【課題】インクジェットヘッドの製造において、予め作製された個別の圧電素子を圧力室に対応して精度よく搭載したインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】 第一圧力室プレート３０ａには、所定の径を有する孔Ａ３からＤ３が、圧力室３２の形成領域の両側に形成されている。また、第二圧力室プレート３０ｂには、第一圧力室プレート３０ａに形成された孔Ａ３からＤ３より径が大きい孔Ａ４からＤ４が形成されている。そして、孔Ａ３からＤ３の中心位置は圧力室３２と正確に対応付けられて形成されている。振動プレート４０及び剛性強化プレート６０には、孔Ａ３からＤ３の内周縁が外部から検知できるように、それぞれ窓部Ａ２からＤ２及び窓部Ａ１からＤ１が開口している。外部から孔Ａ３からＤ３を検知することで圧力室に対応する圧電素子の搭載位置を決定し、振動プレート４０に圧電素子を位置決めして接着固定する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性に優れた複合酸化物積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板２０と、前記基板２０の上方に形成され、一般式ＡＢＯ₃で表される第１複合酸化物層２４と、前記第１複合酸化物層２４の上方に形成され、一般式ＡＢ_1-xＣ_xＯ₃で表される第２複合酸化物層２６と、を含み、Ａ元素は、少なくともＰｂからなり、Ｂ元素は、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、ＷおよびＨｆの少なくとも一つからなり、Ｃ元素は、ＮｂおよびＴａの少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録ヘッドのインク液室内を最適な状態に維持し、インク吐出性能を維持出来るようなクリーニング方法を提案する。
【解決手段】 インクを吐出するノズルを複数有したノズル列を形成し、各ノズルのそれぞれは圧力室に連通し、各圧力室は、その上流で共通インク供給液室に連通し、共通インク供給液室に外部との連通手段を具備し、インク液室のインク供給路を有する壁が傾斜を有するインクジェット記録ヘッドを搭載するインクジェット記録装置であって、インク吐出口及び、外部との連通手段よりインクジェットヘッド内を減圧、吸引する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】コスト上昇を招くことなく、エッチング時の水素ガス発生による振動板破壊を防いだ精度の高い静電型アクチュエータなどを提供すること。
【解決手段】ベース基板上に変形可能な振動板とこれに所定のギャップを介して対向する電極とを備え、前記振動板を静電力により変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記ギャップは、前記ギャップと略同じ高さに形成された梁で囲まれ、前記梁は複数の層からなる静電型アクチュエータを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔が高密度に配置された液体噴射ヘッドおよびこれを有するプリンタを提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１０００は、第１基板１０と、第１基板の上方に形成された第２基板２０と、第２基板に形成された複数の圧力室２６と、第２基板に形成され、各圧力室にインクを貯留するためのリザーバ２２と、圧力室の上方に形成された振動板３０と、振動板の上方であって、各圧力室に対応する位置に形成された圧電素子４０と、圧電素子と電気的に接続された内部配線７０と、ノズル孔５２を有するノズルプレート部材５０と、を含み、圧力室は、該圧力室の水平方向の一端においてリザーバと連通し、該圧力室の水平方向の他端においてノズル孔と連通している、ユニットヘッド１００を複数含み、複数のユニットヘッドは、上下方向に積層され、各ユニットヘッドは、平面視において、それぞれ重なっていない配線接続領域８０を有し、内部配線と外部配線とが、配線接続領域で電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】耐久性を向上すると共に長寿命化を実現することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせると共に、圧電体層７０と、該圧電体層７０の前記圧力発生室側に形成された第１電極６０と、該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に形成された第２電極８０とを具備する圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０の前記第２電極８０側の表層には、非晶質の非晶質層７１を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の破壊を防止して、耐久性を向上した圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを具備し、該圧電素子３００が、第１電極６０と、該第１電極６０上に形成された圧電体層７０と、該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に形成された第２電極８０とで構成されており、前記第１電極６０が、酸化イリジウムを主成分とする拡散防止層６４を有すると共に、該拡散防止層６４には、厚さ方向に貫通して酸化イリジウム以外の材料が充填された応力緩和孔６４ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】低コストで変位量を大きくすることができ、高速駆動に対応することができ、さらに小型化に貢献することが可能な圧電ヘッド、インク液吐出装置、インクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【解決手段】圧電ヘッド１００を構成する圧電アクチュエータ１４０の振動板１１０の片面に形成された圧電素子１１２上に３つに分割されて形成された上部電極１１３のうち、真ん中の上部電極１１３を個別電極とし、両脇の電極を圧電ヘッド１００を構成する全ての圧電アクチュエータ１４０に共通して使用される共通電極とし、共通電極には共通電位を印加し、個別電極には共通電位とは独立して制御される共通電位と同じ大きさの個別電位を印加する。 （もっと読む）

【課題】消費電力を大幅に削減することができる静電容量性アクチュエータの駆動装置およびインクジェットヘッドの駆動装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータＺ１を電圧源４２の出力電圧“Ｅ／２”および電圧源４１の出力電圧“Ｅ”により順次に充電し、この充電の後、アクチュエータＺ１に蓄えられている電荷“Ｑ”のうち“Ｑ／２”を電圧源４２に戻す経路で放電し、この放電に続き、アクチュエータＺ１に蓄えられている残りの全ての電荷“Ｑ／２”を閉回路で放電する。 （もっと読む）

【課題】複雑な回路構成を必要とすることなく、内部に溜まった気泡を効果的に排出することが可能な流体噴射ヘッド及び流体噴射装置を提供する。
【解決手段】記録ヘッドは、連通孔から供給されるインクを一次貯留するインク貯留室と、該インク貯留室に貯留されたインクを互いに並列状に配置された複数の第２インク供給路を介してそれぞれ供給される複数の圧力室４４と、該各圧力室４４の圧力をそれぞれ変化させるために圧力室４４毎に配設される複数の振動部３５と、該各振動部３５の駆動に基づいて各圧力室４４に収容されているインクをそれぞれ噴射させるための複数のノズル開口２２とを備える。そして、各振動部３５のうちで連通孔から最も遠い位置に配置された振動部３５である特定振動部３５Ａの前後方向における幅を、各振動部３５の中で最も大きくなるようにした。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣの膨張収縮による不具合を回避し、電極接続部の信頼性が高く、圧電素子の連結によるヘッドの長尺化を可能とすると共に、構造が簡単で、安価な液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０をヘッド部１００、圧電素子２００、立体配線基板３００で構成するに際して、圧電素子２００の外部個別電極２３０及び外部共通電極２４０を互いに直交する２つの面に配置し、立体配線基板３００の個別接点部３４１及び共通接点部３５１を圧電素子２００の直交面に対峙する２つの面に配置し、圧電素子２００と立体配線基板３００とを組み合わせ、外部個別電極２３０と個別接点部３４１、外部共通電極２４０と共通接点部３５１とを当接させ、はんだ３７０、３８０で接合する。 （もっと読む）

【課題】バイポーラ分極−電界曲線がダブルヒステリシス性を示し、大きな変位が期待される新規な強誘電体膜を提供する。
【解決手段】強誘電体膜は、最大印加電界Ｅｍａｘと最小印加電界Ｅｍｉｎの絶対値とを同一に設定して（Ｅｍａｘ＝｜Ｅｍｉｎ｜）測定されるバイポーラ分極−電界曲線が、少なくとも５個の変曲点を有し、かつ、最大分極値Ｐｍａｘと最小分極値Ｐｍｉｎの絶対値とが略等しい（Ｐｍａｘ≒｜Ｐｍｉｎ｜）ダブルヒステリシス性を有するものである。強誘電体膜は、１種又は２種以上のペロブスカイト型酸化物からなり、不可避不純物を含んでいてもよい。 （もっと読む）

【課題】高精度な接合が可能で、安定した吐出特性が得られるものとする。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０を、加圧液室６が形成されたを備えた、圧電素子１２で振動される振動板２、ノズル４を備えたノズル板３、圧電素子１２を保持するフレーム部材１５で構成し、隣り合って配置される流路板１と振動板２とを、圧延加工された金属プレートを含むものとし、流路板１の金属プレートの圧延方向ａと直交する方向を加圧液室６の長手方向となるように配置し、振動板２の金属プレートの圧延方向ｂに沿った方向が加圧液室６の長手方向となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリンタヘッドなどに適用可能な耐久性を有する信頼性の高いＫＮＮ圧電薄膜を用いた圧電薄膜素子を提供する。
【解決手段】基板（１）上に、下部電極（２）と、圧電薄膜（３）と、上部電極（４）とを有する圧電薄膜素子において、前記圧電薄膜（３）は、一般式（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）ＮｂＯ_３（０＜ｘ＜１）で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の薄膜を有し、前記（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）ＮｂＯ_３薄膜（３）は、ヤング率が１００〜１３０ＧＰａの範囲であり、且つ密度が３.９８ｇ／ｃｍ^３以上である。 （もっと読む）

【課題】被記録媒体に印刷する解像度を高めながらも、被記録媒体に所望の形状をずれを抑えて印刷することが可能なヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体Ｗを吐出する複数の液体噴射孔４５が形成されたノズルプレートと、液体が貯留される複数の溝部４８を有し、これら複数の溝部中の液体を複数の液体噴射孔側へ向けてそれぞれ押圧する複数の圧電アクチュエータ４９ａ、４９ｂと、を有するヘッドチップ２６において、ノズルプレートと複数の圧電アクチュエータとの間に設けられ、液体を複数の液体噴射孔へそれぞれ導く複数の流路５４を備え、複数の液体噴射孔は１直線Ｃ上に列設されており、複数の液体噴射孔と複数の溝部とは、複数の流路を介してそれぞれ連通されている。 （もっと読む）

【課題】基板の反りに起因する接着部分の剥離を防止し、寸法精度の良い接合を実現する。
【解決手段】可とう性が異なる複数の接着剤を用いて第１及び第２の基板を接合する基板接合方法であって、前記第１及び第２の基板の少なくとも一方に溝部又は孔部を形成する加工工程と、前記溝部又は孔部が形成された基板の反り状態に応じて、前記第１又は第２の基板の接合面に対する前記複数の接着剤の塗布位置を決定する塗布位置決定工程と、前記塗布位置決定工程において決定された前記複数の接着剤の塗布位置に従って、前記第１又は第２の基板の接合面に対して前記複数の接着剤を塗布する塗布工程と、前記第１及び第２の基板を前記複数の接着剤を介して接合し、前記複数の接着剤を硬化させる接合工程と、含む基板接合方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で各ノズルから吐出する液滴の吐出特性のばらつきを低減させ、圧電素子全域を駆動領域として使用するアクチュエータを有する液滴吐出ヘッドの吐出特性を全チャンネルにわたり均一にする。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１のアクチュエータユニット１０を構成する圧電素子７の駆動素子柱２０のうち、端部の駆動素子柱２０ａに印加される電圧を端部以外の駆動素子柱２０ｂに印加される電圧よりも低く設定して、圧電素子７の端部の駆動素子柱２０ａの変位量を端部以外の駆動素子柱２０ｂの変位量と同じにして全ての駆動チャンネルの吐出特性のばらつきを低減させる。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドの小型化と低コスト化をさらに進展できるようにしたインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板１と、流路形成基板１の表面に形成された圧力発生室３と、流路形成基板１に形成されて圧力発生室３に連通するノズル開口部５と、流路形成基板１の表面側に形成されて圧力発生室３を覆う振動膜７と、振動膜７を挟んで圧力発生室３と対向する領域に形成された圧電素子１０と、流路形成基板１の表面であって圧力発生室３と並ぶ領域に形成されたドライバ回路９と、流路形成基板１の表面側に形成されて、ドライバ回路９と圧電素子１０とを接続する配線層２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】通常ペロブスカイト型構造をとりにくい、または結晶性が悪化するＢｉ系ペロブスカイト型酸化物を含み、強誘電性能（圧電性能）に優れたペロブスカイト型酸化物膜を提供する。
【解決手段】本発明のペロブスカイト型酸化物膜は、下記一般式（Ｐ１）で表されるペロブスカイト型酸化物を含むことを特徴とするものである。
Ａ（Ｂ_ｘ，（Ｃ_ｙ，Ｄ_１−ｙ）_１−ｘ）Ｏ_３ ・・・（Ｐ１）
（式中、０＜ｘ＜１．０、０＜ｙ＜１．０、ＡはＢｉを主成分とするＡサイト元素、ＢはＡとペロブスカイト構造をとる元素を主成分とするＢサイト元素、Ｃ及びＤはＡとペロブスカイト構造を取り得ない、又は取りにくい少なくとも１種のＢサイト元素。Ａ〜Ｄは互いに異なる各々1種又は複数種の金属元素である。） （もっと読む）

【課題】画像によって一度に打つドット数が異なり、ヘッドへの印加電圧が変動する場合でも、画像品質が劣化しないインクジェット記録装置。
【解決手段】圧電素子からなるノズル列を備えたヘッドに、第１信号経路を介して画像データを送信すると共に、第２信号経路を介して画像データのドット毎にデジタル駆動電圧を印加してインク滴を吐出させる信号を送信し、画像データに対応した画像を形成するインクジェット記録装置において、第２信号経路が持つインダクタンス成分によるデジタル駆動電圧の波形乱れを、ノズル列が一度に書き込む画像データドット数に対応させて補正する波形データを格納した補正テーブルを備え、ノズル列をデジタル駆動電圧の印加により駆動するに際し、一度に書き込むドット数に対応した波形データを補正テーブルから取り出し、当該波形データによりデジタル駆動電圧を修正し、当該デジタル駆動電圧をノズル列に印加する構成。 （もっと読む）