【課題】微小領域に設置して使用する用途においても利用することができる程度に十分に薄い圧力センサのパッケージを提供すること。
【解決手段】パッケージ１は、固定電極を有する第１基板１１ａと、この固定電極と所定の間隔をおいて配置された可動電極を有する第２基板１１ｂとを接合してなる圧力センサ１１と、第２基板１１ｂを収容可能な開口部１２ａを有する支持基板１２と、圧力センサ１１及び支持基板１２を固定する樹脂層１３とから主に構成されている。圧力センサ１１は、第２基板１１ｂが開口部１２ａに嵌め込まれるようにした状態で第１基板１１ａと接合部材１４を介して支持基板１２上に実装されている。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板を表面側からエッチングすることができる、静電容量型センサの製造方法および静電容量型センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板２の表面上に、保護層４がパターン形成された後、保護層４が形成されていない保護層非形成領域と対向し、その保護層非形成領域の一部が露出するように、第１金属層５が形成される。その後、第１金属層５上に、第１絶縁層８、金属犠牲層、第２絶縁層１５、第２金属層１２がこの順に形成される。そして、金属犠牲層に金属エッチング液が供給されることにより、金属犠牲層が除去される。また、金属犠牲層が除去された部分から、金属犠牲層の除去によって露出した保護層非形成領域を介して、シリコン基板２にシリコンエッチング液が供給される。これにより、シリコン基板２の一部が除去されて、裏面側ほど寸法が小さくなる断面台形状の貫通孔３が形成される。 （もっと読む）

【課題】基板とダイヤフラムとの間のギャップ間隔が数μｍ程度のサイズであっても、高感度で圧力を検出することができる圧力センサのパッケージを提供すること。
【解決手段】パッケージ１は、圧力センサを収容する収容領域を有するパッケージ本体１１と、ダイヤフラムを有し、パッケージ本体の収容領域内に収容された容量型の圧力センサ１２と、圧力センサ１２を収容した状態でパッケージ本体を密閉する蓋部材１３と、圧力センサ１２をパッケージ本体１１に固定する接着剤１４と、圧力センサ１２のボンディングパッド１２ａとパッケージ本体１１の導電部１１ｄとを電気的に接続するボンディングワイヤ１５とから主に構成されている。パッケージ本体１１と圧力センサ１２との間の接着領域は、載置底面１１ｂにおいて、圧力センサ１２のダイヤフラムの投影領域以外の領域である。 （もっと読む）

【解決手段】
構造物内で容量的に結合された電極の少なくとも一つの対が、ダイヤフラムに加えられる圧力または力を測定する圧力または力センサー内のダイヤフラムの撓みを検知するために用いられる。構造物は、半導体ウエハー、または、平面表示パネルなどの実際の基板の特性（寸法、硬度、面積、柔軟性などの一つまたは複数の特性）と実質的に同じ特性を有することが好ましい。せん断力の測定に関しては、部材が研磨または平坦化のプロセスを経る表面に対して接触し、押し付けられ、二つの表面間に水平方向の力が加えられる場合に、部材上のせん断力を測定するために少なくとも一つのセンサーが用いられる。構造物と構造物表面が、半導体ウエハーまたは平面表示パネルなどの実際の基板と実質的に同じ特性（寸法、摩擦係数などの一つまたは複数の以上の特性）を有することが好ましい。 （もっと読む）

コンデンサ装置（１）と、コンデンサ装置の有効信号のための後置接続された増幅器（７）とを備えるマイクロメカニカルセンサ素子のための回路装置を提案する。この回路装置によって、コンデンサ装置（１）の基本容量の目標値からの偏差を簡単に調整することが可能となる。このためにこの回路装置は、以下のような制御信号、すなわちコンデンサ装置（１）の有効信号とは分離されているが、コンデンサ装置（１）の基本容量に依存している制御信号を形成する回路手段を有し、この制御信号は、増幅器（７）に供給され、増幅器が制御される。
（もっと読む）

【課題】圧力に対する容量変化の直線性に優れ、しかもセンサ個体間のばらつきの小さいサーボ式圧力センサを提供すること。
【解決手段】ダイヤフラム１９ａに外圧力が加わると、その外圧力により変形してガラス基板１１側に変位する。外圧力によるダイヤフラム１９ａの変位に起因する静電容量の変化は制御部２１で検知することができる。制御部２１は、サーボ電極１３に印加する電圧を制御して、ダイヤフラム１９ａに加わっている外圧力に抗する斥力をサーボ電極１３とエレクトレット層２０との間で生じさせる。この斥力により、ダイヤフラム１９ａを所定の位置に保持することができる。このときのサーボ電極１３への印加電圧をパラメータとして、その変化を圧力変化とする。 （もっと読む）

【課題】圧力に対する出力の直線性に優れ、しかもセンサ個体間のばらつきの小さいサーボ式圧力センサを提供すること。
【解決手段】ダイヤフラム１６ａの主面１６ａ₂に外圧力が加わると、その外圧力により変形してガラス基板１１側に変位する。ダイヤフラム１６ａとガラス基板１１上の固定電極１４との間には、所定の静電容量を有するので、ダイヤフラム１６ａが変位すると、その静電容量が変化する。この静電容量の変化で外圧力の変化を検知する。制御部１９は、ダイヤフラム１６ａを所定の位置に保持するように制御を行う。制御部１９は、スパイラルコイル１３に印加する電流を制御して、ダイヤフラム１６ａを所定の位置に保持するようにサーボ制御を行う。このときのスパイラルコイル１３への通電量をパラメータとして、その変化を圧力変化とする。 （もっと読む）

【課題】サーボ動作の際にダイヤフラムの挙動が安定し、精度良く圧力を測定することができるサーボ式圧力センサを提供すること。
【解決手段】ダイヤフラム１５ａに外圧力が加わると、その外圧力により変形してガラス基板１１側に変位する。外圧力によるダイヤフラム１５ａの変位に起因する静電容量の変化は制御部１９で検知することができる。制御部１９は、サーボ電極１８に印加する電圧を制御して、ダイヤフラム１５ａに加わっている外圧力に抗する引力をダイヤフラム１５ａとサーボ電極１８との間で生じさせる。この引力により、ダイヤフラム１５ａがサーボ電極１８側に引き付けられる。このようにして、ダイヤフラム１５ａを所定の位置に保持するようにサーボ制御を行う。このときのサーボ電極１８への印加電圧をパラメータとして、その変化を圧力変化とする。 （もっと読む）

【課題】線形な圧力−共振周波数特性を有する圧力センサモジュールを提供する。
【解決手段】圧力センサモジュール１は、厚み滑り振動モードのＡＴカット水晶振動子２とそれに並列に接続された圧力センサ３とを備える。圧力センサは、気密に接合した上側基板４と下側基板５間に画定される真空チャンバ内に、上側基板のダイヤフラム６下面の第１電極９と下側基板上面の誘電体膜１２で被覆した第２電極１１とから構成されるコンデンサの静電容量が、外部圧力でダイヤフラムが撓む際に第１電極と誘電体膜とが接触する面積により、該圧力に関して指数関数的に変化する。水晶振動子は対数関数的な負荷容量−周波数変化特性を有するので、これらの組合せによって圧力センサモジュールの並列共振周波数と外部圧力との間に線形関係をもたせることができる。 （もっと読む）

【課題】静電容量型圧力センサの非線形性を改善すること。
【解決手段】入力によってキャパシタを構成する二つの電極間の距離を変化させずに、圧
力センサの面積を変化させることで、入力に対する出力が線形的に変化するとともに、キ
ャパシタの絶縁物質として、高い誘電常数及び優れた絶縁性を有するハフニウム酸化物を
用いることで、静電容量及び感度を高められる静電容量型圧力センサの製造方法、及びこ
れによって製造された静電容量型圧力センサを提供する。 （もっと読む）

可変コンデンサー、可変コンデンサーおよびインダクターを含む微細加工された移植可能な圧力センサー、並びに関連する圧力測定および移植方法である。インダクターは固定のインダクタンスまたは可変のインダクタンスを有していてよい。可変コンデンサーおよび圧力センサーは、基板上に置かれチャンバーを規定する柔軟性のある部材を含む。コンデンサー要素は柔軟性のある部材から間接的に延びる。柔軟性のある部材の外表面にかけられる十分な流圧により、柔軟性のある部材は動きかつ変形し、これにより静電容量および／またはインダクタンスが変化する。結果として得られる共鳴周波数またはインピーダンスの変化を検出することができ、圧力、例えば、眼内圧を決定することができる。 （もっと読む）

【課題】静電容量センサのダイヤフラムとプレートの応力を最適化する。
【解決手段】可動電極を形成するダイヤフラムとなる膜を堆積し、前記ダイヤフラムとなる膜を第一の温度に加熱し、前記ダイヤフラムとなる膜を加熱した後に、前記可動電極に対する静止電極を形成するプレートとなる膜を堆積する、ことを含む静電容量センサの製造方法。 （もっと読む）

【課題】センサ精度が高く、しかも信頼性にも優れたボタン型入力装置を提供すること。
【解決手段】ボタン型入力装置１を操作ボタンとして装着した被装着機器、例えば携帯電話において、ボタン型入力装置１のキー部材１１を指などで押圧すると、機器側基板２及び受圧部である閉塞部材１５に反力が生じ、この反力により液体１４を介して圧力が静電容量型圧力センサ１３のダイヤフラム１３４ａに伝達される。静電容量型圧力センサ１３では、ダイヤフラム１３４ａと固定電極１３３との間に所定の静電容量を有するので、ダイヤフラム１３４ａに圧力が伝達されると、ダイヤフラム１３４ａと固定電極１３３との間の静電容量が変化する。この静電容量の変化は、配線１２を介してリード４から出力される。この静電容量をパラメータとして、その変化を圧力変化とすることができる。 （もっと読む）

【課題】 特性にバラツキの無い小型で高精度な周波数検出型の圧力検出装置を提供すること。
【解決手段】 それぞれの特性が互いに適合するように選択された容量変化型圧力センサ３０と、圧電振動子（圧電振動片）２１とを、それぞれ個々に収容する複数のキャビティ１５，１６を備えたパッケージ内に収容して並列接続した構造を有し、加えられた圧力の変化に応じて、前記容量変化型圧力センサ３０の容量が変化することで、圧電振動子２１の共振周波数または反共振周波数が変化することに基づいて、該圧力変化を検出する構成とした圧力検出装置。 （もっと読む）

静電容量圧力変換器のセンサインタフェースボードにわたって電力損失を実質的に一定に維持するためのシステム及び方法が記載される。短絡ダイヤフラムレベル検出器が、１つ又は複数の基準電極へのダイヤフラムの短絡を検出する。静電容量圧力変換器内の静電容量検出回路を駆動する発振器の近くに、電力散逸抵抗器が配置される。この抵抗器は、短絡が検出されると、電源に接続するように切り替えられ、それによって、ダイヤフラムが短絡すると、電流が抵抗器を通じて流れるようにし、発振器による電力損失を実質的に一定に維持するだけの十分な量だけ電力を加えることができるようにする。 （もっと読む）

【課題】剛性容器内の流体の圧力を監視する方法及び装置を提供する。
【解決手段】好適な方法は、第１及び第２の導電性要素を分離する変形可能な弾性固体誘電体を備えるコンデンサの静電容量を監視することを含み、流体圧力の変化に応じた誘電体の圧縮または弛緩に伴って導電性要素間の距離とひいてはコンデンサの静電容量が変化するようにコンデンサが加圧された前記流体にさらされている。 （もっと読む）

【課題】熱環境が変化しても良好な感度を保ち、破損しやすくなることを防止できる容量変化型圧力センサを提供すること。
【解決手段】基体３２と、受ける圧力に応じて変形するように厚みを薄くして形成した変形領域４２と、該変形領域と一体でその周囲を囲むようにされ、前記基体に対して固定される厚みの大きな支持部４３とを備える検出体４１と、 該検出体の前記変形領域の変形面と、前記基体とが互いに対向する対向面の前記基体側に形成された第１の電極４４と、前記第１の電極と所定の間隔を置いて前記対向面の前記変形面側に形成した第２の電極４６と、前記第１の電極と第２の電極の間に介在されるようにして、前記第１の電極の表面側に形成された誘電体膜２２とを含んでおり、前記変形領域を囲むようにして、前記支持部に形成された有底の溝５４，５５を備える。 （もっと読む）

【課題】パッケージの強度を保ったまま薄型化を図ることのできる圧力センサを提供する。
【解決手段】空気などの気体の圧力を検知するセンサチップ１と、一面が開口した偏平な矩形箱状に形成されたパッケージ２と、パッケージ２の開口面を覆う蓋体３とを備え、外部からの空気をパッケージ２内部に導入するための導入孔４が蓋体３の四隅に設けられ、蓋体３と対向するパッケージ２の底部に設けられた凹部２０にセンサチップ１を配設した。 （もっと読む）

【課題】キャリア信号と同じ周波数のノイズ成分の検出誤差への影響を排除し、検出精度に優れた容量型検出回路を提供する。
【解決手段】容量型検出回路１００に、少なくとも一方の容量が可変であって、直列的に接続された二つのキャパシタ１１１・１１２を備える検出部１１０と、キャリア信号を発生して検出部１１０に入力するキャリア信号発生部１２０と、キャリア信号発生部１２０により発生するキャリア信号のノイズ成分に対応するノイズ分圧を発生するノイズ分圧発生部１４０と、基準電圧およびノイズ分圧の和とキャリア信号との間の電圧により二つのキャパシタ１１１・１１２に蓄えられた電荷量の差を出力するＣ−Ｖ変換部１５０と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】タイヤの空気圧などのタイヤ情報を迅速且つ正確に検出すること。
【解決手段】共振器を備え車両のタイヤに装着されるトランスポンダと、車両本体に設けられ、トランスポンダに対して共振器を共振させるための励振信号を送信する一方、共振器の共振周波数に関わる共振信号を受信し、当該共振器の共振周波数に応じて測定値を算出するコントローラ１００とを具備するタイヤ情報検出装置において、コントローラ１００は、励振信号の周波数を、トランスポンダとの先行する通信で得られる共振器の共振周波数に基づいて決定することを特徴とする。 （もっと読む）