【課題】半導体基板とガラス基板との陽極接合時に良好な接合が得られることを課題とする。
【解決手段】第１の半導体基板１とガラス基板３とが陽極接合により接合され、かつガラス基板３と第２の半導体基板２とが接合されて積層される積層構造を有し、外部から与えられた物理量を静電容量の変化として検出する半導体センサにおいて、第１の半導体基板１と電気的に接続されて第２の半導体基板２に形成された電極領域８ａと、第１の半導体基板１を一方の電極とする静電容量の他方の電極を構成して第２の半導体基板２に形成された電極領域８ｂ、８ｃとを陽極接合時に電気的に接続して同電位とし、陽極接合後に切断されて電極領域８ａと電極領域８ｂ、８ｃとを電気的に分離する同電位配線１０を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で安価に製造することが可能な半導体圧力センサ及びその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】静電容量の変化により圧力を検出する半導体圧力センサにおいて、静電容量の一方の電極となる第１の半導体基板１と、薄肉化されて感圧部のダイヤフラム７を構成し、静電容量の他方の電極となる第２の半導体基板２と、第１の半導体基板１と第２の半導体基板２との間に積層されて、第１の半導体基板１と第２の半導体基板２との間に静電容量の容量ギャップとなる空間を形成するガラス基板３とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各センサー素子の特性を発揮でき、長期な特性の変動を抑えた小型の複合センサーを提供すること。
【解決手段】パッケージ３０に圧力の高い空間９０と圧力の低い空間８０が形成され、圧力の高い空間９０に加速度センサー素子４０が配置されているので、低いＱ値が得られ、圧力の低い空間８０に振動型角速度センサー素子５０，６０が配置されているので、高いＱ値が得られ、加速度センサー素子４０および振動型角速度センサー素子５０，６０の特性を十分発揮できる。 （もっと読む）

【課題】外部から電力を供給することなく動作可能なセンサデバイスを提供する。
【解決手段】第１のガラス基板１０ａを用いて形成されたベース基板１０と、半導体基板２０ａを用いて形成されてベース基板１０の一表面側に固着されるフレーム部２１およびフレーム部２１の内側に配置され可撓性の撓み部２２を介して揺動自在に支持された振動子２３を有する振動子形成基板２０と、第２のガラス基板３０ａを用いて形成され振動子形成基板２０との間に振動子２３の変位を可能とする変位空間３５を形成する形で振動子形成基板２０に固着されたカバー基板３０と、撓み部２２に形成され振動子２３の振動に応じて交流電圧を発生する圧電変換部からなる発電部２４と、フレーム部２１のダイヤフラム部２６にも設けた可動電極２７とカバー基板３０に設けられた固定電極３７とで構成され発電部２４からの交流電圧によりバイアスされるセンサ部２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】正確に圧力を検出することができる圧力センサ用容器、および圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ用容器は、セラミックスからなる基体１と、セラミックスからなり、圧力が作用することによって変位するダイアフラム２と、基体１とダイアフラム２との間に設けられた感圧室１ａとを備え、基体１とダイアフラム２とは、感圧室１ａの周囲において、基体１およびダイアフラム２の少なくとも１つから溶出されたガラス質成分３ａ（接合部３）を介して全周にわたって連続的に接合されている。 （もっと読む）

【課題】振動子の安定な振動と、ノイズ除去による物理量の測定精度向上および振動子の歩留まり向上を実現する振動式センサ測定装置を提供すること。
【解決手段】バイアス電圧が印加される第１固定電極と対向するように所定の間隔で配置された第２固定電極との間に、被測定物理量が作用し前記第１固定電極との間に働く静電吸引力に応じて振動する振動子が設けられ、前記第１固定電極は前記振動子の出力信号に基づき生成される第１駆動信号で駆動されて前記第２固定電極は前記第１駆動信号と逆相の第２駆動信号で駆動される複数系統の測定系を備え、これら各測定系における振動子は固有周波数が異なるように形成され、これら振動子の出力信号に基づき前記物理量を測定することを特徴とする振動式センサ測定装置である。 （もっと読む）

【課題】燃焼圧力検出装置において正確な燃焼圧の検出を可能にする。
【解決手段】シリンダヘッド１に固設されかつ燃焼室２に開口するハウジング４内に、開口とは相反する側の端板部分５に軸線方向端部が支持された軸状体６を設ける。軸状体の燃焼圧に臨む受圧部６ａに燃焼圧力が加わることによる軸状体の軸線方向変位を検出する歪みセンサ７を端板部分に設け、軸状体に、ハウジング内周面との間でラビリンスシール構造とする周方向溝９を設ける。端板部分による片持ち支持状態となり、それにより軸状体の外周面とハウジングの内周面との間を非連結状態にすることができ、エンジン本体側に振動によるノイズ等が発生しても、ハウジングから軸状体へのノイズの伝達経路が限定されるため、軸状体の変位に対してノイズ等の影響をできるだけ排除した検出を行うことができ、正確な燃焼圧の検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 外部の圧力を精度良く検出することができる圧力検出装置用基体および圧力検出装置を提供することにある。
【解決手段】 内部空間１ａを有する焼結体から成る絶縁基体１と、内部空間１ａの上面および下面に設けられた上側電極３および下側電極４とを備え、上面および下面の少なくとも一方に可撓領域１ｅを有し、可撓領域１ｅの外表面に、平面視で上側電極３または下側電極４を覆うように形成されたシールド層５と、内部空間１ａならびに上側電極３および下側電極４を囲むように配置され、シールド層５とは電気的に独立し、電極用導体層２の少なくとも１つに電気的に接続されたシールド導体６と、絶縁基体１の表面に形成されたシールド層５と電極用導体層２とを電気的に接続するための接続部７とを備えている圧力検出装置用基体。シールド層の表面へめっき層が被着されず、ノイズを遮蔽することが可能な圧力検出精度の高い圧力検出装置となる。 （もっと読む）

【課題】構成要素（１４）の内部における静圧を測定するための装置（１２）を提供する。
【解決手段】本装置（１２）は、構成要素（１４）に結合されたハウジング（２０）を含み、ハウジング（２０）は、その中に配置された可動構成要素（２６）を含み、可動構成要素（２６）は、構成要素（１４）の内部における静圧に応答して、作動可能に該構成要素（１４）内に伸長可能でありまた該構成要素（１４）から後退可能であり、また本装置（１２）はさらに、ハウジング（２０）内に配置されかつ構成要素（１４）の内部の流体から熱的に保護されたセンサ（５０）を含み、センサ（５０）は、構成要素（１４）の内部における静圧の測定を可能にするように構成される。 （もっと読む）

【課題】被測定圧力の検出精度の低下を回避することを課題とする。
【解決手段】実装基板を構成するリードフレーム１４を貫通して設けられた圧力導入孔１７を介して被測定圧力が圧力導入室１５に導入される静電容量式の圧力センサ１１がリードフレーム１４に実装される圧力センサの実装構造において、リードフレーム１４に設けられた圧力導入孔１７の周囲に、リードフレーム１４を貫通して圧力導入室１５の内外を連通する貫通孔１６を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被測定圧力の検出精度の低下を回避することを課題とする。
【解決手段】
圧力センサ１１が他の別体構成要素の専用回路１２ならびに走行センサ１３と混載されてリードフレーム１４に搭載され、圧力センサ１１と専用回路１２ならびに走行センサ１３とが一体的に樹脂封止された圧力センサの実装構造において、圧力センサ１１は、専用回路１２ならびに走行センサ１３が実装されて接地電位が与えられたリードフレーム１４のダイパッド部１５ｂと電気的に分離されて電気的にフローティング状態のリードフレーム１４のダイパッド部１５ａに搭載されて実装されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気室容量を拡張することによって圧力センサの感度を高める。
【解決手段】背部気室となる空間を有する基板と、固定電極を形成しているプレートと、前記固定電極とともに静電容量を構成する可動電極を形成し、前記背部気室を隔て、圧力変化によって変位するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムが前記基板から離間するように支持する絶縁部と、を備え、前記空間は、前記基板の底面に開口を有し前記ダイヤフラムを底とする柱形の主気室と、前記主気室と通じ、前記基板の前記底面に前記主気室の開口より狭い開口を有し前記主気室より浅い柱形の複数の副気室と、を有し、前記副気室は、前記主気室の周囲に配列され前記主気室に通じて前記空間を拡張している、圧力センサ。 （もっと読む）

【課題】半導体センサの小型化を達成すると共に、センサ素子からの信号を容易に外部へ取り出せる半導体センサを、簡易な工程で安定して製造する。
【解決手段】集積回路１２が複数配された一面を有する第一ウェハ基板１０を用い、該一面と反対側の他面に、集積回路間と同様の間隔を設けて凹部１３ａを複数形成し、一端が他面に露呈し他端が一面に露呈するように、第一ウェハ基板を貫通する第二導電部１４からなる貫通電極を複数形成する。センサ回路２５とこれに接続された第一導電部２６とからなる構造体が複数、集積回路間と同様の間隔を設けて、予め配置された第二ウェハ基板２０を用い、センサ回路と凹部とが個別に対向し、第二導電部の一端と第一導電部とが接続されるように、第一ウェハ基板と第二ウェハ基板とを重ね合わせる。他面側から第二ウェハ基板を薄肉化した後、第一ウェハ基板と第二ウェハ基板を、重ね合わせた状態を保ちつつ、ダイシングする。 （もっと読む）

【課題】半導体センサの小型化を達成すると共に、センサ素子からの信号を容易に外部へ取り出すことができる半導体センサを、簡易な工程で安定して製造する。
【解決手段】集積回路１２が複数配された一面を有する第一ウェハ基板１０を用い、該一面と反対側に位置する他面に、集積回路間と同様の間隔を設けて凹部１３ａを複数形成する。センサ回路２５と、該センサ回路に電気的に接続された第一導電部と、該第一導電部に一端が電気的に接続され他端が板厚方向に延設された第二導電部とからなる構造体が複数、集積回路間と同様の間隔を設けて、予め配置された第二ウェハ基板２０を用い、センサ回路と凹部とが個別に対向するように、第一ウェハ基板と第二ウェハ基板とを重ね合わせる。他面側から第二ウェハ基板を薄肉化し、第二導電部の他端を露呈させて貫通電極を形成する。第一ウェハ基板と第二ウェハ基板を、重ね合わせた状態を保ちつつダイシングする。 （もっと読む）

【課題】隔膜表面での水蒸気の氷結を防止しつつ、タンク内の水蒸気圧を高精度に測定することができる簡単な構成の圧力センサを提供する。
【解決手段】一定圧力に保たれた第一室１１と、真空チャンバに水蒸気を供給するタンクに連通する第二室１２と、第一室１１と第二室１２とを隔絶する隔膜１３とを備え、タンク内の水蒸気変動に応じて生ずる第一室１１と第二室１２との間の圧力差に応じた隔膜１３の変位量に基づいて、タンク内の水蒸気圧を測定する圧力センサ１において、第二室１２からタンクへと通じる連通路１７中に発熱体１８を設け、発熱体１８からの輻射熱が隔膜１３に達しないように隔膜１３から発熱体１８を離間させた。 （もっと読む）

【課題】 真空計の取り付け条件によらず、高精度の圧力測定が可能な静電容量型隔膜真空計を提供する。
【解決手段】 静電容量型隔膜真空計１００の傾斜角を検出する傾斜角センサ１４を具備する。また、静電容量型隔膜真空計１００を真空装置２に対して第一の傾斜角（＋９０度）、第二の傾斜角（０度）及び第三の傾斜角（−９０度）で取り付けた場合の静電容量圧力依存性を記憶部に記憶させておく。そして、傾斜角センサ１４で検出された傾斜角情報に基づいて圧力測定値は補正され、静電容量−圧力特性データは第一乃至第三の傾斜角において実際に測定され、記憶される。 （もっと読む）

【課題】１つの真空計でより広い範囲の気体の圧力を測定することができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】初期加振用信号源41,42から出力された振動体24,28の固有振動数に対応した周波数の信号が加振電極29,30に印加され、振動体24,28が加振される。初期加振用信号源41,42は初期駆動するときのみ使用され、振動体24,28が振動し始めた後はスイッチ回路39,40が切り替えられる。容量電圧変換回路33,34から出力された信号の位相を位相シフト回路35,36でシフトし、増幅器37,38を経て、加振電極29,30に印加され、共振状態を保つ。加振電極29,30に印加する駆動信号の電圧が一定となるように増幅器37,38のゲインを調整した場合、振動体のQ値に対応して振動体24,28の振幅、つまり、容量電圧変換回路33,34から出力される信号の大きさが変化する。 （もっと読む）

【課題】半導体圧力センサの低背化を実現する。
【解決手段】半導体圧力センサ１が、エッチングによって形成された凹部２１を表面に有する第１半導体基板２と、この第１半導体基板２の表面に貼り合わせられ、当該第１半導体基板２の凹部２１に対応する部分がダイヤフラム部３１として機能する薄膜化された第２半導体基板３とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】センサへの厳しい性能要件に加えて、デジタル通信、診断、より低い温度感受性等の要求を解決する。
【解決手段】キャパシタンスダイヤフラムゲージ１０用のデジタルコントローラがデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）１１０に埋め込まれる。コントローラは、センサＡＦＥ３０から可変ゲインモジュール４０、ゼロオフセットモジュール５０、およびアナログ−デジタル変換器６０を介して、デジタル化された入力を受け取る。コントローラは、受け取った入力を、可変ゲインおよびゼロオフセットモジュールを調整することによって、自動的にスケーリングする。コントローラはまた、センサ１０において適切な温度を維持するように、ヒーターアセンブリ２０をモニタリングし、調整する。コントローラは、処理するリソースをゲージコントローラモジュールの様々なタスクに割り当てるカーネルモジュールを利用する。 （もっと読む）

【課題】二重電極静電容量型ダイアフラムセンサ（ＣＤＳ）のようなセンシング素子に対する電気インターフェースの性能の改善及びコストの軽減を行う。
【解決手段】励磁電圧と、しっかりと結合された差分用電流変成器（１１１）とが差分静電容量圧力計に結合されて差分電流を発生する。この差分電流は、効果的に差分電流を統合する電荷増幅器（１１２）の低インピーダンス加算ノードに入力される。電流変成器（１１１）及び増幅器（１１２）を取り囲む遮蔽構造体（１１５）は励磁電圧電位に駆動される。（励磁信号に対応する）ガード電位を出力信号から除去するため、励磁電圧源（１１０）に結合されたコモンモード変成器（１１３）を電荷増幅器（１１２）の出力が通過する。次に、同期検出器（１１４）が、結果として生じた信号を、センサ（１０）の差分静電容量を示すＤＣレベルに変換する。 （もっと読む）