【課題】温度補正の精度を向上させる。
【解決手段】冷水または温水の圧力を検出する圧力検出部１１と、圧力センサの温度を検出する温度検出部１２と、圧力検出部１１による検出信号から温度変化による変動分を除外する補正処理に用いる補正式の情報として、温度検出部１２による検出温度が冷水の温度範囲に含まれるときに適用する冷水用の補正式情報、および温度検出部１２による検出温度が温水の温度範囲に含まれるときに適用する温水用の補正式情報を記憶する補正式記憶部１８と、温度検出部１２による検出温度が属する温度範囲として、冷水の温度範囲または温水の温度範囲のいずれか一方を決定する温度範囲決定部１６と、温度範囲決定部１６により決定された温度範囲に対応する補正式を用いて、圧力検出部１１による検出信号を補正し、当該補正後の信号を測定信号として出力する補正演算部１７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】部品点数やコストを削減する。
【解決手段】第１被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ａと、第２被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ｂと、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂの温度を検出する温度センサ４と、圧力センサ３Ａの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第１被測定対象の測定信号として出力する第１補正部と、圧力センサ３Ｂの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第２被測定対象の測定信号として出力する第２補正部と、を備え、温度センサ４を、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂと相互に接触した状態で一体化する。 （もっと読む）

【課題】所定の温度区間で物理量センサの出力精度を向上できるようにする。
【解決手段】所定の温度範囲から選択された複数の部分温度区間毎に、当該部分温度区間での物理量検出素子１１による物理量検出値の補正値を求める二次以上の高次の補正式ｇ１，ｇ２に関するデータを記憶する記憶部１３３と、いずれかの部分温度区間に対応する補正式ｇ１，ｇ２のデータに基づいて当該部分温度区間における補正値を求め、当該補正値によって前記物理量検出値を補正する補正処理部１３−ｉ（ｉ＝１又は２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】デュアル圧力センサを成す圧力検出素子の温度を実測しなくても、温度補正された流体圧力を検出できるようにする。
【解決手段】相互に接触した状態で一体化された２つの圧力検出素子１６Ａ及び１６Ｂの温度・圧力特性をそれぞれ表わす２つの関数ｆ１及びｆ２の温度変数Ｔ及び圧力変数Ｐを互いに共通とし、各圧力検出素子１６Ａ及び１６Ｂによる検出値Ｓ１及びＳ２がそれぞれ関数ｆ１及びｆ２の解であるとして、各関数ｆ１及びｆ２を連立して解くことで、流体の圧力を求める。 （もっと読む）

【課題】温度センサの振動を抑制して断線を防止し、樹脂パッケージの歪を抑えてセンサ特性の劣化を抑制することができる温度センサ一体型半導体圧力センサを提供すること。
【解決手段】圧力導入管４が筒状内部空間を二分する隔壁７を備え、該隔壁７が、前記圧力導入管４の壁面から前記筒状内部空間の中心線に向かって延び、該中心線の長さ方向の下端部が前記温度センサのヘッド１の位置に達し、前記中心線に沿うスリット２０により分離される形状と、該分離される形状を部分的に連結する連結部２１とを備え、前記隔壁７の下端部２１と前記温度センサのヘッド１とが前記圧力導入口２内部で接触する温度センサ一体型半導体圧力センサとする。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動に抗して真の信号電圧を適切に取り出すことができるセンサ電圧処理回路を提供する。
【解決手段】燃焼圧センサ２０のピエゾ抵抗素子２３は、定電流源２２を介して電源に接続されている。センサ電圧処理回路３０では、接地されている第１コンデンサ３２と、定電圧源３４を介して電源に接続されている第２コンデンサ３３とが、電圧保存配線３７によって接続されている。第１コンデンサ３２と第２コンデンサ３３との容量比は、保存電圧Ｖｋの想定される変動範囲のほぼ中間値である基準保存電圧と、電源の定格電圧から基準保存電圧を減算した電圧との比となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】 密閉容器外に取付けた温度センサで測定される温度値を用いて、密閉容器内のガス漏れを検知する既存のガス圧監視装置では、実際の密閉容器内の温度値と測定される温度値に不確定な温度差が存在し、測定される密閉容器内の圧力値から所定温度に換算した換算圧力を求めることが困難であり、ガス漏れの早期検知ができなかった。
【解決手段】 ２４時間周期で定義される所定の時間帯で測定される圧力値と温度値の時系列的な推移からなる特性曲線の傾きから、密閉容器内外の不確定な温度差の影響を無くすことで、密閉容器内の換算圧力を高精度に求め、ガス漏れの早期検知を可能にした。 （もっと読む）

【課題】静電容量型のセンサ素子の静電容量の変化を検出する静電容量検出回路であって、連続的且つ微小な容量変化をも精度良く検出を可能であり、更に、小型で安価な静電容量検出回路を実現する。
【解決手段】センサ駆動回路１２０で静電容量型のセンサ素子１０に駆動電圧を印加し、
センサ素子の静電容量の変化を連続時間型Ｃ−Ｖ変換回路１１０で電圧信号に変換し、該変換で得た電圧信号から同期検波回路１３０によって信号成分を検出し、更に、平滑回路１４０によって同期検波回路１３０の出力信号を平滑化する。 （もっと読む）

【課題】 温度変化による感圧抵抗体の抵抗値変化を適切に相殺して、検出圧力Ｐｐを精度良く検出できる圧力検出装置を提供すること。
【解決手段】 筒内圧センサ付きグロープラグ１００は、筒内圧Ｐｐ及び温度Ｔの変化に応じて自身の第１抵抗値ｒ１が変化する感圧抵抗体１３１と、主に温度Ｔの変化に応じて自身の第２抵抗値ｒ２が変化する感温抵抗体１３３とを有するＳｉ素子１３０を備える。また、第１合成抵抗１３１の第３抵抗値ｒ３と、第２合成抵抗２１２の第４抵抗値ｒ４とに基づいて、素子圧力Ｐｓに応じた圧力信号Ｓｐｐを生成し出力する圧力信号生成出力手段２０５，２０７，２０９を備える。 （もっと読む）

【課題】抵抗値の調整が容易な半導体装置及びその製造方法を得る。
【解決手段】シリコン基板上に所定間隔で形成された配線層と、前記シリコン基板上及び前記両配線層上に形成されたパッシベーション膜と、前記両配線間の前記パッシベーション膜上に形成された抵抗体層と、前記抵抗体層上に形成された、各配線層と抵抗体層とを導通する電極層とを備え、前記抵抗体層上に、前記両電極層間における該抵抗体層の平面的な大きさを決める絶縁バリア層を形成した。 （もっと読む）

【課題】波長変化の検出精度を向上させる波長検出装置、圧力検出装置、除振装置、および露光装置を提供する。
【解決手段】前記光源部から射出される光を複数の光に分離し、当該分離した複数の光のうち少なくとも２つの光を干渉させる光学部と、前記干渉によって得られた干渉光を受光する受光部と、前記受光部によって受光された干渉光の干渉強度を検出する検出部とを備え、前記光学部は、前記干渉させる２つの光のうちいずれか一方の光を測定対象となる媒質に透過させる測定媒質部を備える。 （もっと読む）

【課題】平面矩形をなすダイヤフラムエッジの各辺上に配置した互いに対向する一対の第１及び第３の感応抵抗素子と互いに対向する一対の第２及び第４の感応抵抗素子によるブリッジ回路のオフセット電圧を調整でき、かつ、該オフセット電圧の温度特性変動を抑える半導体圧力センサ及びその製造方法を得る。
【解決手段】ブリッジ回路内に、第１ないし第４の感応抵抗素子にそれぞれ直列接続した補正抵抗を設け、この補正抵抗の抵抗温度係数を第１及び第３の感応抵抗素子側と第２及び第４の感応抵抗素子側で異ならせた。 （もっと読む）

【課題】フセット補正用抵抗素子の温度係数ＴＣＲの調整、設定が容易なブリッジ回路出力電圧のオフセット調整回路を得る。
【解決手段】電源入力端子と接地端子との間に、感応抵抗素子が直列接続された直列抵抗素子が二組並列に接続され、各直列抵抗素子の中点の電圧が中点電圧として取り出され、前記中点電圧差の中央値が前記差動増幅器の出力レンジの中央値となるようにオフセットする温度特性調整抵抗素子が、前記各直列抵抗素子の前記各中点を挟んだ対角位置に、各直列抵抗素子と直列となるように配置され、前記各温度特性調整抵抗素子の温度係数を、前記直列抵抗素子の温度係数よりも小さく設定された、ブリッジ回路の出力電圧オフセット調整回路であって、前記温度特性調整抵抗素子を、Ｎｉ、Ｆｅ及びＣｒからなる薄膜層と、Ｔａ又はＴａＮからなる薄膜層の積層構造とした。 （もっと読む）

【課題】液体の圧力を空気の圧力に変換して検出する構成を有効に活用することにより、液体の温度が高くても、当該液体の温度の影響を受けることなく、この液体の圧力を正しく検出するようにした圧力センサ及びこの圧力センサを利用した流量検出装置を提供する。
【解決手段】液圧室Ｌ１及び空圧室Ｒ１が、両ダイヤフラム２２、２４を介し互いに対向するように基台Ｈ１内に形成されている。ここで、液圧室Ｌ１内に流入する薬液の液圧がダイヤフラム２２に作用し、空圧室Ｒ１内に流入する空気の空圧がダイヤフラム２４に作用する。圧電変換ユニット５０が基台Ｈ１上に設けられて、上記液圧の変動に伴う両ダイヤフラム２２、２４の変位に応じて変動する上記空圧を薬液の液圧として検出する。 （もっと読む）

【課題】配管内を流れる流体の圧力を、温度に係わらず正確に検出可能にする。
【解決手段】流体の温度によって圧力脈動の伝達速度が変化するため、配管４中に流体流れ方向に離して２つの圧力センサ５、６を配置し、流体の圧力脈動が第１圧力センサ５の位置と第２圧力センサ６の位置との間を伝達するのに要した伝達時間を算出し、その伝達時間に基づいて流体の圧力の算出値を補正する。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムシール受圧部に起因する出力値の誤差を抑制できる圧力伝送器を提供する。
【解決手段】増幅器１２は、温度センサ１３から得られる周辺温度と記憶媒体５から得られるパラメータ情報を用いて補正量を算出する。また、算出された補正量を用いて補正前の値に対する補正を行い、補正後の値を出力値として出力する。このように、記憶媒体５に格納された個々のダイアフラムシール受圧部２のパラメータ情報を用いた補正を行うので、ダイアフラムシール受圧部２のばらつき等に起因する出力誤差を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】信号レベル検波方式を利用し、シンプル且つ小型な回路で、複数の素子部の応答の検波を容易に実現できる弾性表面波素子、センサ、センシングシステム、及び状態検知方法を提供すること。
【解決手段】測定用素子部１９と参照用素子部２１との間に、遅延線の構造を有する第１遅延部５１を備えているので、測定用素子部１９から出力される信号を参照用素子部２１から出力される信号に対して遅延させることができる。つまり、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、時間的にずらすことができる。従って、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、無線によって送信した場合でも、その信号を受信した外部装置３では、両信号の時間的ずれにより、両信号を分離することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力センサチップの製造コスト上昇や大型化を抑えつつ、集積回路チップによる
安定した温度補正を行うことができること。
【解決手段】圧力センサ１は、圧力センサチップ２と集積回路チップ３とパッケージ４と
圧力伝達媒体たるオイル５とを備える。圧力センサチップ２は流体１４の圧力を検出し、
集積回路チップ３は圧力センサチップ２で検出される検出値に温度補正を行う。パッケー
ジ４は箱状に形成され各チップ２，３を内部に収納する。パッケージ４の圧力センサチッ
プ２と対向する内面には圧力導入孔４ｃが貫設される。オイル５は圧力導入孔４ｃに充填
されて流体１４の圧力を圧力センサチップ２に伝達する。パッケージ４材料の比熱とオイ
ル５の比熱は互いに略等しいので、流体１４の温度が周囲の雰囲気温度と大きく異なって
いても、圧力センサチップ２の製造コスト上昇や大型化を抑えつつ、集積回路チップ３に
よる安定した温度補正を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】タイヤ内の温度変化にかかわらず、空気圧の低下を適切に検出して警報を発することが可能なタイヤ空気圧監視システムを提供する。
【解決手段】制御部は、リセット信号が入力されたときのタイヤ内の温度および空気圧をそれぞれ設定温度、設定空気圧として、その設定温度に対してその設定空気圧より所定量低い圧力値を判定用閾値の基準とし、タイヤ内の温度が高くなるほど所定の勾配で圧力値が高くなるよう判定用閾値を設定する一方、タイヤ内の温度が設定温度未満となる温度範囲の判定用閾値の勾配が、設定温度以上となる温度範囲の判定用閾値の勾配よりも緩やかになるよう判定用閾値を設定する。 （もっと読む）