【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１の一方の面に接合され、圧電性基板１１との間に気密封止されたキャビティＣを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板１１の一方の面に形成され、圧電性基板１１と前記封止基板１２との接合部及びキャビティＣ内に配設されたＩＤＴ１６と、封止基板１２又は圧電性基板１１を厚み方向に貫通すると共にＩＤＴ１６に導通する貫通電極３３と、圧電性基板１１及び封止基板１２のうちの少なくとも一方に形成され、貫通電極３３に導通する外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板１１は、パッケージ外部から作用する力学量に応じて変位する変位部２１を有し、圧電性基板１１には、変位部２１を圧電性基板１１の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられているセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成のセンサを提供すること。
【解決手段】平板状に形成された圧電性基板１１と、圧電性基板の一方の面に接合され、圧電性基板との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、圧電性基板及び封止基板のうちの少なくとも一方に形成され、引出し電極を介してＩＤＴに導通された外部接続電極と、圧電性基板の他方の面に接合されたプレート基板６１と、を備え、圧電性基板は、パッケージ１３外部から作用する力学量に応じて変位する変位部を有し、プレート基板には、変位部を露出させる開口部Ｅが形成される。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１の一方の面に接合され、圧電性基板１１との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板１１の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、封止基板１２の圧電性基板１１と接合する面と反対の面に形成され、パッケージ１３外部に露出すると共に引出し電極を介してＩＤＴ１６に導通された外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板１１は、パッケージ１３外部から作用する力学量に応じて変位する変位部を有し、圧電性基板１１には、変位部２１を圧電性基板１１の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられ、パッケージ１３は、封止基板１２の外部接続電極１８を形成した面を回路基板上に表面実装するセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１の一方の面に接合され、圧電性基板１１との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板１１の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、圧電性基板１１及び封止基板１２のうちの少なくとも一方に形成され、パッケージ１３外部に露出すると共に引出し電極を介してＩＤＴ１６に導通された外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板１１は、他方の面に内側を露出する凹部が形成されると共に、凹部の底面に位置する薄肉部分が、パッケージ外部から作用する力学量に応じて変位する変位部２１であるセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板の一方の面１１ａに接合され、圧電性基板との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、両基板のうちの少なくとも一方に形成され、パッケージ外部に露出すると共に引出し電極を介してＩＤＴに導通された外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板が、パッケージ外部から作用する力学量に応じて変位する変位部２１を有し、圧電性基板には変位部を圧電性基板の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられているセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＩＤＴを用いてバースト信号の遅延時間変化より力学量を検地する表面弾性波力学量センサにおける位相誤測定を解決する。
【解決手段】ベース基板１０３と、前記ベース基板１０３の一方の面に接合され、前記ベース基板１０３との間に気密封止されたキャビティを形成する封止基板１０５と、前記ベース基板１０３に接合され、前記キャビティ内に配設された面内圧電等方性を有する圧電性基板１０１と、前記圧電性基板１０１の前記ベース基板１０３に接する面と反対の面上に形成されたＩＤＴ１０７と、を備え、前記ＩＤＴ１０７は、円弧形状に形成されると共に、各電極指が同心円状に形成され、前記封止基板１０７￥５は、前記キャビティ側の面上に突起部１０４を有するとともに、前記突起部１０４の先端は、前記同心円の中心に接触していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部品点数が削減された流量検出装置を提供する。
【解決手段】管内の流体の流量を検出する流量検出装置であって、圧電材料から成る、弁体に設けられたセンサチップと、センサチップに駆動信号を供給し、センサチップの検出信号を処理する処理手段と、を有し、センサチップは、流体に晒されるセンサ面に、駆動信号を受けて表面弾性波を発生し、表面弾性波を検出信号に変換する弾性波部と、弾性波部によって発生された表面弾性波を、弾性波部に反射する反射部と、駆動信号を受信するとともに、検出信号を送信する内部通信部と、を有し、処理手段は、駆動信号を生成する生成部と、駆動信号を送信するとともに、検出信号を受信する外部通信部と、駆動信号と検出信号とに基づいて、流体の圧力、温度、弁体の開度、及び、流体の流量を算出する算出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】温度が変化した場合でも、測定対象の状態を精度良く検知することができる弾性表面波センサ、センシングシステム、及び圧力測定方法を提供すること。
【解決手段】第１弾性表面波素子と第２弾性表面波素子との出力電圧の差をとって、（圧力と温度の影響を含む）第１の演算値を求め、第３弾性表面波素子と第２弾性表面波素子との出力電圧の差をとって、（温度のみの影響を含む）第２の演算値を求める。第２の演算値と温度による基板変化量のマップを用いて、第２の演算値を温度（のみ）による基板変化量に換算し、この温度による基板変化量から（圧力基準値に対応する）温度補正量を求め、温度補正量に第１の演算値を加えた加算値を求め、加算値から圧力及び温度による基板変化量を求める。そして、圧力及び温度による基板変化量から温度のみによる基板変化量を引くことにより、圧力のみによる基板変化量を求める。 （もっと読む）

【課題】信号レベル検波方式を利用し、シンプル且つ小型な回路で、複数の素子部の応答の検波を容易に実現できる弾性表面波素子、センサ、センシングシステム、及び状態検知方法を提供すること。
【解決手段】測定用素子部１９と参照用素子部２１との間に、遅延線の構造を有する第１遅延部５１を備えているので、測定用素子部１９から出力される信号を参照用素子部２１から出力される信号に対して遅延させることができる。つまり、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、時間的にずらすことができる。従って、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、無線によって送信した場合でも、その信号を受信した外部装置３では、両信号の時間的ずれにより、両信号を分離することができる。 （もっと読む）

【課題】 量産性に優れる簡便な製造工程により、圧力センサの高感度化を達成するための、表面弾性波を利用した圧力センサの構造を提供すること。
【解決手段】 圧電体５上に設けられた表面弾性波を励起するための櫛歯電極６と、被膜上に形成されたシリコン膜から成る凸部２の上面に圧電膜３が形成された膜状構造体と、が気密空間１を介して櫛歯電極６と圧電膜３とが対向するように近接する構造を有し、膜状構造体に加わる外部からの圧力によって圧電膜３が櫛歯電極６に接することで、表面弾性波の共振周波数が変化し、圧力に対する共振周波数の変化量を検知する機能を具備した圧力センサとする。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波素子が形成されたセンサチップをダイアフラムに搭載した圧力センサにおいて、センサチップの圧力検出感度を向上させる。
【解決手段】センサチップ３をダイアフラム部４に固定する際に、センサチップ３の全面ではなく、センサチップ３のうち弾性表面波の伝播方向での両端部のみに固定領域９、１０を設ける。これによれば、センサチップ３の全面がダイアフラム部４に固定されている場合と比較して、弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向における拘束力を小さくできるので、センサチップ３の圧力検出感度低下の原因であったセンサチップ３に作用する弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向の応力を低減でき、センサチップ３の圧力検出感度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 温度変化の影響を小さくできる弾性表面波センサ，および，弾性表面波センサの圧力測定方法を提供する。
【解決手段】 弾性表面波センサ１は、発振回路１１〜１４，周波数ミキサ２１〜２４を備えている。
周波数ミキサ２１は、発振回路１１および発振回路１２の出力周波数の差の周波数Ｆｘ１＿Ｔを出力する。また、周波数ミキサ２２は、発振回路１２および発振回路１３の出力周波数の差の周波数Ｆｘ２＿Ｔを出力する。基準状態においてはＦｘ２＿０＝Ｆｘ１＿０となるように設定されている。
また、第３の周波数ミキサ２３は、第４の発振回路１４および第２の周波数ミキサ２２の出力周波数の差の周波数Ｆｘ３＿Ｔを出力する。Ｆｘ３＿Ｔ＝Ｆｘ２＿Ｔ−Ｆ４となる。第４の周波数ミキサ２４は、Ｆｘ１＿ＴとＦｘ３＿Ｔとの差の周波数を出力する。 （もっと読む）

センサデバイスのためのデバイス固有校正データを提供する方法であって、環境が監視されるある領域内にセンサデバイスを設ける工程を含み、該センサデバイスは、前記領域の選択された状態に反応する部分と、送信部分と、メモリ部分とを少なくとも備える。前記センサデバイスが分類されるセンサ群に関連付けられた包括的校正データが、前記センサデバイスから離隔したデータベースに格納される。前記センサデバイスの実際の校正データをより正確に適合させるための、前記包括的校正データの修正に用いる訂正データが少なくとも、前記センサデバイスのメモリ部分に格納される。前記センサデバイスは、前記訂正データを取得するために問合せデバイスにより問い合わせられる。前記センサデバイスに関する前記包括的校正データは、前記データベースから取得され、センサデバイス固有校正データを作り出すため、前記校正データを用いて修正される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、高い感度が得られる弾性表面波素子及びこの弾性表面波素子を用いたセンサを提供すること。
【解決手段】応力センサ１において、第１櫛歯電極１５と第２櫛歯電極１７とは、各櫛歯電極１５、１７の中心から左右方向に外れるに従って櫛歯の幅及び櫛歯間隔が小さくなるように変化するアップチャープとダウンチャープとを組み合わせた櫛歯構造を有している。
つまり、櫛歯間隔が、入力側から第１櫛歯電極１５の中央側にかけて増加するように設定され（アップチャープに設定）、且つ、第１櫛歯電極１５の中央側から出力側にかけて櫛歯間隔が減少するように設定されている（ダウンチャープに設定）。 （もっと読む）

【課題】内部に受圧媒体としてのオイルを使用しない構造の圧力センサを提供するとともに、圧力センサの測定精度を高めることを目的とする。
【解決手段】圧力センサ１は、内部を真空とするとともに対向して配置した第１の圧力入力口２と第２の圧力入力口３とを備え後述する各構成要素を収容するハウジング４と、第１の圧力入力口２の先端部に配置し測定対象の液体の圧力に応じて撓む第１のダイアフラム５と、第１のダイアフラム５に対して垂直方向に第１のダイアフラム５に一端を接続した第１のシャフト６と、第２の圧力入力口３に配置し大気側の圧力が加わるベローズ７と、第１のシャフト６の他端とベロー７の他端とを一端８ａに接続したカンチレバー８と、カンチレバー８の他端８ｂと固定部材９との間に配置された感圧素子１０と、により構成する。 （もっと読む）

【解決手段】音響センシングはブリッジ構造を利用する。ブリッジ構造は、基板上で互いに間隔をあけて配置される支持点に接続される少なくとも２つの端点を有する。ブリッジ構造は、基板に対して物理的に固定されておらず、支持点間の距離にわたって形成される。ブリッジ構造は、圧電部を備えると共に、ブリッジに近接する少なくとも一つのアクティブ音響領域を備える。ブリッジの少なくとも一つの表面の少なくとも一部にはセンシング材が配置される。ブリッジは、アクティブ音響領域に配置される弾性波デバイスにより測定可能な応力効果を生成する。一つの態様において、弾性波デバイスが応力効果を測定することにより、標的物質の検出が可能になる。ブリッジの少なくとも一部に取り付けられるセンシングフィルム上に標的分子が蓄積するにつれて、ブリッジ内に応力が生成され、この結果、弾性波デバイスで測定される周波数変化が引き起こされる。 （もっと読む）

【課題】検出装置において、密閉空間のいずれの位置における状態も検出可能であり、密閉空間に複数配置する場合にも設計コスト、製造コストを増大させない。
【解決手段】電極３２と３３との間に、交流電圧を印加すると、圧電体３１が振動し、この振動が圧電体２１に伝播する。これにより、電極２２と２３との間及び櫛型電極１２と１３との間に交流電圧が発生し、圧電基板１１の櫛型電極１２と１３とに挟まれた部分が振動する。この振動は圧電基板１１の表面を伝播し、反射器１４において反射して、圧電基板１１の櫛型電極１２と１３との間に戻ってくる。これにより、櫛型電極１２と１３との間及び電極２２と２３との間に交流電圧が発生して、圧電体２１が振動する。この振動は圧電体３１に伝播し、電極３２と３３との間に交流電圧が発生する。そして、この交流電圧から、密閉空間１００内の温度が算出される。 （もっと読む）

【課題】絶対圧を容易に高精度、高分解能で測定できる絶対圧センサを提供する。
【解決手段】一方の主面に第１の凹陥部、他方の主面に第１及び第２の肉厚部、端子部を有する第２の凹陥部及び両主面を貫通するスルーホールを形成した第１のダイヤフラムと、一方の主面に第３の凹陥部を形成した第２のダイヤフラムと、平行に延長する１対の振動ビーム、前記振動ビームの両端にそれぞれ連結する基端部、及び前記振動ビームの表面に形成された駆動電極からなる双音叉型圧電振動素子と、を備え、前記双音叉型圧電振動素子の両基端部をそれぞれ前記第１ダイヤフラムの第１及び第２の肉厚部に結合し、第１ダイヤフラムの第２の凹陥部と、第２ダイヤフラムの凹陥部とを対向するように結合し、該凹陥部内を真空とした絶対圧センサを構成する。 （もっと読む）

【課題】構成簡易で、小型化と圧力測定精度の高度化が容易であり、しかも外部振動に対し強く、センサ部とドライバ部との配線が不要で、センサ部に電源を必要とせず、設置が容易で、また圧力変化に対する反応が素早い、真空度測定装置を提供する。
【解決手段】円環状の弾性表面波周回経路１２ａが表面に沿い設けられ、弾性表面波を励起し受信する弾性表面波励起／受信手段１４が周回経路に対応して設けられている弾性表面波素子１０を備え、上記周回経路を周回する弾性表面波の強度を検出し周回に伴う上記強度の減衰量を基に真空度を測定するか、又は、周回経路を周回する弾性表面波の周回速度を検出し周回に伴う上記周回速度の変化を基に真空度を測定するか、又は、上記強度の減衰量及び／或いは上記周回速度の変化を基に真空度を測定する。 （もっと読む）

【課題】センサ感度の悪化を防止し、低コストで得られる圧力センサの製造方法および圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ１０は、圧電基板１４の主面にＩＤＴ１６を設けたＳＡＷ素子片と、圧電基板１４の主面１４ａに接合し、ＩＤＴ１６に対向した箇所に凹陥部４２を備え、熱膨張係数が圧電基板１４と異なっている第１固定基板４０と、圧電基板１４の裏面１４ｂに接合し、熱膨張係数が圧電基板１４と異なり、圧入口５４を備えた第２固定基板５０とを備えた構成である。 （もっと読む）