本開示は、質量流量コントローラのような、質量流量給送／測定デバイスを通過する質量流量を測定し検証する質量流量検証システムおよび方法に関する。質量流量検証システムは、予め設定されている容積、温度センサ、および圧力センサを備えている。質量流量測定デバイスの中にある隙間容積から生ずる誤差を補償するために、質量流量検証システムによって測定、検証、および判定された流量を調節することができる。 （もっと読む）

【課題】感熱素子の周囲温度と、感熱素子の温度補償のための処理を行う処理手段（処理回路）の周囲温度とが互いに無関係に変化しても、適切な温度補償が行えるようにする。
【解決手段】検出対象の温度に関する情報から感熱素子１の温度補償を行う一方、前記感熱素子１の温度補償のための処理および検出対象に対する所望の検出を行う処理手段（これには、例えば差動増幅器７が含まれる）に対してもそれ自身の温度に関する情報から温度補償を行うようにした。前記処理手段は、当該処理手段のオフセット調整および／またはゲイン調整をするための感温素子Ｒ９，Ｒ２を有していることが望ましい。 （もっと読む）

本発明にしたがって、流量計５における幾何学的熱補償のための計器電子装置２０が提供される。計器電子装置２０は、流量計５のセンサ信号と温度信号Ｔとを受け取るように構成されたインターフェース２３を備える。また、計器電子装置２０は、インターフェース２３と結合され、センサ信号と温度信号Ｔとを受け取るように構成され、温度信号Ｔを用いて１つ又は複数の流れ管路１３０、１３０’の幾何学的熱補償係数ＴＦｅを計算する処理システム２４を備える。幾何学的熱補償係数ＴＦｅは第１及び第２のセンサ信号を処理するのに用いられる。
（もっと読む）

【課題】 製品出荷後に複数種類の実使用ガスと複数の流量レンジに対応したマスフローコントローラに仕様変更を可能とすること。
【解決手段】 質量流量制御装置の初期状態において、校正ガスを用いて流量設定信号に対する実流量を計測した校正ガス特性データを求め、この校正ガス特性データを制御手段に記憶し、一方、複数種類の実ガス毎に流量設定信号に対する実流量を計測した実ガス特性データを求め、この実ガス特性データを記憶媒体に保存し、その後、前記質量流量制御装置を稼働する前に、実使用ガスの実ガス特性データを前記記憶媒体からコンピュータを介して読み出し、また、前記制御手段に記憶した校正ガス特性データを読み出し、前記実ガス特性データを元に前記校正ガス特性データを制御流量補正データに変換し、制御流量補正データを制御手段に書き込み、この制御流量補正データを基に実ガス流量を補正する流量制御補正方法である。 （もっと読む）

【課題】水蒸気が含有されているにもかかわらず、ガスのみの流量を計測できる高精度流量計を形成する方法の提供。
【解決手段】管体に取り付けられた第１流量計により流量値が検出されるガス供給経路にあって、第１流量計の下流側の管体に、第１流量計よりも測定精度が優れる第２流量計を取り付け、第２流量計の検出出力から水蒸気を含まないガスの流量を演算し、流量の演算結果から第１流量計により検出された流量値を補正し、この補正された流量値を第１流量計の出力値とし、第２流量計に替えて第３流量計を取り付け、第１流量計の出力値から第３流量計により検出された流量値を補正し、この補正された流量値を第３流量計の出力値とし、第１流量計における補正された流量値および第３流量計における補正された流量値はいずれも水蒸気を含まないガスの流量値に相当する値となっているとともに、管体から取り外した第３流量計を高精度流量計として得る。 （もっと読む）

【課題】水蒸気等が含有されているにもかかわらず、ガスのみの流量を正確に計測できる流量計測方法を提供。上述の正確な計測をするのに高価な流量計を用いる必要のない流量計測方法を提供。
【解決手段】管体を通してガスが供給され、該管体に取り付けられた第１流量計により該ガスの流量値が検出されるガス供給経路にあって、
該第１流量計の下流側の前記管体に、該第１流量計よりも測定精度が優れ該第１流量計とは異なる第２流量計を取り付ける行程と、
該第２流量計の出力から水蒸気を含まないガスの流量を演算する行程と、
該ガスの流量の演算結果から前記第１流量計により検出された流量値を補正し、この補正された流量値を前記第１流量計の検出値として用いる行程と、
前記管体から少なくとも前記第２流量計を取り外す行程と、を有し、
前記補正された流量値は水蒸気を含まないガスの流量値に相当する値となっていることを特徴とする流量計測方法。 （もっと読む）

【課題】 体積流量を適切に算出する。
【解決手段】 エンジンの上流圧（コレクタ圧）をコレクタモデルにより検出し、コレクタ圧、大気圧およびエンジン回転数Ｎｅに基づいて体積流量の算出に用いられるポンプ体積効率ηを算出する（ポンプ体積効率算出手段４４）。そして、ポンプ体積効率ηとエンジン回転数Ｎｅとに基づいて体積流量ｄＶを算出する（ｄＶ＝η×Ｖeng×Ｎｅ／１２０、体積流量算出手段４５）。コレクタ圧が大気圧より低いほどポンプ体積効率ηを小さくし、体積流量ｄＶを少なくする。 （もっと読む）

【課題】 プロセスガスによって流量制御機器の高精度な絶対流量検定を可能とする
【解決手段】 第１遮断弁２１及び第２遮断弁２２との間のガス流路３０と真空ポンプ１４の入口とを連通する排気流路３１と、排気流路３１に設けられた第３遮断弁２３、圧力センサ１１、温度センサ１２、及び第４遮断弁２４と、それらと接続し、ガス種固有の圧縮因子データ、及びマスフローコントローラ１０の出口と、第２遮断弁２２と、第３遮断弁２３により形成される所定の空間の容積値を記憶する検定用制御装置と、を有し、第１計測時及び第２計測時における、圧力Ｐ_１、温度Ｔ_１、それらに対応する第１圧縮因子Ｚ_１、容積Ｖ、から質量Ｇ_１を求め、第２計測時における、圧力Ｐ_１、温度Ｔ_２、それらに対応する第２圧縮因子Ｚ_２、容積Ｖから質量Ｇ_２を求め、質量Ｇ_１と、質量Ｇ_２との差により、マスフローコントローラ１０の絶対流量を検定する。 （もっと読む）

【課題】センサの特性曲線のできる限り精確なドリフト補正を可能にする、センサの信号を補正する方法及び装置を提供する。
【解決手段】センサ（１）の信号の少なくとも一つの特徴的なパラメータが基準値と比較され、センサ（１）の信号がその比較の結果に応じて補正される、センサ（１）の信号の補正方法において、基準値として、センサ（１）の信号から導き出された、センサ（１）の信号の少なくとも一つの特徴的なパラメータに関する値が形成される。 （もっと読む）

本発明の実施形態は流通装置（３０）の高速較正のためのシステム（２００）と方法を提供する。流通装置には製造者または第三者より較正流れ曲線（例えば、ｎ次多項式で表される）が与えられる。較正曲線は、プロセス流体や１つまたは複数の補正因子を使用して流通装置が実際にインストールされているシステムに対して調整できる。補正因子は簡単な実験的テストまたはプロセス流体の流体特性に基づく流れ曲線に対して決定され得る。補正された流れ曲線はその次に、将来の流れ制御に使えるよう流通装置に保存される。
（もっと読む）

【課題】気体流量計の電子回路の高集積化、出力特性調整の高精度化に好適な手段を提供する。
【解決手段】電源に印加される過電圧、サージ、高周波ノイズを低減するノイズ低減回路、気体流量検出回路とデジタル調整回路により気体流量計を構成するようにした。また、調整演算において、入力値により、予め用意した予め用意した１次式による調整演算式を選択することにより、非線形な調整もできるようにした。また、集積回路内でセンサ出力経路とデータ入出力経路を兼用し、スイッチで切り替える手段を持たせることにより端子数を減らした。 （もっと読む）