が増大する特性を有する。上記レジスト付き露光マスク(22)をステージ（20）に固定し、露光光の入射角度と、レジスト(24)の裏面反射の利用の有無を切り替えて傾斜回転露光を行う。裏面反射を利用する狭角傾斜回転露光によって第１のテーパ形状を形成し、裏面反射を利用しない広角傾斜回転露光によって第１のテーパ形状と逆方向の第２のテーパ形状を形成する。レジスト(24)の裏面に接する媒体(気体と液体)切り替えや、レジスト(24)の裏面側に配置する反射部材の位置を変更することにより裏面側からの反射光の利用を制御する。 （もっと読む）

【課題】液室が作り込まれた流路部材にノズルを形成する部材を積層してノズル穴を形成するとき高精度のノズルを形成することができない。
【解決手段】液体を吐出するノズル２１が形成されたノズル板２と、ノズル２１が連通する液室１１が形成された流路部材１と、ノズル板２と流路部材１との間に液室１１を覆う状態で介在し、ノズル２１と液室１１とを連通する貫通穴３１が形成された樹脂フィルム部材３とを備え、液室１１などが形成された流路部材１上に樹脂フィルム部材３による平坦な面を形成し、この平坦な面上でノズル板２のノズル２１の穿孔を行う。 （もっと読む）

【課題】水分除去に有効な処理を行うことができ、例えばその処理を行った際に生じ得る圧力差を吸収し、動作を安定させることができる静電アクチュエータ、製造方法等を得る。
【解決手段】相対変位可能な可動電極となる振動板２２と、振動板２２と一定の間隔で対向配置され、振動板２２を相対変位させる固定電極となる個別電極１２を少なくとも有する液滴吐出ヘッド等の静電アクチュエータに対し、振動板２２と個別電極１２とで形成される空間となる振動室１５から水分を除去する工程と、振動室１５を外気と遮断するために、振動室１５の開口部分を封止材２７で封止する工程とを連続して行う。 （もっと読む）

【課題】処理時間が短く、低コスト、低エネルギーで、所望のシリコン基板のノズル部を安全に得ることができるシリコン基板のノズル部の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基板１のノズル部１１は、シリコン基材１００のノズル部１１となる部分にポリイミド前駆体１０１ａを塗布し、このポリイミド前駆体１０１ａを所望の形状にパターニングしてノズル部形成用のポリイミドマスク１０１ｂを形成し、このポリイミドマスク１０１ｂを用いてシリコン基材１００のノズル部１１となる部分をエッチングして製造する。この場合、ノズル部形成用のポリイミドマスク１０１ｂが、ノズル部１１となる部分のシリコン基材１００とともにシリコン基板１のノズル部１１を構成する。また、ポリイミド前駆体１０１ａが、ポリアミド酸とＮ−メチル−２−ピロリドンとを含有する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性の低下を防止する。
【解決手段】一対の電極間に圧電体層５を有する。酸素を含む雰囲気下で圧電体層５に所定の処理を行う工程と、所定の処理で圧電体層５に形成された酸化層５ａを除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】強誘電体素子の製造方法において、高価な基板を用いることなく、また複雑なプロセスを経ることなく、比較的低温で、結晶性及び結晶配向性に優れた強誘電体膜を成膜する。
【解決手段】Ｚｒを含むシード層３１と下部電極３２とを順次成膜する工程（Ａ）と、シード層３１に含まれるＺｒを拡散させて、該元素を下部電極３２の表面に析出させる工程（Ｂ）と、下部電極３２上に強誘電体膜３３を成膜する工程（Ｃ）とを順次実施する。この強誘電体素子を用いた強誘電体キャパシタ及び強誘電体メモリ、また強誘電体素子を圧電素子として用いたインクジェット式記録装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】小型且つ高信頼性を有するインクジェットヘッドユニット、インクジェット式記録装置、インクジェットヘッドユニットの製造方法を提供すること。
【解決手段】供給されたインクを圧力変化により開口部から吐出する圧力室を備えるヘッド本体部と、前記ヘッド本体部における前記圧力室の一面側に設けられて前記圧力室に圧力を付加する圧電振動子と、を備えたインクジェットヘッド基板１と、前記インクジェットヘッド基板１とともに、前記圧電振動子を含む空間を封止して密閉空間を形成する封止部材と、前記密閉空間内に配置された少なくとも２種類以上の異なる成分から構成された乾燥剤と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ノズル内面のメンテナンスに際し、塗工液と洗浄用溶剤によるソルベントショックを発生することなく、短時間でしかも簡単にノズル目詰まりの再生が可能であり、さらに洗浄液の使用を低減させることができるインクジェットヘッドの再生方法、装置を提供する。
【解決手段】
インクジェットヘッドのインクを吐出させるノズル部で、乾燥インク等の異物により目詰まりし吐出不良となったノズル孔において、インクジェットヘッドの吐出面の一部もしくは全体を、研磨加工を行うことによってノズル孔の目詰まりの原因である異物を選択的に除去し、ノズル部の吐出不良部の再生を行うことを特徴としたインクジェットヘッドのノズル再生方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】樹脂成形によるインク供給保持部材に記録素子基板をマウントする時に潰されたマウント接着剤が、記録素子基板のノズル内部に侵入することを防止する。
【解決手段】インク供給保持部材のインク供給口の開口部に溝形状部を設けて、潰されたマウント接着剤を保持する。 （もっと読む）

【課題】 切断時に、切断屑がノズルに付着する事を防止する。
【解決手段】 基体１３の表面に保護テープ１２を貼ってノズル５を密閉して、切断ブレード１４で切断する。 （もっと読む）

【課題】 記録素子基板をダイシング後、記録素子基板内部の水分及び切削屑を除去する工程において、除去効率向上を目的とする。
【解決手段】 ダイシングフィルムに穴をあけ、上面よりブローすることで記録素子基板内部の水分及び切削屑の除去性を向上する。 （もっと読む）

【課題】基板に付着したスパッタ粒子を核として無電解メッキ処理時にメッキ材料が析出されることを防止し、工程を短縮できる成膜方法、デバイスの製造方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板１００をスパッタ用固定治具１０２で支持した状態で、半導体基板１００の上面をスパッタする逆スパッタ工程と、逆スパッタされた半導体基板１００の上面に、金属材料で構成されたシード層１０６を形成するシード層形成工程と、シード層１０６上に、無電解メッキ法により金属材料で構成されたメッキ層を形成する無電解メッキ工程とを備え、スパッタ用固定治具１０２の表面が、前記逆スパッタ工程時に絶縁性を維持する絶縁材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の結晶の整合性を良好に保ち、圧電素子の性能が低下することを抑えることができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、まず、シリコンウエハ１１０上に下電極膜６０を形成し、下電極膜６０上に第１強誘電体膜７１ａを形成する。次に、レジスト膜２００をマスクとして、下電極膜６０及び第１強誘電体膜７１ａをパターニングする。そのあと、レジスト膜２００を除去し、第１強誘電体膜７１ａ上に、第２強誘電体膜７１ｂを形成するための結晶種６５Ａをスパッタ法で形成する。次に、スパッタのプラズマによってダメージ（結晶欠陥）を受けた第１強誘電体膜７１ａを回復させるためのアニール処理を行う。そして、ダメージが回復された第１強誘電体膜７１ａ上に、第２強誘電体膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】フィルタ体を介してヘッドユニットと接続部材とを接続する構造において、接着剤がフィルタ体を目詰まりさせることを確実に防止し、且つその製造工程におけるコストダウンを図る。
【解決手段】接続部材１５に設けられヘッドユニット２０のインク取入口３７に接続される接続穴１５ｂを、積層方向からの平面視で、第１の軸線Ｐ上での開口径よりも、この第１の軸線に直交する第２の軸線Ｑ上での開口径が長い長穴形状に形成し、フィルタ体３９と接続部材１５との間に介在する接着剤５２の層に、インク取入口３７及び接続穴１５ｂに対応する貫通部５１を設け、この貫通部５１を、前記積層方向からの平面視で接続穴１５ｂの形状に対応した長穴形状であって、貫通部５１の開口縁が接続穴１５ｂの開口縁から開口の外側に、第１の軸線Ｐ上で第１の距離Ｄ１だけ後退し、且つ第２の軸線Ｑ上で第１の距離Ｄ１よりも大きい第２の距離Ｄ２だけ後退させる。 （もっと読む）

【課題】液滴がより微細化しても、高精度な描画をすることが可能な液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置の製造方法、液滴吐出装置を提供する。さらに、ノズルの向く方向が微妙にずれてしまっても、高精度な描画をすることを実現可能にする。
【解決手段】液滴吐出ヘッドは、圧力室としての材料室に接続され、液滴を吐出する貫通部としてのノズル２１が形成された基板としてのノズルプレート５９を備え、ノズルプレート５９の貫通部としてのノズル２１に形成された液滴を誘導する複数の液滴誘導部２２を有し、液滴誘導部２２の各々が、液滴を吐出する方向に向かって曲率を有して延在している。 （もっと読む）

【課題】脆弱な部品等の保護対象物を振動や衝撃等から簡単且つ安全に保護することが可能な保護対象物の保護方法を提供する。
【解決手段】常温で固相を呈する一方、加熱により液相を呈する保護材としての炭酸エチレン４０を加熱して融解させ、融解して液状となった炭酸エチレン中に保護対象物としてのシリコンウェハ３０を浸漬し、この浸漬状態で常温以下に冷却して炭酸エチレンを固化させて、当該炭酸エチレン内にシリコンウェハを閉じこめる。 （もっと読む）