【課題】内燃機関において点火プラグとは関係なく、最小限の空間で同時的な光学的測定と圧力測定とが実現できる測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置１には、内燃機関の燃焼室に開口する孔に装着された圧力センサ３が備えられ、この圧力センサ３は燃焼室に臨む少なくとも１つの光学導波路６を有し、燃焼室の開口領域に光学カプラ８が設けられ、光学カプラ８は圧力センサ３の圧膜体５あるいは圧力センサ３のハウジング２内にろう接されている。 （もっと読む）

【課題】樹脂によりパッケージングを行っても正確に物理量を検出することが可能な容量センサパッケージを提供すること。
【解決手段】本発明の容量センサパッケージは、一対の主面及び通気穴１１ａを有する配線基板１１と、前記配線基板１１の一方の主面上に実装されており、ダイヤフラム１２ａ及び固定電極を有し、前記ダイヤフラム１２ａと前記固定電極との間の静電容量の変化から物理量を検出する容量センサ１２と、前記配線基板１１の前記一方の主面１１ｂ上で前記通気穴１１ａを閉塞せずに前記容量センサ１２を封止する封止部材１７と、を具備し、前記容量センサ１２は、前記通気穴１１ａを介して導入される外気でダイヤフラム１２ａが可動する位置に実装されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の接合時に高精度のギャップ高さを実現し、高信頼性の電子部品パッケージを提供する。
【解決手段】静電容量の測定用電極１４，１６は、枠部１９の傾斜面２１ａと接合部１５によりカバー基板１２と装置基板１１の当接で形成されたギャップ高さの空隙を介し、相対して形成されることで静電容量の測定が可能となる。装置基板１１の接合部１５とカバー基板１２の傾斜面２１ａに形成の斜面接合部１７は相対部位に形成され、装置基板１１のギャップ高さ規制面と平行面２１ｂとが当接し、かつ接合部１５が接合時の荷重で変形して傾斜部を形成し、装置基板１１とカバー基板１２が接合される。これにより、ギャップ高さが正確に規制でき、さらに、装置基板とカバー基板のギャップの応力変動が抑制されて、高品質、高信頼性の電子部品パッケージを実現できる。 （もっと読む）

【課題】被測定媒体が感圧ダイアフラムに付着して堆積した場合でも感圧ダイアフラムの撓みを抑制して零点シフトを抑制するようにした静電容量型圧力センサを提供する。
【解決手段】被測定媒体の圧力に応じた静電容量を検出するダイアフラム構造の圧力センサチップを備えた静電容量型圧力センサにおいて、センサダイアフラム３２０の一面は被測定媒体を導入する圧力導入室側とし、他面はコンデンサ部を形成するコンデンサ室側とし、センサダイアフラム３２０の圧力導入室側の周縁がセンサダイアフラムのコンデンサ室側の周縁よりも圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見て外側に位置し、かつセンサダイアフラム３２０の圧力導入室側の周縁のコンデンサ室側の周縁に対する圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見た広がり幅が、センサダイアフラム３２０の半径の１％〜１５％となっている。 （もっと読む）

【課題】過度の圧力が加わった場合であっても破損しにくい、高感度、且つ、小型の圧力センサを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム部２は、ダイヤフラム部２を複数の矩形領域に区画する網目状の梁部２ａと、梁部２ａにより区画された領域に形成された薄膜部２ｂとを有し、薄膜部２ｂの厚さは梁部２ａの厚さよりも薄く形成されている。このような構成によれば、ダイヤフラム部２の厚さを一様に梁部２ａの厚さにした場合と比較して単位圧力あたりのダイヤフラム部２の変位量が大きくなる。一方、薄膜部２ｂの全面積がダイヤフラム部２全体の面積より小さいことから、ダイヤフラム部２の厚さを一様に薄膜部２ｂの厚さにした場合と比較して、耐圧性が高まる。従って、本発明の実施形態となる圧力センサ１によれば、過度の圧力が加わった場合であっても破損しにくい、高感度、且つ、小型の圧力センサを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ダイヤフラムを用いた静電容量型圧力測定装置に関する。
【解決手段】内部にダイヤフラムが設けられるセンサーハウジングに、圧力可変容器を固定設置することにより、ゲッターポンプ無しで、大気圧以下の圧力を測定できるだけではなく、大気圧以上の圧力も測定可能な、ダイヤフラムを用いた圧力測定装置に関するものである。 （もっと読む）

【課題】製造コストを増大させることなく、温度特性及び空乏層の寄生容量による検出精度の低下を抑制する。
【解決手段】半導体基板１１の一部分として形成されたダイアフラム１５と、絶縁性部材１３上にダイアフラムと対向して設けられた電極膜１７との間の静電容量変化を検出する静電容量型圧力センサであって、半導体基板にそれぞれ離間して設けられた第１及び第２拡散配線層２１及び２３を具える。そして、第１拡散配線層は、電極膜１７に接触して設けられている。また、第２拡散配線層は、電極膜に対して非接触の状態で、かつ第１拡散配線層と同一の形状及び寸法で設けられている。 （もっと読む）

【課題】駐車時や停車時等のタイヤが回転しない時に充電することができるタイヤ空気圧センサ及びタイヤ空気圧センサを備えるタイヤ空気圧監視システムを提供すること。
【解決手段】タイヤ２ａに空気を注入するためのバルブステム２２と一体的に設けられ、タイヤ２ａの空気圧を検出するタイヤ空気圧センサ２０において、バルブステム２２内に回転可能に設置されるファン２４と、ファン２４の回転力により発電する発電機２６と、発電機２６により発電された電力を蓄電する蓄電池２８と、を備え、蓄電池２８から電力が供給され駆動される。 （もっと読む）

【課題】 静電容量型隔膜真空計が設置される測定環境、すなわち大気圧及び温度変動に対する静電容量型隔膜真空計の出力変動を低減させ、より高精度で再現性よく圧力を測定すること。
【解決手段】 圧力が測定される内部領域に面して配置されるダイヤフラムと、このダイヤフラムと対向して配置される検出電極とを有し、ダイヤフラムと検出電極との間に生じる静電容量の変化量を測定することで内部領域の圧力を測定する静電容量型隔膜真空計は、静電容量型隔膜真空計が設置されている外部の温度を測定する温度測定部と気圧を測定する気圧測定部とを備え、この測定結果に基づき、ダイヤフラムと検出電極との間に生じる静電容量の変化量を補正して、内部領域の圧力として出力する。 （もっと読む）

【課題】振動子の安定な振動、物理量の測定精度向上および振動子の歩留まり向上を実現する物理量測定装置を提供すること。
【解決手段】被測定対象の物理量が作用する振動子とバイアス電圧が印加された第１固定電極との間に働く静電吸引力に応じて振動する振動子の出力信号に基づいて、物理量を測定する物理量測定装置において、第１固定電極に対し所定の間隔で設置された第２固定電極と、振動子の出力信号に基づいて生成される第１駆動信号によって第１固定電極を駆動し、第１駆動信号と逆相の第２駆動信号によって第２固定電極を駆動する駆動部を備えた、ことを特徴とするもの。 （もっと読む）

本明細書では、容量式圧力センサのための感知要素アセンブリと、付加的サイズを伴うことなく、感度を向上させたアセンブリを生成するための方法とについて説明される。感知要素アセンブリおよび方法は、偏心型の楕円形に成形された中心電極と、中心電極の周囲の少なくとも１つの楕円形環状電極と、接地電極とを製作するステップと、層をともに融合し、感度を最適化するための方法とを含む。方法は、基板上にＣＰおよびＣＲ電極を印刷し、電極を乾燥および焼成し、基板の上面にフリットを印刷し、フリットを乾燥させることによって、基板をアセンブルするステップと、共通／接地電極を印刷し、電極を乾燥および焼成し、ダイヤフラム上にフリットを印刷し、フリットを乾燥させることによって、ダイヤフラムをアセンブルするステップとを含む。
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【課題】温度外乱歪みを軽減させることにより高感度かつ小型で安価な物理量センサ、および、その製造方法を提供すること。
【解決手段】二つの基板３０，４０と、二つの基板３０，４０の間に設けられ二つの基板３０，４０と接合された可動電極２０と、を備え、可動電極２０は、弾性変形可能なダイアフラム部２３を有し、二つの基板３０，４０うち一枚は、ダイアフラム部２３に対向する検出面３０Ａに検出電極３１を有する電極基板であり、ダイアフラム部２３と検出電極３１との間の静電容量変化を検出する物理量センサであって、二つの基板３０，４０と可動電極２０とを接合する際の接合温度と室温との間における、二つの基板３０，４０の熱膨張係数は、可動電極２０より小さく、物理量センサを使用する温度範囲内において、可動電極２０の熱膨張係数は、第一基板３０と第二基板４０との間の値である。 （もっと読む）

【課題】ユーザの使用状態に合わせて検出値と出力値との調整を最適に行うことができる圧力センサを提供する。
【解決手段】受圧部１の検出値と出力端子５０の出力値との対応関係を調整可能な圧力センサは、受圧部１が所定の圧力状態に置かれる場合に出力値を予め定められた基準出力値に一致させる処理を実行する第１モードと、出力値をダウンスイッチ５５ｂまたはアップスイッチ５５ｃの操作によって基準出力値に調整することを許容する第２モードとが切替手段５ａを介して切替え可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】加熱手段の制御を適宜最適化することにより測定性能を高めた圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力を検出する受圧部１と、受圧部１を外部電源６から供給された電力により加熱するヒータ２と、受圧部１の温度を検出する受圧部温度センサ３と、受圧部温度センサ３によって検出された温度が予め設定された設定温度となるようにヒータ２の加熱量を制御するヒータ制御回路４とを備える圧力センサであって、外部電源６の電圧を検出する電源電圧検出回路２６と、電源電圧検出回路２６によって検出された電圧に応じたＰＩＤパラメータを算出するコントローラ５とを備える。ヒータ制御回路４は、コントローラ５によって算出されたＰＩＤパラメータに基づくフィードバック制御則によりヒータ２の加熱量を制御する。 （もっと読む）

【課題】熱遷移現象を考慮して、測定精度を向上させた圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサは、チャンバＢ内の気体の圧力を連通管Ｃを介して連通されたチャンバＡの受圧部１で検出する。チャンバＢ内の温度を入力するチャンバ温度センサ７と、受圧部１の温度を検出する受圧部温度センサ３とを備え、チャンバＢ内の温度と受圧部１の温度とに基づいて、受圧部１で検出された圧力を補正してチャンバＢ内の圧力を得る補正処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ確実に測定圧力の取り込みタイミングを指示することができる圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力を検出する受圧部１と、受圧部１を加熱するヒータ２と、受圧部１の温度を検出する受圧部温度センサ３と、受圧部温度センサ３によって検出された温度が予め設定された設定温度となるようにヒータ２の加熱量を制御するヒータ制御回路４とを備える圧力センサであって、受圧部温度センサ３の検出温度と前記設定温度との偏差が第１閾値以下であるときに、受圧部１の圧力検出値を出力端子５０から出力し、当該偏差が第１閾値より大きいときには、予め定められた第１信号を出力する。 （もっと読む）

工業用プロセストランスミッタ１２用の容量型圧力センサ３０は、ハウジング（６２Ａおよび６２Ｂ）、センサダイアフラム５８、電極（６０Ａまたは６０Ｂ）、および充填流体を備える。ハウジング（６２Ａおよび６２Ｂ）は、内部空洞７８、およびハウジング（６２Ａおよび６２Ｂ）の外側から内部空洞７８まで延びる通路を含む。センサダイアフラム５８は、内部空洞７８内において、電極（６０Ａまたは６０Ｂ）と対向して配置される。充填流体は、電極（６０Ａまたは６０Ｂ）とセンサダイアフラム５８との間におけるキャパシタンスを調節するために、通路からの圧力をセンサダイアフラム５８に伝達するように内部空洞７８を占有する。充填流体は、約３．５よりも高い誘電率を有する。種々の実施形態では、圧力センサ３０は、約３．１７５センチメートル（〜１．２５インチ）よりも短い直径を有し、電極（６０Ａまたは６０Ｂ）は、約１センチメートル（〜０．４インチ）よりも短い直径を有し、圧力センサ３０は、約５〜約１０ピコファラッドのキャパシタンスを有し、充填流体は、液体添加物を有する油圧作動油を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】電極が腐食されるおそれのない圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】下部電極１３が、圧力基準室２１内のダイアフラム側面１１ａ上に設けられており、上部電極１４が、その対向部１４ａにより圧力基準室２１内の厚肉部１２ａ上にて下部電極１３に対向して設けられている。貫通電極１８は、その一端が下部電極１３に電気的に接続され、その他端が絶縁膜１６、第１の基板１１、絶縁膜１６を貫通して非受圧面２４に露出している。貫通電極１９は、その一端が上部電極１４の室外部１４ｂに電気的に接続され、その他端が絶縁膜１６、段部１５、第１の基板１１、絶縁膜１６を貫通して非受圧面２４に露出している。 （もっと読む）

【課題】圧力測定に用いられるセンサの容量値をデジタル値に変換する回路規模が小さく、低消費電流及び軽量化が可能なセンサ出力装置を実現する。
【解決手段】圧力検出コンデンサ１０と、スイッチ３１０〜３１（ｎ−１）の開閉状態により合成容量値を設定する参照容量コンデンサ群３と、参照容量コンデンサ群３の電圧と基準電圧とを比較し比較結果を出力するコンパレータ４０と、スイッチ２１を閉、スイッチ２２を開、参照容量コンデンサ群３が放電となる第一状態と、スイッチ２１を開、スイッチ２２を閉、スイッチ３１０〜３１（ｎ−１）により合成容量値を設定した第二状態とを交互に切り替え、第二状態における比較結果に基いて参照容量コンデンサ群３の電圧と基準電圧とが近似するようにスイッチ３１０〜３１（ｎ−１）を設定し、開閉状態を出力端子４８より出力する制御回路４５を有する。 （もっと読む）

【課題】熱遷移効果が反映した圧力測定を行なう技術を提供する。
【解決手段】真空槽１１と、枝管１４を介して真空槽１１に接続された隔膜真空計１３にそれぞれ第一、第二の温度計２１、２２を取り付け、第一、第二の温度計２１、２２の測定結果と隔膜真空計１３の測定結果を圧力測定装置２０に入力させる。圧力測定装置２０の内部には、真空槽１１の温度と隔膜真空計１３の温度と隔膜真空計１３の測定値と、真空槽１１の内部圧力との関係が記憶されており、圧力測定装置２０は入力された測定結果から真空槽１１の内部圧力を求め、表示装置２８によって表示する。熱遷移効果が反映された圧力測定を行なうことができる。 （もっと読む）