【課題】ギャングボンディング時の熱の影響を最小限に抑え、製品の信頼性を維持しつつ、生産性を向上させる。
【解決手段】記録ヘッドの製造方法は、記録素子基板Ｈ１１０１を、電気接続パッドＨ１１０５の形成されていない面を支持台１０の表面に向けて、支持台１０に支持させるステップと、フライングリ−ドＨ１３０４を電気接続パッドＨ１１０５に押し付け、フライングリ−ドＨ１３０４と電気接続パッドＨ１１０５とを加熱して圧接する熱間圧接ステップとを有している。熱間圧接ステップは、支持台１０の表面のうち電気接続パッドＨ１１０５に近接する第１の領域２２への、フライングリ−ドＨ１３０４および電気接続パッドＨ１１０５からの放熱を防止しながら、または第１の領域２２を加熱しながら、残りの領域である第２の領域を除熱することを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 ヘッドユニットとこれを補強する補強フレームとの接着に伴う反りを抑制し、高精度の吐出性能を実現する。
【解決手段】 前面に配置されたノズルとインク流路とアクチュエータとを有し金属材料を含んで略扁平形状を呈するヘッドユニット２１と、このヘッドユニットの背面側に配置され金属材料を素材とする略扁平形状の補強フレーム６５とを熱可塑性の接着剤６８を介して重ね合わせ、接着剤６８をその接着条件に応じて加熱して軟化させる工程と、前記加熱によって高温状態にあるヘッドユニット２１と補強フレーム６５との積層体を、ヘッドユニット２１及び補強フレーム６５のそれぞれに当接する冷却部材６９で、積層方向の両側から挟持して急冷する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の分極度に対するインク滴吐出特性の計測や、適値分極度への補正を行うのに、時間がかかり、充分なコストダウンや生産性向上が得られなかった。
【解決手段】記録ヘッドを構成する複数ノズルが、インク吐出速度に応じてグループ化され、該グループを構成するノズルのインク滴吐出速度が所定のインク滴吐出速度ばらつき許容範囲内に収まるように、該グループのノズルの圧電素子がグループ毎に定められた分極度に一様に再分極処理される。 （もっと読む）

【課題】 加工中にシリコン基板が割れたり欠けたりすることがなく、撥水処理が容易な
シリコン基板の加工方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基板３０に、第１のノズル孔６と、第１のノズル孔６に連通し、
第１のノズル孔６よりも径の大きい第２のノズル孔７からなるノズル８となる凹部を形成
する工程と、樹脂を用いてシリコン基板３０のノズル８となる凹部が形成されている面に
支持基板４０を貼り合わせる工程と、シリコン基板３０の支持基板４０が貼り合わせられ
た面の反対面から、シリコン基板３０を薄板化する工程と、シリコン基板３０を薄板化し
た後に、支持基板４０をシリコン基板３０から剥離する工程とを有し、シリコン基板３０
に支持基板４０を貼り合わせる工程において、樹脂がノズル８となる凹部に充填されるよ
うにするものである。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板を実装したユニットに電気配線板を接合する時に、接着剤の飛散による記録素子基板の汚染を防ぐ。
【解決手段】第１のプレート１０１上に第２のプレート１０２を接着し、記録素子基板１０３、１０４を実装した記録素子ユニット１００に接着剤１０５ａを塗布して、貼り合わせ装置６へ搬送し、電気配線板１０５を吸着した吸着フィンガー６ａを下降させて、記録素子ユニット１００に電気配線板１０５を当接して貼り合わせる。吸着フィンガー６ａの底部へ長穴６ｃからクリーンエア等の気体を噴射し、エアーカーテンである防護壁Ａ₁ を形成することで、接着剤の飛散粒子が記録素子基板１０３、１０４へ付着するのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関し、例えばインクジェット方式によるラインプリンタに適用して、生産性の低下を有効に回避して簡易な組立て作業により高い印刷精度を確保することができるようにする。
【解決手段】 本発明は、複数チップを接続したブロックにより半導体ウエハからヘッドチップを切り出して実装する。 （もっと読む）

【課題】 必要最低限のＵＶ光を必要な箇所に限定して照射できるフィンガーを有したマウント装置およびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 接着剤で半導体部品である記録素子基板を高精度接着固定するマウント装置であり、前記記録素子基板を吸着して貼り合せるフィンガーにおいて、記録素子基板を吸着する吸着部と少なくとも記録素子基板の外形より大きい遮光部と記録素子基板の記録液流路端部の位置に形成する仮固定用の貫通穴スリットを設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 真空雰囲気下でも、樹脂製薄膜に所定の微細構造が形成されているかどうかの検査を、微細構造を形成した直後に、安価、簡易かつ正確に行なうことができる検査方法を提供する。また、かかる検査方法を実施し、品質保証が可能な検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の検査方法は、微細構造を形成した樹脂製薄膜の静電容量を導体間で測定し、静電容量の測定値および導体間の距離により、樹脂製薄膜における微細構造の形成状態を検査することを特徴とする。本検査方法により、厚さ方向に貫通孔を有する樹脂製薄膜を検査することができる。検査に際しては、樹脂製薄膜の複数箇所における静電容量を独立して測定する態様が好ましい。本発明の検査装置は、かかる検査方法を実施することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多ノズル化され、かつ、チップシュリンクさえた記録素子基板のハンドリングにおいて、吸着固定を安定化させ、傷等をつけないことにより、生産効率や歩留まりの低下を防止するための静電チャック装置を提供する。
【解決手段】 絶縁性吸着層２７の表面と、記録素子基板１の液体吐出口７を含む液体吐出口近傍とを接触させないための開口状（凹状）の逃げ部２７ｂが、絶縁性吸着層２７の表面に突起部２７ａを設けることで形成されている。この逃げ部２７ｂにより、液体吐出基板吸着時に、液体吐出口７を含む液体吐出口近傍が静電チャック装置２０に接触しないため、液体吐出口７をゴミ等のかみこみで傷つける事がない。 （もっと読む）

【課題】圧電層の表面の電極と配線部材とを導線性材料により接合する際に、溶融した導電性材料が周囲に流れ出すのを抑制すること。
【解決手段】キャビティプレート１０の、各個別電極３２と接点３５ａとの間の配線部３５と対向する部分に個別冷却流路４７が形成されている。そのため、配線部３５とＦＰＣ４０とを接合する際に、この個別冷却流路４７内に冷却用液体６０を流しながら、配線部３５の接点３５ａとＦＰＣ４０の端子部４２ａとの間の導電性材料４５を溶融させることにより、溶融した導電性材料４５を個別冷却流路４７内の冷却用液体６０で冷却することができるため、導電性材料４５が接点３５ａから周囲へ流れ出すのを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】撓み振動モードの圧電素子の運動を阻害することなく、その上部に設けられたスルーホールを介して圧電素子の電極への確実な配線を形成可能とする。
【解決手段】液体を吐出するノズルと連通する圧力室の一部を形成する振動板と、該振動板を変形する圧電素子を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記圧電素子の電極の少なくとも一部に感光性樹脂を形成する工程と、貫通孔を有する基板を前記感光性樹脂に接合する工程と、前記貫通孔を介して前記感光性樹脂を露光現像する工程と、前記貫通孔及び前記感光性樹脂を露光現像することによって形成される孔に導電性材料を充填する工程とを含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法で液体吐出ヘッドを製造し、特に前記圧電素子は撓み振動モードで駆動し、前記圧電素子と前記基板との間に該圧電素子の駆動を妨げないための空間を形成する。 （もっと読む）

【課題】転写ステージもしくは被接着物であるワークにならって転写版が接面されるため、転写版が片当たりすることなく被接着物に対して極めて少量の接着剤を安定して供給することができる。
【解決手段】回転ステージ上にスキージによって一定の厚さの接着剤層を形成する第１の工程と、前記接着剤を転写版を有する転写ユニットに供給する第２の工程と、前記転写版に供給された接着剤を被接着物に転写する第３の工程からなる転写ユニットであって、前記転写ユニットが球体のジョイントおよびロック機構を有することを特徴とする転写装置。 （もっと読む）

【課題】記録素子を素子基板に接着剤で仮固定するＵＶ光の照射領域を高精度に限定して仮固定し、記録素子の接着性向上をはかるマウント装置を提供する。
【解決手段】記録素子を吸着して素子基板に貼り合せるフィンガーの長手外形寸法は記録素子より大きく、フィンガー自身にＵＶ光照射用の貫通穴からなるスリットを有する。スリットは記録素子の両端外周からはみ出した接着剤に照射できるように、記録素子の外形両端部近傍に設けられる。フィンガーは吸着部と遮蔽部および仮固定用の貫通穴スリットが一体的に形成されるので、高精度に限定して仮固定することができる。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板のハンドリングにおいて、吸着固定を安定化させ、傷等をつけないことにより、生産効率や歩留まり低下を防止するための静電チャック装置を提供すること。
【解決手段】液体吐出基板を静電吸着力により把持する為の静電チャック装置で、金属基盤上に接着層を介して２つの異なる電極及び、絶縁性吸着層を有し、２つの異なる電極が液体吐出基板の長辺と平行に且つ、２つの異なる電極が液体吐出基板の液体吐出口列を跨ぐ様に配置されていると共に、２つの異なる電極上に接着層を介して積層された絶縁性吸着層の２つの異なる電極間に位置する液体吐出基板吸着表面がへこんでいることを特徴とする静電チャック装置。 （もっと読む）

【課題】 フレキシブルケーブルがその下方に位置するアクチュエータユニットに接触することがないような構造とした液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 駆動端子３９に接合する配線端子４４を介してアクチュエータユニット４にその駆動信号を伝送するよう前記アクチュエータユニット４の上方にこれを跨ぐように配設したフィルム状のフレキシブルケーブル１８の内側の端部に脚部１８ａを形成し、この脚部１８ａを介してアクチュエータユニット４の表面に当接するとともに、前記フレキシブルケーブル１８の外側の端部１８ｂは上方に跳ね上げることにより前記フレキシブルケーブル１８の下面とアクチュエータユニット４の上面とが接触しないようにした。 （もっと読む）

【課題】 転写サイクルタイムの短縮が図れ、ワーク上面の平滑精度が低くとも接着剤層を容易に転写できる接着剤の転写方法、および装置の小型化が図れ、運搬が容易な転写装置を提供する。
【解決手段】 フィルム２２の長手方向に配置した２つの挟持部材３２，３３によりフィルム２２を下方に弛みループ部６１を形成した状態で挟持し、両挟持部材３２，３３と共にフィルム２２を相対的に下降して弛みループ部６１の下端を、両挟持部材３２，３３の下方に位置させたスキージ台４１上の接着剤層４２に接触させ、接触後、さらに両挟持部材３２，３３を相対的に下降して弛みループ部６１の接着剤層４２に対する接触面積をフィルム２２の長手方向に増加させ、その後、両挟持部材３１，３２を相対的に上昇させてフィルム２２をスキージ台４１から離隔して接着剤層４２をフィルム下面に転写する。 （もっと読む）

【課題】良好な電極能を有しつつ低コストで、且つ圧電体に対する充分な吸着性を有する圧電素子、及びそれを備える液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】共通電極４６（下部電極）、圧電体４８、及び信号電極５０（上部電極）がこの順で積層して構成された圧電素子３４において、共通電極４６及び／又は信号電極５０の構成層の少なくとも１層として、Ｔａ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｚｒ，及びＨｆの金属、前記金属の元素を１種以上含む合金、前記金属の元素を１種以上含む窒化物、前記金属の元素を１種以上含む珪化物、並びに、前記金属の元素を１種以上含む硼化物から選択される少なくとも１種で構成される電気伝導層の少なくとも１層を適用する。これにより、良好な電極能を有しつつ低コストで、且つ剥がれ難い電極を持つ圧電素子３４となる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄水の供給圧力を上げることなく複数の液体流路に十分な洗浄水を均一に供給して洗浄を行って液体噴射ヘッドを製造する。
【解決手段】 空気と水とが混合された流体が一つの供給部４２に所定圧力で供給される筒状本体４３と、筒状本体４３に同心円状に設けられた複数の吐出口４４とからなる流体分岐治具４１を用い、筒状本体４３に供給された流体を流路抵抗が均一になるように吐出口４４から吐出させてインク供給部材の洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】インク接液部材からの微細なパーティクルの発生を極力抑える。
【解決手段】ジルコンとコージライトに長石を加えて混錬し、続いて、所定のサイズの板形状に成形し、続いて、主成分の融点に合わせた高い温度で焼成する。続いて、両面を研磨する等、機械加工を行い、さらに、長石の融点に合わせた低い温度で再焼成することにより、インク接液部材である共通液室を閉塞する天板蓋を製造する。 （もっと読む）

【課題】 圧電体の厚さにムラがなく、製造コストの低減が可能な圧液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の圧力室の壁面を構成する振動板上に圧電体が形成された液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記複数の圧力室に対応するように複数の凹部が形成されたモールド用基板の前記複数の凹部に対して、圧電材料を充填する充填工程と、前記圧電材料が充填された凹部を塞ぐようにして、前記モールド用基板上に前記振動板となる第１のグリーンシートを積層する積層工程と、前記凹部に充填された前記圧電材料を加熱する第１の加熱工程と、前記モールド用基板から前記圧電材料を剥離する剥離工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）