【課題】テスト端子がインクや湿気に触れて腐食したり、他の回路や配線にダメージを与えることがないインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】テスト端子を配置した部分近傍のノズル形成部材の体積が少なくなるように、他の部分のノズル形成部材から分離して設ける。 （もっと読む）

【課題】製造工程の初期に形成されて後工程に大きな影響を及ぼす基板の変形を、圧電素子の形成工程での影響を最小限に抑制する状態に制御するアクチュエータ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性膜５０（二酸化シリコン膜５１）上に、ジルコニウム層を熱酸化して酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５を形成し、その後、ジルコニウム層を熱酸化する際の最高温度以下の温度で、絶縁体膜５５をアニール処理する。アニール処理における温度及び時間等の条件を変化させることにより、初期工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を調整し、圧電素子を形成する工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を所望の範囲に誘導（抑制）する。また、初期工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を調整し、インク流路のエッチング工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を所望の範囲に誘導（抑制）する。 （もっと読む）

【課題】液体移送装置における、圧電層の圧縮歪みによる液体の移送量の低下を抑制する。
【解決手段】インクジェットヘッド３を製造する際には、予め製造しておいた流路ユニット３１の金属材料からなるキャビティプレート２１と、圧電アクチュエータ３２の圧電層４１とを熱硬化性の接着剤などで接合する。その後、個別電極４４と共通電極４３との間に電圧を印加することにより、圧電層４２のこれらの電極に挟まれた部分をその厚み方向に分極させる（活性部Ｒ１とする）。これと同時に、共通電極４３と導電性を有する流路ユニット３１との間に電圧を印加して圧電層４１のこれらに挟まれた部分をその厚み方向に分極させることで、圧電層４１のこの部分をその面方向に収縮させ、この収縮によって、活性部Ｒ１をその面方向に引っ張って、活性部Ｒ１の圧縮歪みを緩和する（圧縮歪み緩和部Ｒ２とする）。 （もっと読む）

【課題】圧電層にクラックを発生させたり、圧電層の他の部分を不必要に分極させたりすることなく、圧電層の複数の部分を一度に分極させる。
【解決手段】振動板４０の上面には圧電層４１、４２が積層されており、振動板４０、圧電層４１、４２の上面には、それぞれ、電極４３〜４５が配置されている。電極４３は圧力室１０と対向するように配置されており、圧力室１０の略中央部と対向する部分に抜きパターン４３ａが形成されている。電極４４は、抜きパターン４３ａと対向する対向部４４ａを有しており、対向部４４ａは電極４３とは対向していない。電極４５は、その略中央部において対向部４４ａと対向しているとともに、それよりも外側の部分において電極４３と対向している。また、活性部Ｒ１がその厚み方向の上向きに分極されており、活性部Ｒ２がその厚み方向の下向きに分極されている。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッド間の特性のばらつきを抑制し、安定した特性の液体噴射ヘッドユニットを製造することができる液体噴射ヘッドユニットの製造方法を提供すること。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室を形成する流路形成基板と、圧力発生室に対応して振動板を介して流路形成基板に設けられる圧電素子とをそれぞれが含む複数のインクジェット式記録ヘッド２２０を備えるインクジェット式記録ヘッドユニット２００のエージングを行う際に、記録ヘッド２２０に印加する駆動信号の条件を記録ヘッド２２０ごとに調整し、特性の劣化度合を記録ヘッド２２０ごとに異なるものとすることにより、ヘッド間におけるインク吐出特性の差を低減させる。これにより、記録ヘッド２２０間におけるインク吐出特性のばらつきが抑制されると共に、安定したインク吐出特性をもつヘッドユニット２００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドのエージングを効率良く行うことができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド２２０のエージングを行う際に、中間電位に対する駆動パルスを含む第１駆動信号を第１圧電素子３００ａに印加すると共に、第１圧電素子３００ａに隣り合う第２圧電素子３００ｂには、中間電位に対して第１駆動信号とは反転した信号波形の第２駆動信号を印加する。このとき、第１圧電素子３００ａおよび第２圧電素子３００ｂの撓みにより圧力発生室１２ａ，ｂ間の隔壁が傾き（図７（ｂ）、（ｃ）参照）、隔壁１１間の距離が短かくなるので、圧電素子がより変位し易い状態となる。これにより、隣り合う圧電素子３００間で圧電素子３００および振動板の変位量が増幅されるので、圧電素子からの発熱を増すことなく、エージングの効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】各圧電素子の変位量のばらつきを極めて短時間で調整することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の各圧電素子３００の変位量を検査する検査工程と、検査工程の検査結果に基づいて複数の圧電素子３００に変位量のばらつきがある場合に実施され、複数の前記圧電素子３００に共通する共通電極側から駆動信号を入力して相対的に変位量の高い所定の圧電素子３００を選択的に変位させることで圧電素子３００の変位量を減少させる変位調整工程とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】積層型圧電素子の製造方法において、焼成時における圧電積層体の反り変形を抑制する。
【解決手段】複数枚のグリーンシート１１に所定のパターンで形成される第１の電極層１２Ａあるいは第２の電極層１２Ｂを挟ませて積層させることによって、圧電積層体１３を構成する。この圧電積層体１３は、焼成されることで圧電素子となりえるものである。そして圧電積層体１３を、間に剥離層１４を挟んで重積することによって、重積構造体１５を形成する。この重積構造体１５は、剥離層１４を挟んで隣接する２個の圧電積層体１３が焼成されたときの反り変形の方向が互いに反対となるように形成する。その後、重積構造体１５を焼成する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の経時的変化のばらつきに起因して液体噴射結果に濃淡ムラが発生していた。
【解決手段】複数のノズル毎に設けられた圧電素子を駆動させることにより各ノズルから液体を噴射可能な液体噴射装置であって、上記圧電素子の駆動回数を計測する駆動回数計測部と、上記計測された駆動回数が他の圧電素子と比較して少ない圧電素子に対し、上記計測された駆動回数の差に応じた駆動条件で駆動を実行させる駆動指示部とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】波打った姿勢の媒体に対して液体の噴射を行なった場合、媒体上にムラが生じていた。
【解決手段】複数のノズル毎に設けられた圧電素子を駆動させることにより各ノズルから液体を噴射可能な液体噴射装置の製造方法であって、ノズル毎の補正情報であって、各ノズルと上記液体の噴射対象となる媒体との距離の違いに応じた補正情報を取得する補正情報取得工程と、上記取得されたノズル毎の補正情報に応じた駆動条件で、各ノズルが対応する圧電素子を駆動させる圧電素子駆動工程とを備えるとした。 （もっと読む）

【課題】ノズルの寸法測定精度を向上させること、及びノズルの製造寸法管理工程でのコストダウンを図る。
【解決手段】ノズルダミーパターン２６Ａはノズルと略同一寸法の構成を有しており、ノズル形成部材９のスクライブライン２上に複数個配設される。そして、スクライブライン２での切断により、複数のノズルダミーパターン２６Ａが断面に露出した構成である。 （もっと読む）

【課題】信頼性及び生産効率を向上した液体噴射ヘッドの製造装置及びその製造方法並びにワークの製造装置を提供する。
【解決手段】複数の圧電素子ユニット１７を収容部１８に収容すると共に、配線基板３７の開口部３８に回路基板３５を挿通した後に、押圧治具６０の透明部材６１で回路基板３５を開口部３８の開口縁部を支点として配線基板３７の導電パッド側に押圧することで、複数の回路基板３５を同時に折り曲げ、透明部材６１で回路基板３５の先端部を配線基板３７上に押し付けながら、レーザ光照射装置７０からのレーザ光を導電パッド３６に設けられた半田に照射して配線３４と導電パッド３６とを接合させる。 （もっと読む）

【課題】発泡室およびインク流路を形成するインク流路壁を高い寸法精度で形成可能な、注型法を用いたインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子を有する基板の上に、インク流路壁となる構造を有する第一のネガ型レジスト層を形成し、それを被覆するように第一の光崩壊性ポジ型レジスト層を形成した上で、第一のネガ型レジスト層の表面が露出するまで研磨する。その後、研磨面の上にインク流路となる構造を有する第二の光崩壊性ポジ型レジスト層を形成し、それを被覆するように第二のネガ型レジスト層を形成した上で、インク吐出口を形成する。そして、第一の光崩壊性ポジ型レジスト層および第二の光崩壊性ポジ型レジスト層を除去して、発泡室およびインク流路を形成する。 （もっと読む）

【課題】 流路ユニットと支持フレームとの接合箇所を、液状封止剤を注入して容易に且つ適切に封止することのできる液滴吐出ヘッドの提供。
【解決手段】 液滴吐出ヘッド６は、流路ユニット１０と、圧電ユニット１１と、開口部５ａを有する支持フレーム５とを備え、圧電ユニット１１の外周部１１ａと支持フレーム５の開口部５ａの内周部５ｂとの間には空隙路６０が形成されており、該空隙路６０における支持フレーム５の内周部５ｂ近傍には、液状封止剤６６の導入を促すと共にこれを保持するための導入溝６５が、空隙路６０に沿って設けられている。 （もっと読む）

【課題】効率良く短時間に安定的に記録素子基板を支持部材に接着する接着剤を仮硬化させて、接着界面にエアパス等がなく接着することが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】記録素子基板の電気熱変換素子を発熱させることで、接着剤を仮硬化する。 （もっと読む）

【課題】 高価なＳＯＩ基板を用いずに高精度で量産性に優れたピエゾインクジェットヘッドを製造する方法の提供。
【解決手段】 シリコン基板Ａに圧力室、シリコン基板Ｂに連通部あるいは吐出ノズル、共通液室となる多孔質部分を陽極化成により形成した（あるいはさらにその部分を酸化した）後に２枚の基板を接合する。次いで基板Ａ側を研磨薄化して振動板を形成し、さらにその上にピエゾアクチュエータを形成する。次いで吐出口やインク供給口を形成して前記多孔質部分まで貫通させ、多孔質部分をウェットエッチング等により除去して流路を貫通させ、インクジェットヘッドを得る。 （もっと読む）

【課題】 吐出素子基板と粘着テープを剥離する際に、その剥離強度を極めて小さくすると共に、突き上げピンを必要とせず、粘着テープからの剥離を可能にする事により吐出素子基板の損傷を低減させるピックアップ方法および液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 インク供給口へ気体を注入し吐出素子基板にダメージを与えず剥離させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッドのフレーム部材に圧電アクチェータを挿入配置する工程でのＦＰＣ這いまわしによる作業効率を向上でき、かつ圧電素子とＦＰＣ接続の剥がれに対する歩留まりを向上できる。
【解決手段】 本発明の圧電アクチュエータは、ベース部材に固定された圧電素子にフレキシブルプリント基板を直接接続し、ベース部材の側面に、フレキシブルプリント基板と圧電素子との接着方向にフレキシブルプリント基板を加圧する押さえ部材を有する。よって、圧電素子とフレキシブルプリント基板の接合部の剥離を防止できる。 （もっと読む）

【課題】駆動パルスを圧電素子に印加することによりエージング処理を行うことで、圧電素子間の特性を揃えることが可能な圧電素子の製造方法、及び、アクチュエータユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも圧電素子の変位量の初期変化を経過させることが可能な最小回数以上、駆動パルスを圧電素子に印加することによりエージング処理を行うエージング工程において、変位量測定工程で得られた初期変位量が基準変位量Ｂよりも大きい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも増加させ、初期変位量が基準変位量よりも小さい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を、最小回数を下回らない範囲内で規定回数よりも低減させる。 （もっと読む）

【課題】ノズル列が形成されたヘッドユニットを所定個組み付けた吐出ヘッドを備えた流体吐出装置の製造方法において、ヘッドユニットの歩留まりを向上させる。
【解決手段】個別のフラッシュメモリ４０ａ〜４０ｆを有し第１及び第２ヘッドユニット２２Ａ，２２Ｂとして使用可能なヘッドユニット候補２２ａ〜２２ｆを作製し、ノズル検査装置２０によりヘッドユニット候補の各ノズルの検査を行い、不良ノズルが見つかったときにはその不良ノズルを識別する不良ノズル識別情報をフラッシュメモリに記憶する。そしてヘッドユニット候補２個をヘッド確認装置３０に装着し、このヘッド確認装置３０によってフラッシュメモリから不良ノズル識別情報を読み出し、各ｋ番目のノズルの少なくとも１つが不良ノズルでないことがｋ＝１，２，…，ｎの全てについて確認された２個のヘッドユニット候補を選出してオペレータがプリントヘッドへ組み付ける。 （もっと読む）