【課題】極小オリフィス、高密度なオリフィスを作製した場合においても、安定したインク吐出が可能であるインクジェット記録ヘッドを提供する。より具体的には、インク流路壁形成部材の吸インクによるオリフィス面積変化が少なく、インク流路壁が剥がれにくいインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、インク流路となる部分以外を占有するインク流路壁が形成されてなり、前記インク吐出圧力発生素子上方の前記インク流路壁にはインク吐出口が形成されているインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク流路壁が、エポキシ基を２個以上有するエポキシ樹脂と、前記エポキシ樹脂より酸素当量が大きい多価フェノールと、光酸発生触媒とを含有するエポキシ樹脂組成物を含有するインク流路壁形成部材により形成される。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録ヘッドにおいてＳｉ基板の膜応力による反りを緩和して反りによる不良を削減すると伴に異方性エッチング時の歩留まりを向上させる。
【解決手段】 １、メンブレン層が単層の場合は、何れかの犠牲層間で分離して膜応力を緩和する。
２、メンブレン層が多層構成の場合は、多層構成膜を同じ犠牲層間で分離して膜応力を緩和し、膜厚が厚くなることで異方性エッチンッグの歩留まりも向上させた、またはそれぞれ異なった犠牲層間で分離することで膜応力を緩和した時は、犠牲層間にもメンブレン層があることでより異方性エッチング時の歩留まりをさせる。 （もっと読む）

【課題】 接着剤のノズル孔への浸入を防止するとともに、ヘッド部とノズルプレートとの間に噛み込まれる気泡を除去し、着弾精度の高いインクジェットヘッドを製造するためのインクジェットヘッドの製造装置を提供する。
【解決手段】 押圧保持手段２７によりノズルプレート２２を保持しつつノズルプレート２２に対して押圧力を付与し、ノズルプレート２２とヘッド部２４とを接合する際に、押圧保持手段２７により押圧されるノズルプレート２２の押圧保持手段２７と接触する部分の面積が押圧開始時よりも押圧開始から時間経過とともに大きくなるように、押圧保持手段２７から付与する押圧力を制御手段２８により制御することによって、余剰接着剤および気泡を、押圧力が付与される部分から付与されない部分に排出することができる。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートのノズルの吐出口周辺について耐インク性を有することにより形状および寸法精度の維持を図れ、かつ、ノズルプレートの吐出面に形成される撥液層の剥離を防止するノズルプレートを提供すること、を目的とする。
【解決手段】インクの吐出のためのノズルが形成されるノズルプレートにおいて、少なくとも、前記ノズルの吐出口の内周を形成するエッジ部分の全周に亘って、形成するＰ型不純物層を有すること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スパッタ法などのエピタキシャル成長法或いは配向成長法よって好ましい圧電素子を作製する圧電素子製造方法及び液体吐出ヘッド製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０の上面１２に下部電極１４を成膜し、下部電極１４上にスパッタ法で圧電体膜１６を成膜し、圧電体膜１６の上面に上部電極１８を成膜する。その後、配線層が形成され、フレキシブルケーブル３４が接合される。この状態で、抗電界以上のＡＣ電界を印加した後に、下部電極１４をグランドとして上部電極１８に正電圧を印加して圧電体膜に電界を印加すると、下部電極１４から上部電極１８に向かう方向の圧電体膜１６の分極方向を反転し、下部電極１４をグランドとして上部電極１８に正電圧を印加して圧電素子２０を吐出方向に変形させることが可能となる。高温及び高圧をかけられないものが存在しても、圧電体膜の分極反転処理を行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】電解質溶液を含むインクや強酸性インクを使用することができ、流路構成部の小型化および簡単で安定した製造方法の実現に有利なインクジェットヘッドユニットを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドユニットは、左右側面にヘッド入口２３ａおよびヘッド出口２３ｂを有し、表面が保護膜に覆われたインクジェットヘッド１１と、流路構成部材としてのマニホールド１４ａ，１４ｂと、左右各所における連通によって生じる流路を取り囲む形でインクジェットヘッド１１と流路構成部材との間に圧接されて挟まれている第１，第２の弾性シール部材１５ａ，１５ｂとを備える。第１および第２の弾性シール部材１５ａ，１５ｂの外周はインクジェットヘッド１１および上記流路構成部材が第１および第２の弾性シール部材１５ａ，１５ｂを挟み込むように配置された後から注入充填された封止剤によって取り囲まれている。 （もっと読む）

【課題】水分による素子破壊を防止する低湿度周囲環境を有する圧電体薄膜素子及びそのエージング処理方法、インクジェットヘッド、並びにインクジェット式記録装置を得ること。
【解決手段】露点制御手段３で生成された乾燥気体は、圧電体薄膜素子１を収容するケース２の導入口４から供給され、排出口５から排出されることで、ケース２の内圧は、ケース外の圧力よりも高くなる。これによって、圧電体薄膜素子１の近傍雰囲気を長期に渡って安定して、露点が−４０℃〜０℃の範囲内の低湿度に保つことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】作業効率及び生産効率を向上した液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の圧電素子ユニット１７を収容部１８に収容すると共に、配線基板３７の開口部３８に回路基板３５を挿通した後に、回路基板３５を開口部３８の開口縁部を支点として配線基板３７の導電パッド側に押圧することで、複数の回路基板３５を同時に折り曲げて折り曲げ領域３９を形成する折り曲げ工程と、回路基板３５の先端部を配線基板３７上に押し付けながら配線を導電パッドに接合する接合工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置に用いられる駆動回路基板の交換作業を短時間で行う。
【解決手段】複数のノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドと、駆動素子に駆動信号を供給する駆動回路基板とを備えた液滴吐出装置であって、駆動回路基板は、駆動素子に供給する駆動信号の設計に係る波形データであって、当該駆動信号の電圧値を多段に変更した複数の波形データを記憶する第１の記憶手段と、複数の波形データのうちの一を読み出して駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、駆動信号生成手段によって生成される駆動信号の電圧値の出力誤差を補正するためのオフセット情報を記憶する第２の記憶手段と、所定の駆動信号を生成するための基本の波形データを規定する基本データと前記オフセット情報に基づいて、駆動信号生成手段の読み出しに係る前記一の波形データを選択する波形データ選択手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】エージング工程で実使用時よりも高い負荷を圧電素子等に与えることなく、圧電素子の変位量の変動が抑えられ安定したインク吐出特性を有する液体噴射ヘッドを製造する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に設けられた下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記流路形成基板１０上に前記圧電素子３００を形成する圧電素子形成工程と、該圧電素子形成工程により形成した前記圧電素子３００に駆動信号を入力して当該圧電素子３００を駆動するエージング工程と、前記流路形成基板１０に前記圧力発生室１２を形成する圧力発生室形成工程とを有し、前記エージング工程は、前記圧電素子３００の変位を実使用時よりも拘束する拘束部材を前記圧電素子３００に設けた拘束状態で行う。 （もっと読む）

【課題】平型柔軟基板がアクチュエータから剥離したことを容易に判断可能にする。
【解決手段】アクチュエータユニット２１が、圧電シート１４１と、圧電シート１４１の接合面に配置された多数の個別電極に対応する個別ランド１３６及び検査ランド１３７と、圧電シート１４１の接合面の反対面に配置された共通電極１３４とを有している。検査ランド１３７と共通電極１３４とが内部配線１３４ａを介して電気的に接続されている。ＣＯＦ５０の表面に、個別ランド１３６に接合される出力端子５８と、検査ランド１３７に接合される検査端子５９とが形成されている。ドライバＩＣが、検査端子５９と共通電極１３４との間の抵抗値を計測する電気特性計測部と、電気特性計測部の計測結果に基づいてＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１の接合面から剥離したか否かを判断する判断部とを有している。 （もっと読む）

【課題】平型柔軟基板がアクチュエータからどの程度剥離しているかを容易に把握する。
【解決手段】アクチュエータユニット２１が、圧電シート１４１と、圧電シート１４１の接合面に配置された多数の個別電極に対応する個別ランド及び検査ランド１３７と、圧電シート１４１の接合面の反対面に配置された共通電極１３４とを有している。ＣＯＦ５０の表面に、個別ランドに接合される出力端子と、検査ランド１３７に接合される検査端子５９ａ〜５９ｄとが形成されている。ドライバＩＣが、検査端子５９ａ〜５９ｄと共通電極１３４との間の静電容量の合計値を計測する電気特性計測部と、電気特性計測部の計測結果に基づいて検査ランド１３７から剥離した検査端子５９ａ〜５９ｄの数を判断する剥離判断部とを有している。 （もっと読む）

【課題】信頼性および圧電特性を兼ね備えた圧電体層を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明にかかる圧電素子の製造方法は、基体１０の上方に第１電極３０を形成する工程と、第１電極の上方に、圧電材料溶液を塗布して１層の前駆体層を形成する工程と、前記前駆体層の結晶化アニールを行うことにより圧電体層４８を形成する工程と、前記圧電体層の上方に第２電極５０を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドにおける各ノズルの吐出特性に起因する液滴吐出量のバラツキを抑制し、均一な膜層を形成することが可能な液滴吐出装置及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】複数のノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置であって、複数種類の駆動信号にそれぞれ対応する駆動波形データを格納する波形データ記憶手段と、前記波形データ記憶手段から前記駆動波形データを読み出して前記駆動信号を生成する複数の駆動信号生成手段と、前記複数の駆動信号生成手段のそれぞれが読み出す前記駆動波形データを指定するための波形選択データを受信する受信手段と、各駆動素子毎に、前記複数の駆動信号生成手段がそれぞれ生成した駆動信号の中から１つを選択して供給する駆動信号選択手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドの特性を損なうことなく、適当な箇所に精度よく封止材が設けられたインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】記録素子基板と電気配線部材とを有するインクジェット記録ヘッドであって、次の構成を有する。すなわち、前記記録素子基板は、電気信号に応じてエネルギーを発生するエネルギー発生手段と、該手段に供給される電気信号が入力される電極部とを備える。また、前記電気配線部材は、前記記録素子基板をその開口内に内在させるための開口部と、該開口部の内側に向けて延在し、前記電極部に接続された電気配線と、前記電気配線と交差する方向に延在し、前記記録素子基板に当接された短冊状部材と、を備える。そして、前記電気配線部材は、前記記録素子基板の、前記電極が配された表面より上方方向に位置する。また、前記短冊状部材は、複数の前記電気配線が配された方向に沿って延在し、前記電気配線部材から前記記録素子基板の表面へ下る斜面を形成している。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットヘッドの安定したインク吐出および着弾精度の向上を達成する金属オリフィスプレートを作製する。
【解決手段】 インク吐出口表面に撥インク層を形成した後に吐出口面を上にし凸に反らせた状態で保持しながら熱処理を行う。このように熱処理を行うことにより、オリフィスプレートは中央付近が凸のアーチ形状になり、圧力発生室との接合において貼り合わせの位置精度と接着強度が向上する。 （もっと読む）

【課題】素子基板１のシュリンク化が進み、液供給路間のピッチが狭くなることで接着領域が減少した場合であっても、素子基板とチッププレート間を高い接着強度で接着する。
【解決手段】素子基板とチッププレートを接着する接着剤が、光カチオン重合触媒と、熱カチオン重合触媒と、光増感剤、及びシランカップリング剤とを有することで、接着剤が吐出口へ這い上がることを防止しながら、素子基板とチッププレートとの強固な接着を行う。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドの流路内の親水性を向上させると共に、その親水性の均一化を図る。
【解決手段】印字ユニット１２の流路内に充填した親水化溶液を排出して、流路内を乾燥することにより、流路内に親水層５０を形成する。これにより、流路内が濡れた状態でなくても、流路内の親水性が向上する。また、圧力室底面積に対し、圧力室内に残存する水分の面積率が２０%以下になるように乾燥させる。これにより、親水性にムラがなく、流路内の親水性の均一化が図れる。 （もっと読む）

【課題】大小の液滴を吐出する液体噴射ヘッドの製造方法及び駆動方法を提供。
【解決手段】複数のパルス信号を選択して吐出される大ドットと、この大ドットより少ない数のパルス信号を選択して吐出される小ドットとを形成する液体噴射装置の製造方法において、所望の大きさの大ドットが形成できるようにパルス信号として第１の駆動波形及び第１の駆動電圧を設定して小ドットの大きさを測定する測定工程と、測定した小ドットの大きさが所定の大きさより小さい場合には、大ドットが小さくなる方向に制振工程に対応する波形を調整した第２の駆動波形を設定すると共に前記第１の駆動電圧より高い第２の駆動電圧を設定し、測定した小ドットの大きさが所定の大きさより大きい場合には、大ドットが大きくなる方向に制振工程に対応する波形を調整した第２の駆動波形を設定すると共に前記第１の駆動電圧より低い第２の駆動電圧を設定する補正工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】特に接触面積の大きな電極間の水分除去に有効な処理を行うことができる静電アクチュエータの製造方法等を得る。
【解決手段】相対変位可能な可動電極となる振動板２２と、振動板２２と一定の間隔で対向配置され、振動板２２を相対変位させる、表面粗さが１５ｎｍ以下の固定電極となる個別電極１２ａとを少なくとも有する液滴吐出ヘッド等の静電アクチュエータに対し、振動板２２と個別電極１２ａとで形成される空間から水分を除去する工程と、空間を外気と遮断するために、空間の開口部分を封止する工程とを連続して行うものである。 （もっと読む）