【課題】 ホイールの回転中心部に設けられた温度センサで、より適切にタイヤの空気室内の空気の温度を検知できるようにする。
【解決手段】 ＴＰＭＳにおいて、ホイール１の回転中心部を経由して、一端側と他端側がタイヤ空気室に開口する連通路Ｐと、回転中心部に、空気圧センサ及び温度センサを取り付ける取付部とを備えたホイール１を用いて、連通路Ｐを介して供給される空気の圧力及び温度を、空気圧センサ及び温度センサで検知するようにした。そして、連通路Ｐの開口には、開口部Ｃａを形成する覆いＣをそれぞれ有し、一端側の開口の覆いＣと他端側の開口の覆いＣとは、ホイール１の周方向にて開口部Ｃａ同士が対面するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 計算機処理を必要とせず、温度変化による測定誤差を排除可能な差圧測定システムを提供する。
【解決手段】 第1及び第2波長の光を照射する光源4と、第1波長の第1反射光を反射し、第1外部圧力及び第1温度が加えられ、第1熱膨張係数及び第1熱膨張係数に第1波長を掛けた第1反射波長温度係数を有する第1感圧部3と、第2波長の第2反射光を反射し、第1温度が加えられ、第2熱膨張係数及び第2熱膨張係数に第2波長を掛けた第2反射波長温度係数を有する第1感熱部6と、第2波長の第3反射光を反射し、第2外部圧力及び第2温度が加えられ、第2熱膨張係数及び第2反射波長温度係数を有する第2感圧部13と、第1波長の第4反射光を反射し、第2温度が加えられ、第1熱膨張係数及び第1反射波長温度係数を有する第2感熱部16と、第1及び第4反射光による第1干渉縞と第2及び第3反射光による第2干渉縞の位相差の変動から第1及び第2外部圧力の差圧を算出する信号処理装置7とを備える。 （もっと読む）

検知される媒体を検出するための複数の圧力検知ダイから構成された絶対圧力センサを含む差圧センサのシステムおよび方法が開示され、圧力検知ダイの各々は背面および前面を有し、かつ複数の変化する圧力をそれぞれ伴っている。検知される媒体は圧力検知ダイの背面のみに印加され、それにより、圧力検知ダイの前面に伴うワイヤボンディングおよび活性領域の検知される媒体への露出ならびに検知される媒体に伴う酸および研磨性化学物質による腐食から防止する。 （もっと読む）

【課題】 ピエゾ抵抗型半導体装置において、ダイヤフラムの形成領域を増加させることなしに、検出感度の向上及び出力の直線性の向上を図る。
【解決手段】
ダイヤフラム３と、ダイヤフラム３の外周に接続してダイヤフラム３を支持しダイヤフラム３よりも相対的に厚く形成された支持枠１と、ダイヤフラム３に垂直な方向の加速度や圧力を印加したことによるダイヤフラム３の変形により歪むことで発生する応力を検出するピエゾ抵抗型応力検出部４ａ，４ｂとを備えたピエゾ抵抗型半導体装置１０において、ピエゾ抵抗型応力検出部４ａに接する位置においてダイヤフラム３の少なくとも一部が除去されて溝９が形成されるようにする。 （もっと読む）

プロセス流体（１０４）の圧力を測定するための圧力送信機アセンブリ（１０６）は、隔離ダイアフラムアセンブリ（１２０）を含む。圧力センサ（１３０）は、熱的に隔離するために隔離ダイアフラムアセンブリ（１２０）から間隔をおいて配置される。導管（１２２）は、隔離ダイアフラムアセンブリ（１２０）から圧力センサ（１３０）まで延びており、隔離充填流体を収容するように形成されている。
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【課題】トリミング算出時間をさらに短縮することができる電気的トリミングシステムを提供する。
【解決手段】室温状態の圧力センサＷに対して電気的トリミング基準値を算出する室温トリミング装置２と、圧力センサＷを８５℃に昇温させる昇温装置３と、昇温された圧力センサＷに対して電気的トリミング基準値を算出する高温トリミング装置４とを備える。そして、室温トリミング装置２及び高温トリミング装置４においては、１つ又は少数の圧力センサＷに対してトリミング処理を行うようにしている。 （もっと読む）

ある環境における気体圧力を測定するための熱損失式ゲージは、抵抗性検出素子および抵抗性補償素子を備えている。抵抗性補償素子は検出素子と共に回路を形成し、実質的に同一環境に露出される。検出素子および補償素子を通して電流を供給するため、電源がこれら素子に接続される。検出素子を流れる電流は、補償素子を流れる電流よりもかなり大きい。検出素子および補償素子の電気的応答に基づいて検出素子および補償素子が露出されている環境の気体圧力を決定するため、測定回路が検出素子および補償素子に接続されている。
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【課題】 絶対圧センサにおいて、ブリッジ回路におけるオフセット電圧の温度特性の影響を低減する。
【解決手段】 シリコンウェハ上の複数の圧力センサにおけるブリッジ回路のオフセット電圧（ゲージオフセット初期値；Ｖ_ｏｆｆＩＮＩＴ）を室温および高温にて測定し、その差分値（ゲージオフセット差分値）を求める。そして、ゲージオフセット初期値に対するゲージオフセット差分値の相関を求め、この分布を近似する相関直線を得る。続いて、この相関直線の傾きおよびＹ軸切片がそれぞれ０となるＡおよびＢの値を上記相関に基づき求める。この後、ブリッジ回路のゲージオフセット初期値Ｖ_ｏｆｆＩＮＩＴおよび上記定数Ａ、Ｂに基づきブリッジ回路の出力電圧の狙い値を計算する。そして、計算された狙い値となるようにパラレル抵抗Ｒ７２、Ｒ８２をトリミングする。この後、ブリッジ回路のオフセット電圧が０となるようにシリーズ抵抗Ｒ７、Ｒ８をトリミングする。 （もっと読む）

【課題】 外部からの熱による熱応力の影響を受けることなく、常に高精度の圧力検出を行うことのできる圧力センサを提供する。
【解決手段】 圧力を検出するセンサチップ３０と、センサチップ３０を支持する台座プレート２０（２１，２２）と、台座プレート２０（２１，２２）に接合され、当該台座プレート２０（２１，２２）を支持する支持ダイアフラム５０とを有し、支持ダイアフラム５０がパッケージ１０に接合され、当該支持ダイアフラム５０のみを介してセンサチップ３０、台座プレート２０（２１，２２）をパッケージ内に支持する構成を圧力センサ１が有している。 （もっと読む）

工業プロセス（３０４）のプロセス変量を計測するためのトランスミッタ（３００）は、プロセス変量を計測し、センサ出力を生成するように適合されたセンサ（３１０）を含む。モードセレクタ（３１６）が作動モードの間で選択を行うように適合されている。少なくとも一つの作動モードがセンサ（３１０）の作動範囲に関連する。回路（３１２）が、少なくとも一つの作動モードにしたがってセンサ出力を補正し、計測されたプロセス変量を表すトランスミッタ出力を生成するように適合されている。
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感知圧力に線形に比例するデジタル周波数出力を提供する方法および圧力センサ・システム。システムは、圧力感知出力を提供するＭＥＭＳ圧力感知エレメントと、デジタル周波数出力を提供する電圧−周波数変換器とを備える。圧力センサ・システムは、圧力に線形に比例する出力電圧を提供する増幅器も備える。システムへの温度の影響を少なくとも部分的にオフセットするために、温度センサおよび温度補償回路が、温度補償信号を増幅器へ提供する。本発明の幾つかの実施形態は、マイクロコントローラおよびＲＦ送信機を備えるマイクロコントローラ・システムを備える。マイクロコントローラは、デジタル周波数出力を受け取り、感知圧力が所定の圧力範囲内または範囲外にあるときに、通知信号を生成する。ＲＦ送信機は、感知圧力が所定の圧力範囲内または範囲外にあることを示すために、ＲＦ信号を送信する。
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上面に参照用弾性表面波素子４ａを有した支持用圧電基板３上に、支持用圧電基板３よりも厚みが薄く、下面に圧力検出用弾性表面波素子７ａを有した圧力検出用圧電基板２を搭載し、支持用圧電基板３と圧力検出用圧電基板１との間
に封止材５を設ける。支持用圧電基板３と、圧力検出用圧電基板１と、封止材５とで囲まれた空間Ｓに、圧力検出用弾性表面波素子７ａ及び参照用弾性表面波素子４ａを配置することができる。温度補償が可能な、小型高信頼性の圧力センサ装置１を提供することができる。 （もっと読む）

本発明は、容量型センサに関するものであって、密封キャビティを備えたハウジングと；キャビティ内に配置されたプレートと；キャビティの一部を形成し、なおかつ、プレートから離間して配置された、ダイヤフラムと；このダイヤフラム上に設けられた第１導電性層と；プレート上に設けられた第２導電性層と；を具備し、第１導電性層および第２導電性層が、キャパシタの両電極を形成し、このキャパシタのキャパシタンスが、プレートに対してのダイヤフラムの位置に応じて変化するものとされている。
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センサーチップは、ピエゾ抵抗ブリッジ、温度抵抗ブリッジ、及び定電流モードでピエゾ抵抗ブリッジを動作させるときにスパン補正を提供するのに使用可能な多機能抵抗ネットワークを有する。定電流モードでは、多機能抵抗ネットワークはまた、センサーチップのエピタキシャル層にバイアス電位を供給するのに使用することができる。定電圧モードでは、多機能抵抗ネットワークは、特定の動作温度範囲において温度チャンネルの出力をカスタマイズするために温度抵抗ブリッジを含む温度チャンネルに対して３つの異なるゲインを提供するのに使用することができる。 （もっと読む）