【課題】空気流量測定装置１に関し、製造工程の煩雑さを低減してコストダウンを達成する。
【解決手段】空気流量測定装置１によれば、筐体４は、バイパス流路３を形成する１次成形品１９に導通部材７を保持させる組立工程と、１次成形品１９に導通部材７を保持させた組立体２０を所定の金型内にインサートして２次モールド部２１を射出成形する成形工程とを経て設けられる。これにより、導通部材７をインサート品としてターミナル付き成形品をインサート成形により設ける必要がなくなるので、少なくともインサート成形を１工程分省くことができる。このため、空気流量測定装置１に関し、製造工程の煩雑さを低減してコストダウンを達成することができる。 （もっと読む）

【課題】薄肉部としてのセンシング部を有するセンサチップをケースに片持ち支持してなる流量センサにおいて、センサチップを支持するケースを加工することなく、センサチップ裏面の凹部における乱流の発生防止を適切に行う。
【解決手段】センサチップ２０の裏面２０ｂには、剛体としての板状の裏面側チップ３０が凹部２５を覆うように貼り付けられており、裏面側チップ３０の他面３０ｂのうち支持部２４に対応する部位を、ケース１０に固定して両チップ２０、３０をケース１０に片持ち支持しており、両チップ２０、３０の貼り合わせ界面において裏面側チップ３０側に、凹部２５を外部に開放する開放孔３１が設けられ、この開放孔３１は、裏面側チップ３０の一面３０ａに設けられた３２とセンサチップ２０とが共同して形成するトンネルとして構成されている。 （もっと読む）

【課題】消費電力の低いフローセンサを提供する。
【解決手段】裏面に第１の凹部１１が設けられ、第１の凹部１１の上方の表面に第２の凹部１２が設けられた基板１と、第２の凹部１２を覆うように基板１の表面上に配置された膜２と、膜２の裏面に配置され、第２の凹部１２に格納された、第１の測温素子３２、発熱素子３１、及び第２の測温素子３３と、を備えるフローセンサ。 （もっと読む）

【課題】計測精度の高いフローセンサを提供する。
【解決手段】表面に開口を有する穴が設けられた基板１と、穴を覆うように基板１の表面上に配置された膜２と、穴を覆う膜２に設けられた電気抵抗素子３１、３２、３３と、を備え、基板１に、基板１の外部と、基板１に設けられた穴の内部と、を結ぶ流路１２が設けられている、フローセンサ。 （もっと読む）

【課題】流路を構成する部材間の密閉性を高め、ハロゲン系ガスに対しても使用可能な耐腐食性を有するＭＥＭＳ型流量センサを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、流量センサ１０は、基材１１の表面と流路構成基材２１の裏面とが対向するように貼り合わせて、固定部材によって固定される。基材１１は、表面上の流路形成領域に、一対の感熱膜１２と、一対の感熱膜間の中間に位置するヒータ膜１３と、流路保護膜１５と、を有し、流路形成領域以外の領域上に、耐腐食性を有する金属保護膜を有する。流路構成基材２１の裏面の流路形成領域に形成される溝と、流路形成領域以外の他の領域と溝とを区切り、他の領域に比して突出する側壁構成部と、を有し、耐腐食性を有する材料によって構成される。流路構成基材２１の側壁構成部は、基材１１の金属保護膜上に位置するように圧着される。 （もっと読む）

【課題】空気流量測定装置において測定範囲を高流量側に拡大しても、底流の乱れを抑制して薄膜１１の表面の素子の出力を安定させる。
【解決手段】支持部材７の凹部２０の底面２０ａに、薄膜１１と対向する位置よりもＸ軸方向一方側、かつ薄膜１１と対向する位置よりもＹ軸方向一方側の範囲に溝２５を設ける。また、溝２５内における空気の流れ方向がＸ軸方向およびＹ軸方向に対して傾斜するように、かつ、溝２５内に導入された空気が薄膜１１の裏側に向かうように、溝２５を設ける。これにより、底流は、薄膜１１と対向する位置よりもＸ軸方向一方側、かつ、薄膜１１と対向する位置よりもＹ軸方向一方側の領域では、薄膜１１の裏側に向かうように整流される。このため、空気流量測定装置において測定範囲を高流量側に拡大しても、底流の乱れを抑制して薄膜１１の表面の素子の出力を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】破損しにくい流量計を提供する。
【解決手段】流路が設けられた筐体と、流路を流れる流体の流量又は流速を検出するための流れセンサ８と、を備える流量計であって、流れセンサ８が、凹部６６が設けられた基板６０と、流路と平行に凹部６６を橋状に跨ぐ膜１６５と、流路に沿って膜１６５に設けられた、第１の測温素子６２、発熱素子６１、及び第２の測温素子６３と、を備える、流量計。 （もっと読む）

【課題】発熱部の温度分布に関し、発熱抵抗体の形状に制限されることなく、配線から基板への熱損失を小さくすることで、発熱抵抗体自体の温度分布を平均化し、発熱部で最も高温となる部分の劣化を防止する発熱装置を提供する。
【解決手段】発熱装置は、基板に設けた空洞上に形成した発熱体の全体に通電する主通電手段と、少なくとも1つ以上の前記発熱体の一部の範囲に通電する副通電手段を有する発熱装置であって、前記主通電手段と前記副通電手段は連動して間欠動作し、さらに前記発熱体の共通部分の発熱量を低下させる。 （もっと読む）

【課題】センサ部の出力変動を抑えた空気流量測定装置を提供する。
【解決手段】センサ部３は、副々空気通路２のＵターン部に配置されるものであり、センサ配置部の上流側に上流曲がり部４が存在する。この上流曲がり部４の通路途中に上流絞りαを設け、上流曲がり部４において通路面積を減少させる。これにより、分岐部で発生した空気流の乱れを上流曲がり部４（上流絞りα）において整流することができ、センサ部３の出力変動を抑えることができる。また、上流絞りαを成す上流曲がり部４の内側壁面４ａを滑らかな曲面（Ｒ面等）に設けることで、上流曲がり部４の内側壁面４ａで空気の剥離を回避することができ、空気剥離によるセンサ部３の出力変動を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】金型でのクランプによる半導体素子のバリ発生や破断を防止した製造方法を用いて、半導体素子の一部と電気制御回路の表面を樹脂で封止する流量センサの構造を提供する。
【解決手段】空気流量検出部とダイヤフラムとを形成した半導体素子と、前記半導体素子を制御するための電気制御回路部を配置した基板またはリードフレームを備え、前記空気流量検出部を露出させた状態で、前記半導体素子の一部表面を含み、前記電気制御回路部の表面が樹脂で覆われている空気流量センサの構造を用いる。樹脂モールド、基板、予めモールドしたプリモールド部品などの面が、半導体素子の空気流量検出部分の設置面と直交する３面と連続して接触しない状態で、半導体素子を囲んだ流量センサの構造や、バネの変形や弾性体フィルムの肉厚方向の変形により半導体素子の寸法バラツキを吸収できる製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】センサチップと筐体との隙間に溜まった液体が凍結する際の体積膨張によるセンサチップのメンブレンの破損を防止できる流量センサを提供する。
【解決手段】凹部１２を有する筺体１０と、この凹部１２に収容され、流体の流量を検出するセンシング部をなすメンブンレン２５を有するセンサチップ２０とを備え、筐体の凹部１２の底面１２ａおよび側面１２ｂとセンサチップ２０との間に隙間２７が設けられており、筺体１０のうち隙間２７に面する部分１３に、隙間２７に溜まった液体が凍結する際の体積膨張によって変形する薄膜部１３ａが設けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】空気流量測定装置１による吸気の湿度測定に関して精度および応答性を高める。
【解決手段】空気流量測定装置１は、吸気路に露出するセンシング部を有し、筐体７の外壁から吸気路に突出して吸気路を流れる吸気の湿度に応じた信号を発生する湿度センサ２４を備える。これにより、湿度センサ２４のセンシング部は、流速が大きい吸気路の中央に突出するように配置されるので、吸気路の路壁や筐体７を構成する樹脂材料との熱的な絶縁性が向上するとともに、壁面抵抗の影響が小さくなる。また、筐体７のバイパス形成部１１の存在により、バイパス形成部１１近傍の吸気路における流れは絞られて流速が大きくなるので、湿度センサ２４に対する熱的絶縁性の向上および壁面抵抗の影響低下は、一層顕著になる。以上により、空気流量測定装置１による吸気の湿度測定に関して精度および応答性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】厚さが薄く破壊耐圧の高いメンブレンを有する流量センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板の開口部４３は、薄肉のメンブレン３３により覆われている。メンブレン３３には、ヒータ８１、傍熱抵抗８２および測温抵抗８３を有するセンシング部３２が形成されている。センシング部３２を構成する配線パターンのうち、開口縁と略垂直に交差する部分が、８μｍを超える幅に形成されている。 （もっと読む）

【課題】媒体の低い値及び非常に大きな範囲の質量流量が比較的高い正確度で測定できる方法及び流量計を提供する。
【解決手段】この流量計１は、流量を測定すべき媒体を輸送するための流管２１，２２を備えている。この流管は、供給端部４及びその下流に配設された吐出し端部６を有している。流量計１には、流管の第一の位置で媒体の流量を測定するための第一の流量センサー１１が設けられている。流量計１には、流管の第二の位置で媒体の流量を測定するための第二の流量センサー１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】バイパス流路５を流れる一部の空気がサブバイパス流路６へ逆流することによる空気の乱れを低減できるエアフロメータを提供する。
【解決手段】流路形成ボディには、エンジンに吸入される空気の一部を取り込むバイパス流路５と、このバイパス流路５を流れる空気の一部を取り込むサブバイパス流路６とが形成され、このサブバイパス流路６にチップ式のセンサ部が配置されている。サブバイパス流路６の入口６ａには、順流の向きと逆流の向きとを整流する整流板１４が配置されている。この整流板１４により、サブバイパス流路６の入口６ａに順流の通り道と逆流の通り道とを形成できるため、順流と逆流との衝突による乱れを低減でき、センサ部の検出精度が安定する。 （もっと読む）

【課題】空気流量測定装置１において、ダストの流量センサ４への到達を防ぐことを目的とする。
【解決手段】空気流量測定装置１は、バイパス流路６の途中に分岐するサブバイパス流路７内に流量センサ４が配されている。そして、分岐１１より上流側のバイパス流路６を形成する流路壁面の内、サブバイパス流路７が分岐する方向側に位置する第１壁面１５は、第１壁面１５に沿って下流側に向かう流れが分岐１１から遠ざかるような形状に湾曲しており、第１壁面１５に対向する第２壁面１６は、分岐１１から遠ざかるように湾曲している。これによれば、バイパス流路６には分岐１１から遠ざかる方向へ進む流れが形成されるため、ダストはその流れに乗って進む。このため、ダストは分岐１１からサブバイパス流路７へ浸入しにくくなる。従って、ダストの流量センサ４への到達を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】測定精度を向上した熱式流量計を提供すること。
【解決手段】被測定流体の流れに曝されるように配設した基板と、基板の一部を矩形状に除去することにより形成した薄膜部と、薄膜部に設けた発熱手段と、薄膜部に設けた少なくとも第１から第４の温度検出体と、第１から第４の温度検出体のそれぞれが接続された第１から第４の配線を備え、被測定流体の流れによる薄膜部上の温度分布の変化を第１から第４の温度検出体で検出することにより、被測定流体の流量を検出する熱式流量計において、第１から第４の温度検出体は、薄膜部内で第１から第４の配線と接続されており、第１から第４の配線は、薄膜部の端部の４辺のうち被測定流体の流れに沿った辺を通って薄膜部外に引き出され、且つ、薄膜部の端部の４辺のうち流体の流れに交差する辺を通る２つの線により挟まれた領域において第１から第４の配線が結線されることによってブリッジ回路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】センサチップ１２の裏側を流れる空気の乱れを抑制することにより、センサ出力を安定化できるエアフロメータを提供する。
【解決手段】センサチップ１２を保持するケース１３は、空気の流れに沿った表面に凹部１３ａが形成され、この凹部１３ａにセンサチップ１２を収容すると共に、センサ基板７の他端側を接着剤１４により凹部１３ａの底面に固定してセンサチップ１２を片持ち支持している。つまり、ダイヤフラム８が形成されるセンサ基板７の一端側は、凹部１３ａの底面に接着されていないため、センサ基板７と凹部１３ａとの間に隙間を有している。このケース１３には、ダイヤフラム８を形成するために除去されたセンサ基板７の空洞部７ａに対し、凹部１３ａの底面から突起して空洞部７ａに入り込む凸状部１３ｂが設けられ、空洞部７ａとの間に略均一な隙間を形成している。 （もっと読む）

【課題】空気流量測定装置の筐体２として利用する樹脂製中空体１をＤＳＩ法により製造するにあたり、中空６を仕切る仕切り壁１２の空気漏れ防止に対する信頼性を高める。
【解決手段】ＤＳＩ法の１次成形工程では、仕切り壁１２を構成する接合縁２０ａｉ、２０ｂｉにそれぞれ線状の溝２１を設け、型移動工程では、接合縁２０ａｉ、２０ｂｉを当接させることにより、２つの溝２１を併せた線状の空洞２３ｉを形成する。そして、２次成形工程では、空洞２３ｉに溶融樹脂を充填して線状の２次モールド部２４ｉを成形することで接合縁２０ａｉ、２０ｂｉを溶着接合して仕切り壁１２とする。これにより、２次モールド部２４ｉを、空気の通路７に沿わせることができるので、仕切り壁１２の空気漏れ防止に対する信頼性を高めることができる。 （もっと読む）