【課題】優れた検出精度を有する物理量検出器を提供すること。
【解決手段】本発明の圧力センサー１（物理量検出器）は、外部からの圧力により変位する変位部３１を有するダイアフラム３と、ダイアフラム３の外周部３２を保持するリング状のリング部２１と、ダイアフラム３の一方の面側にてリング部２１から内側に突出する突出部２２とを有する保持部材２と、突出部２２に固定された支持体６と、変位部３１に固定された基部５１と、支持体６に固定された基部５２と、基部５１、５２間に設けられ、振動が励振される振動部５３とを有する圧電振動子５とを備える。 （もっと読む）

【課題】容易に高度情報を考慮した気圧データを取得することが出来る気圧測定装置を提供する。
【解決手段】間欠的に気圧を測定する気圧測定手段と、気圧が測定された位置における高度データをＧＰＳ測位装置から受信する受信手段と、気圧測定手段により測定された気圧の値を、受信手段で受信された高度データに基づいて所定の高度における気圧の値に補正した補正気圧データを取得する補正手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】防水防振材となるポッティング材で大気圧センサ全体が覆われてしまうのを防止しつつ、基板全体の防水防振機能を得ることができる、電子制御ユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】センサ保護ケース７の天井壁９にあけた大気連通孔１２を取り外し可能な閉塞体１３で閉塞し、センサ保護ケース７の外側で基板ケース５内にポッティング材１４を注入し、センサ保護ケース７内の空気圧で、センサ保護ケース７の周壁８と基板１との隙間からのポッティング材１４の流入を抑制することにより、センサ保護ケース７内のポッティング材１４の表面高さをセンサ保護ケース７外のポッティング材１４の表面高さよりも低くなるようにして、大気圧センサ２全体をポッティング材１４で覆うことなく、基板１全体をポッティング材１４で覆う。 （もっと読む）

【課題】飛行物体が離着陸する施設において発生するダウンバースト等の気象変動を予測するために利用可能な情報をリアルタイムに可視化して提供することができる気象変動情報提供システム、気象変動情報提供方法、気象変動情報提供プログラム及び記録媒体を提供すること。
【解決手段】気象変動情報提供システム１は、飛行物体の離着陸の目標位置を含む離着陸領域に分散して配置される複数の気圧計測装置２と、データ処理装置４と、を含む。データ処理装置４は、複数の気圧計測装置２の各々から気圧データを取得する気圧データ取得部３２と、気圧データ取得部３２が取得した気圧データに基づいて、気圧の変化に起因して発生する局所的な気象変動に関する情報を生成する気象変動情報生成部３４と、を含む。気象変動情報生成部３４は、気象変動に関する情報の少なくとも一部として、離着陸領域における気圧分布を表す時系列の画像情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】気圧測定用発振器を用いた新たな気圧推定手法の提案。
【解決手段】水晶振動子型気圧センサー１において、処理部１０は、基準発振器３０の発振周波数を気圧測定用の水晶発振器２０の発振周波数に合わせるように制御する。そして、処理部１０は、基準発振器３０の基準発振信号と水晶発振器２０の水晶発振信号との位相差をコスタスループを用いて検出する。そして、処理部１０は、基準発振器３０の発振周波数と位相差とを用いて気圧を推定する。 （もっと読む）

【課題】ケースの内圧の一時的な変化した場合であっても、大気圧計測センサの異常を誤判定することのない内燃機関の制御装置を提供する。
【解決手段】この発明による内燃機関の制御装置は、制御パラメータの一部に大気圧を用いて内燃機関を制御する制御回路と、前記大気圧を計測する大気圧計測センサと、前記制御回路のうちの少なくとも一部と前記大気圧計測センサを収納するケースと、前記大気圧計測センサが計測した大気圧計測値に基づいて前記大気圧計測センサの異常を判定する大気圧計測センサ異常判定手段とを備え、前記大気圧計測センサ異常判定手段を、前記大気圧計測値の単位時間当たりの変化量が所定値より大きく、かつ前記変化量が前記所定値より大きい状態が所定時間以上継続したとき、前記大気圧計測センサが異常であると判定するように構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】支持手段による副共振が感圧素子の主共振へ影響することを抑制できる圧力センサーの構造を実現することを目的としている。
【解決手段】容器の開口部２２を封止し、可撓部２４ｂと当該可撓部２４ｂの外側の周縁部２４ｃとを有し、前記可撓部２４ｂが力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記周縁部２４ｃに一端を固定し、他端を前記一端から前記可撓部の変位方向と平行に延出した複数の支持手段３２と、第１の基部４０ａと第２の基部４０ｂとを有し、前記第１の基部４０ａと前記第２の基部４０ｂとを結ぶ方向が前記可撓部２４ｂの変位方向と平行となるように前記第１の基部４０ａと前記第２の基部４０ｂが配置され、前記第１の基部４０ａが前記可撓部２４ｂの内側の中央部２４ａに固定された感圧素子４０と、前記第２の基部４０ｂと、前記支持手段３２の前記他端とを接続する固定部３４と、を備え、前記支持手段３２に前記感圧素子４０よりもＱ値が低い緩衝部５０を配置したことを特徴とする圧力センサー。 （もっと読む）

【課題】高精度な圧力検出を可能としつつ、圧電振動素子の面方向に対して手垂直な方向の衝撃に対する耐性が高い圧力センサーを提供する。
【解決手段】受圧方向へ変位する中央部３０と、中央部３０の外周に位置して変位することを抑えられた周縁部３４とを有するダイアフラム２８と、前記中央部の変位方向に沿って検出軸を定めた感圧部としての振動腕４０と振動腕４０を挟持する一対の基部（第１の基部４２と第２の基部４４）とを有し、第１の基部４２を中央部３０における一方の面に固定される感圧素子３８と、ダイアフラム２８の外周側に配置され、感圧素子３８配置側に位置する主面に段差部２７を備えるリング部２２と、感圧素子３８における第２の基部４４をダイアフラム２８における周縁部３４、または段差部２７に接続する支持板本体５０と、支持板本体５０と平行に配置され、感圧素子３８の傾倒を防止するストッパー６０，６４とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】局地的に発生して短時間に消滅する所与の気象変動を予測するための情報を提供する気象変動予測情報提供システム及び気象変動予測情報提供方法を提供すること。
【解決手段】気象変動予測情報提供システム１は、局所的な特定地域に配置された少なくとも１つの気圧計測装置２と、気圧計測装置２の各々が計測した気圧データを処理するデータ処理装置４とを含む。気圧計測装置２の各々は、気圧に応じて共振周波数を変化させる感圧素子を有し、当該感圧素子の振動周波数に応じた気圧データを出力する気圧センサー１０を含む。データ処理装置４は、気圧計測装置２の各々が計測した気圧データを継続して取得する気圧データ取得部３２と、気圧データ取得部３２が取得した気圧データに基づいて、局所的な特定地域における所与の気象変動を予測するための情報を生成する気象変動予測情報生成部３４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧力センサをパッケージする際に、封止樹脂が拡がることを防止するため、基材上にパッケージカバーを接合した後に樹脂を滴下していたが、パッケージカバーの天井部に設けられた圧力導入口が樹脂により塞がれる問題が発生した。
【解決手段】樹脂で覆われた表面に外部の圧力を測定可能な圧力受感部を有する圧力センサと、圧力センサに電気的に接続された基材と、圧力センサを内部に収容する基材に接合されたパッケージカバーとを備え、パッケージカバーには外部の圧力を圧力センサに反映させる圧力導入口があり、パッケージカバーの内面に圧力導入口を囲むよう突出部が形成されている。 （もっと読む）

【目的】
単純な構造と回路構成で、極低気圧から1気圧以上の気圧も1つのセンサチップを用いて計測できる高帯域の気圧を高感度、高精度の（加熱励振を利用した）熱伝導型気圧センサを提供する。
【手段】
カンチレバ状の薄膜１０に、薄膜温度センサと加熱手段および励振手段を設けてあり、薄膜ヒータの加熱手段による間欠加熱時の薄膜を構成する主たる二層の熱膨張の違いに基づく反り曲がりを利用して励振手段にしたこと、主たる二層として熱膨張係数に非常に大きな差があるシリコン層とシリコン熱酸化膜を使用する。また、ゼーベック電流の所定時間の積分により高感度化する回路や気流の影響を抑制するキャップを具備することができる。 （もっと読む）

【課題】効果的に外装ケースの小型化を図ることができ、かつ圧力センサのレイアウト性を高めることが可能なセンサ付電子機器を提供する。また、外装ケースのシール性を確実に確保することができるセンサ付電子機器を提供する。
【解決手段】外装ケース２と、この外装ケース２内に設けられ、圧力を検出するセンサユニット４と、これら外装ケース２とセンサユニット４との間に設けられ、外装ケース２にセンサユニット４を取り付けるためのセンサ保持枠５とを備え、このセンサ保持枠５は、センサユニット４を収納し、かつセンサユニット４のセンサ本体２４の前面２４ａに圧力を取り込む圧力室３２が設けられているセンサ収納部２８と、外装ケース２の外側から圧力室３２へと圧力を導く圧力導入路３１とを有し、センサ収納部２８の中心軸Ｐ２と、圧力導入路３１の中心軸Ｐ１とがずれている。 （もっと読む）

【課題】力伝達部の構造を簡素化し、小型、低コスト、高精度で温度変化に強い力検出ユ
ニットを得る。
【解決手段】力検出ユニットは、圧力入力口１１を有した底板６、該底板６に対向配置さ
れた天板７、及び外周側壁８を有したハウジング５と、圧力入力口１１を閉止するダイア
フラム１０と、ハウジング５内部に配置された感圧部１３と、を備えたている。感圧部１
３は、ダイアフラム１０の中央領域で連結して一体化し、力の伝達を可能としたセンター
シャフト１４と、センターシャフト１４に固定された可動受け台１６と底板６に設けた第
１固定受け台６ａとに両端部が取り付けられた第１の感圧素子１８と、可動受け台１６と
底板６に立設して一体化した支柱１２の端部に設けた第２固定受け台１２ｂとに両端部が
取り付けられ第２の感圧素子１９と、を有した力検出ユニットである。 （もっと読む）

【課題】圧力検出が高感度、高精度、高確度で信頼性が高く、ウォッチに実装可能な小型
、低背型の絶対圧力感知ユニットを得る。
【解決手段】圧力感知ユニットは、振動部１１ａ、１１ｂ、及び振動部１１ａ、１１ｂの
両端に夫々接続される被支持部（基部）１２ａ、１２ｂを有する圧電振動片１０と、各被
支持部１２ａ、１２ｂを夫々支持する一対の突出部８ａ、８ｂを一面に備えたダイアフラ
ムとしての薄肉部７ａを有した基板６と、圧電振動片１０を含む薄肉部７ａの一面を気密
的に包囲するために基板６に固定された蓋部材２０と、を備えたことを特徴とする圧力感
知ユニットである。 （もっと読む）

【課題】ＧＰＳ受信装置が無くても大気圧センサの異常検出を行うことができるようにする。
【解決手段】前後加速度センサの検出信号に基づいて検出される勾配角度θや車輪速度センサの検出信号に基づいて演算される推定車体加速度ｄＶに基づいて高度変化量を算出し、高度変化量から気圧変化量を推定する。そして、気圧変化量のセンサ値と推定値とを比較することにより、大気圧センサの異常を検出する。これにより、ＧＰＳ受信装置が無くても大気圧センサの異常検出を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】大気圧センサの固着異常の有無を、従来の方法とは異なった方法で検出する。
【解決手段】車両周辺の大気圧はエンジンの作動状態に基づいて推定される。推定値である本推定値は、更新条件が満たされると更新されるのであり、段階的に変化させられる。そして、車両周辺の大気圧が低下する傾向にある場合において、異常検出開始条件が成立してから、本推定値が更新されるまでの間に、本推定値が大気圧センサによる検出値より小さい場合に、この間の大気圧センサの検出値の最大変化幅が固着異常判定しきい値以上の場合には大気圧センサは正常であるとされ(a)、変化量の絶対値が固着異常判定しきい値より小さい場合には固着異常であるとされる(b)。 （もっと読む）

【課題】水晶基板の結晶欠陥に起因する貫通孔を抑制した積層基板の製造方法、ダイアフラムの製造方法、圧力センサーの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の積層基板４００の製造方法は、第１及び第２の水晶基板１００，２００を接合し基板間に接合層１０５を形成する工程と、前記第１又は／及び第２の水晶基板１００，２００を前記接合層１０５に向かってエッチングして薄肉部２０５を形成する工程と、からなることを特徴としている。 （もっと読む）

【目的】
単純な構造と回路構成で、極低気圧から1気圧以上の気圧も1つのセンサチップを用いて計測できる高帯域の気圧を高感度、高精度の（加熱励振を利用した）熱伝導型気圧センサを提供する。
【手段】
カンチレバ状の薄膜１０に、薄膜温度センサと加熱手段および励振手段を設けてあり、薄膜ヒータの加熱手段による間欠加熱時の薄膜を構成する主たる二層の熱膨張の違いに基づく反り曲がりを利用して励振手段にしたこと、主たる二層として熱膨張係数に非常に大きな差があるシリコン層とシリコン熱酸化膜を使用する。また、ゼーベック電流の所定時間の積分により高感度化する回路や気流の影響を抑制するキャップを具備することができる。 （もっと読む）

【課題】波長変化の検出精度を向上させる波長検出装置、圧力検出装置、除振装置、および露光装置を提供する。
【解決手段】前記光源部から射出される光を複数の光に分離し、当該分離した複数の光のうち少なくとも２つの光を干渉させる光学部と、前記干渉によって得られた干渉光を受光する受光部と、前記受光部によって受光された干渉光の干渉強度を検出する検出部とを備え、前記光学部は、前記干渉させる２つの光のうちいずれか一方の光を測定対象となる媒質に透過させる測定媒質部を備える。 （もっと読む）

【課題】気密封止したハウジングのシール部の温度変化による応力の集中を改善する力検出器及び力検出器用ハウジングを提供する。
【解決手段】本発明の力検出器は、少なくとも何れか一方は受圧手段を支持する端板状の第１及び第２のケースと、前記第１及び第２のケースを互いに対向させると共に、前記第１及び第２のケースとの間の領域を内部空間とするように前記領域を取り囲む側面部材を形成する第３のケースと、を備えたハウジングと、前記受圧手段に立設する力伝達手段と、感圧部と、該感圧部の両端に接続された一対の基部とを有すると共に、一方の前記基部を前記力伝達手段に、他方の前記基部を前記ハウジング内面部に固定した感圧素子２８と、を有し、前記第３のケースに周状に緩衝手段を設けたことを特徴としている。 （もっと読む）