【課題】ノズル孔の傾斜部が垂直部およびノズル基板平面と段差を介さずに連続して形成され、ノズル孔の流路特性が最適化されて安定した吐出特性を有するノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基材４１の一方の面側から異方性ドライエッチングを行って円筒孔部１１ｄを形成し、その後、円筒孔部内にＳｉＯ₂膜４５を形成する。反対側の面からＳｉＯ₂膜４５をチャージアップさせながらエッチングを行い、第１のノズル孔部１１ａと所望の傾斜角で拡径する第２のノズル孔部１１ｂ、第３のノズル孔部１１ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れ、長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子のエージング方法を提供する。
【解決手段】 ニッケル酸ランタン層を備える第１電極を形成する工程、ニッケル酸ランタン層上方に圧電体層を形成する工程、及び圧電体層上方に第２電極を形成する工程を備える圧電素子形成工程と、圧電素子に対して印加する最大駆動電圧差の６０％以上７０％以下の電圧を印加するエージング工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い検査を行うことができる液体噴射ヘッドの検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドの検査方法は、流路３２が形成された流路形成基板３０と、流路３２と連通するノズル穴５２を有するノズル板５０と、流路３２に圧力変化を生じさせるアクチュエーター１０と、を含む液体噴射ヘッドの検査方法であって、赤外線顕微鏡を用いて、液体噴射ヘッド１００を、ノズル板５０側から観察する工程を含み、ノズル板５０の材質は、シリコンである。 （もっと読む）

【課題】ヘッド本体に設けられた被覆部材を保護し、駆動配線を回路基板に確実に接合させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】
ノズル開口２６を有するノズルプレート２７を備えるヘッド本体２０と、ヘッド本体２０が固定されたケース部材６０とを備え、記録シートＳに対して第１方向Ｘに相対移動する記録ヘッド１０である。ヘッド本体２０には、その側面及びノズルプレート２７の周縁を被覆するカバーヘッド７０が設けられている。ケース部材７０の第１方向Ｘにおける端部６０ｂとヘッド本体２０との間に、ヘッド本体２０ごとに保護壁６５が設けられている。保護壁６５は、保護壁６５の第２方向Ｙの範囲Ｒ１がカバーヘッド７０の第２方向Ｙの範囲Ｒ２を含み、かつ第３方向Ｚにおいてノズルプレート２７よりもケース部材６０側に位置している。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの位置ずれによる液滴の吐出精度の低下を防止した液体噴射ヘッドユニットの製造方法及び液体噴射装置の製造方法を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズルを有する記録ヘッド３０と、記録ヘッドが複数固定されたサブキャリッジ２０とを備えたヘッドユニットの製造方法であって、サブキャリッジ２０の所定位置に配置した記録ヘッド３０をネジで第１温度の環境下で固定し、記録ヘッドが固定されたサブキャリッジ２０を前記第１温度よりも高い第２温度で所定時間加熱する。 （もっと読む）

【課題】高精度なノズル配列が確保できる液滴吐出ヘッドの位置決め機構を提供する。
【解決手段】直交する側面に基準面19を設けた吐出ヘッド17と、基準面19の突当部25を設けたヘッド取り付け部材15と、基準面19を突当部側に押圧するヘッド押圧−スライド治具21を有し、ヘッド押圧−スライド治具21は円錐部26を有し、ヘッド押圧−スライド治具21をねじ込むことにより、円錐部26と突当部25の間で液滴吐出ヘッド17を挟持した状態でヘッド取り付け部材15に固定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 電気配線部材に溜る熱を低減しつつ、ボンディングの際のインナーリードの反力を低減することで安定したボンディングを可能とする液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】 複数の電気接続部を備える記録素子基板と、デバイスホール内に延在し、複数の電気接続部と電気的に接続される複数のリード配線と、外部の電気接続部と電気的に接続可能な複数の入力端子と、複数のリード配線と複数の入力端子とを接続する複数の配線と、を備える電気配線部材と、を有する液体吐出ヘッドであって、複数の配線は電力配線と信号配線とを含み、信号配線の最大幅をＡ、信号配線につながるリード配線の最大幅をＢ、電力配線につながるリード配線の最大幅をＤとした場合に、Ａ＞Ｂ かつ Ｂ＜Ｄの関係を満たすことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録ヘッドの製造作業の省人化および管理の簡略化に対して、段差量や材料物性の変化を検知して最適な塗布条件に調整しながら、電気配線が露出したり、記録素子基板と記録媒体間の距離が増大したりせずに封止材を塗布する必要がある。
【解決手段】 封止材塗布前にワーク基準からの電気配線テープの高さを検知し、検知結果に基づいて前記電気配線テープと塗布ニードルとのギャップを調整後に封止材を塗布する。封止材塗布後に段差下段側封止材塗布位置を測定して、その測定結果から封止材塗布量を調整する。 （もっと読む）

【課題】 液滴を吐出することなく、吐出口の開口の状態をより正確に確認することができる液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】 エネルギー発生素子を備えた面を有する液体吐出ヘッド用基板と、前記面と対向する対向部を有し、該対向部を貫通する複数の貫通孔が設けられた部材と、を備え、前記複数の貫通孔は、前記エネルギー発生素子に対応した液体の吐出口を含み、前記面の、前記複数の貫通孔のうちの一部の貫通孔に対向する部分には、受光する光の強度によって出力する電流値が変化する受光素子が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】電気−機械変換膜のクラックが発生し難い、電気−機械変換膜形成方法を提供する。
【解決手段】第１の電極４２となる基板１上に部分的に表面改質を行う工程と、この電極上にゾルゲル液５をインクジェット方式により部分的に塗布する工程と、部分的に塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解・結晶化する工程と、部分的に塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解・結晶化する工程を繰返し行い所望する膜厚８を得る工程により電気−機械変換膜を形成する電気−機械変換膜の形成方法において、塗布する工程内において、所望パターン領域内でゾルゲル液滴６の着弾時の隣接ドットが、レベリングにより凝集しない間隔で配置されるようにゾルゲル液を滴下する。 （もっと読む）

【課題】ケースとの接着面の平坦度を確保するとともに十分な接着圧力を得られる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルプレート１７と、圧力発生室２ならびにインク貯留室４が形成されて上記ノズルプレート１７に積層された流路形成部３０と、上記流路形成部３０に積層された振動板１１と、上記圧力発生室２に圧力を発生させる圧電素子６と、上記ノズルプレート１７と流路形成部３０と振動板１１を含む積層体が貼着されるケース部材２３とを備え、上記積層体のケース部材２３と貼着される領域において、上記積層体に、厚みを有するプレート部材としてダンパ室形成板２１を含めたことにより、ケース部材３２との接着面の平坦度が確保されるとともに、ケース部材３２と接着する際に十分な接着圧力を加えることができ、記録ヘッドとケース部材３２との接合強度を十分確保できる。 （もっと読む）

【課題】電気信号の伝達経路に寄与するワイヤーが封止材から露出する虞を抑制する。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口が形成された記録素子基板Ｈ１１００と、液体を吐出するための電気信号を記録素子基板に供給する電気配線基板Ｈ１３００と、記録素子基板の吐出口が形成された吐出口面に設けられた複数の端子と電気配線基板に設けられた複数の端子とを接続する複数のワイヤーＨ２０００ａ、Ｈ２０００ｂと、を備える。複数のワイヤーは、記録素子基板と電気配線基板との間の電気信号の伝達経路に寄与する複数の伝達ワイヤーＨ２０００ａと、伝達経路に寄与しない複数の非伝達ワイヤーＨ２０００ｂとを含む。少なくとも複数の伝達ワイヤー全体を覆うように封止材Ｈ１３０５が形成されている。複数の非伝達ワイヤーは、封止材と雰囲気との界面に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電セラミックス層の積層枚数に影響を受けることなくインクを吐出するための駆動電圧を抑制することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】吐出口６が形成され一方の面が開口部となったインク室３と、インク室３に開口部を覆って取り付けられている圧電セラミックス積層体７と、を有し、圧電セラミックス積層体７は、互いに積層されている複数の圧電セラミックス層８と、複数の圧電セラミックス層８の層間に形成されている内部駆動用電極層１３と、複数の圧電セラミックス層８の積層方向における両端面に内部駆動用電極層１３に各々対向して形成されている一対の外部駆動用電極層１２と、を有し、各駆動用電極層の極性が積層方向で交互に反対であり、複数の圧電セラミックス層８は各々が面内方向に分極され、複数の圧電セラミックス層８を積層方向に切断した断面で見たときに分極方向が交互に逆向きである。 （もっと読む）

【課題】オリフィスプレート表面にうねりがあっても、保護テープによる封止を確実に実現する。
【解決手段】インクを吐出させるためのエネルギー発生素子とインクが供給されるインク供給口とが形成された基板と、基板のエネルギー発生素子が形成された面の上に、吐出口及び該吐出口へ連通するインク流路を形成するオリフィスプレートと、オリフィスプレートの吐出口が形成されている吐出口面に貼られた保護テープと、吐出口面の吐出口の周辺に形成された溝とを有し、溝の少なくとも一部は、吐出口面の保護テープが貼られている領域と該領域の外側の領域とに跨って形成されている。 （もっと読む）

【課題】比較的低い温度での焼成でも安定して焼成可能な大きな結晶粒子を含む圧電磁器およびそれを用いた圧電素子を提供する。
【解決手段】組成式を（１−α）｛（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）_１−ｙＬｉ_ｙ｝ＮｂＯ_３＋αＢｉ（Ｍｇ_２／３Ｎｂ_１／３）Ｏ_３と表したとき、０．４６≦ｘ≦０．５６、０．０３≦ｙ≦０．０６、０．００４５≦α≦０．００５５である成分１００質量部に対して、ＭｎをＭｎＯ_２換算で０．０〜０．５質量部含有することを特徴とする圧電磁器１を用いる。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷を低減し、圧電特性に優れた圧電セラミックス及び圧電素子を提供する。
【解決手段】 チタン酸亜鉛酸ビスマスナトリウムバリウムを含む複合酸化物からなり、チタン及び亜鉛の総量に対する亜鉛の割合が、０．３５ｍｏｌ％以上１．２５ｍｏｌ％である。 （もっと読む）

【課題】圧電層におけるランドに対向する領域のクラックを高精度に検出可能とする。
【解決手段】圧電層１７ａの上面には、圧力室１６毎の独立電極１８が形成されている。独立電極１８は、圧力室１６に対向する表面電極１８ａ、引き出し電極１８ｂ、及び、引き出し電極１８ｂの先端に配置されたランド１８ｃを含む。ランド１８ｃはＦＰＣの端子と接合される。圧電層１７ａの下面には、内部電極１９が形成されている。内部電極１９は、圧力室１６毎に設けられた個別電極１９ａ、ランド１８ｃ毎に設けられた検出電極１９ｂ、個別電極１９ａと検出電極１９ｂとを接続する延出電極１９ｃ、及び、延出電極１９ｃと並列に配置された予備電極１９ｄを含む。検出電極１９ｂは、ランド１８ｃと対向する領域の輪郭に沿って当該領域を囲むように延在した外周部を有する、一筆書き状の電極である。 （もっと読む）

【課題】均質で高密度な焼結体を形成することで圧電特性を向上した圧電セラミックスを製造することができる圧電セラミックスの製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】レーザー回折散乱式粒度分布測定による体積累積粒径Ｄ_５０が５０ｎｍ以上、８００ｎｍ以下のチタン酸バリウムからなるナノ粒子粉末と重合度が１５００以上の有機バインダー水溶液とを乾式混合して混合物を作成する工程と、前記混合物に極性有機溶媒を前記ナノ粒子粉末に対して４０質量％以上、１００質量％以下添加して混合し、且つ前記極性有機溶媒を揮発させる工程と、前記極性有機溶媒を揮発させた前記混合物を成型する工程と、成型した前記混合物を焼成して焼結体を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

溶媒とモノマーを含む溶液（10）が１つ又は複数の欠陥（18）内へ流れるように、圧電部材（12）の表面（16）の領域にコーティングされる。溶媒の少なくとも一部が除去されて、欠陥（18）内にモノマー薄膜（20）が形成され、モノマー薄膜（20）は欠陥（18）内で重合されて、欠陥（18）内にポリマー薄膜（22）が形成される。 （もっと読む）

【課題】 来歴情報の長期の認識性を確保する。
【解決手段】 基板と、該基板上に設けられ、液体が吐出される吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記流路壁部材に前記流路と連通しない空洞部が設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記空洞部を見た場合に、前記空洞部は文字の形状であることを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）