【課題】圧力の検出精度を向上する。
【解決手段】燃料の圧力を検出する圧力センサ３１と、圧力センサ３１の温度または燃料の温度を検出する温度センサ３２、１０２、２２と、圧力センサ３１の温度特性が予め記憶された記憶手段３０２ａと、温度センサ３２、１０２、２２によって検出された圧力センサ３１の温度または燃料の温度、および記憶手段３０２ａに記憶された温度特性に基づいて圧力センサ３１の出力値を温度補正する補正手段Ｓ１１０とを備える。例えば、温度センサ３２は、圧力センサ３１と一体に構成されて圧力センサ３１の温度を検出する。 （もっと読む）

【課題】正圧か負圧かの判定ができ、静圧特性が良好で、且つ双音叉圧電振動素子の周波数温度特性を相殺した相対圧力センサー得る。
【解決手段】相対圧力センサーは、上下に開口部を有する第１ケース部７と、該第１ケース部７の上下の開口部を密閉して、内部に密閉空間２３を形成すると共に、外側から中心部に第１接合部１１ａ（第２接合部１１ｂ）と薄肉部１３ａ（１３ｂ）と第１保持部１２ａ（第２保持部１２ｂ）と第１中央板部１４ａ（第２中央板部１４ｂ）とする第１及び第２のダイヤフラム部１０ａ、１０ｂと、第１及び第２のダイヤフラム部１０ａ、１０ｂの夫々第１及び第２保持部１２ａ、１２ｂに搭載された第１及び第２第１双音叉振動片１５ａ、１５ｂと、第１及び第２のダイヤフラム部を気密裡に隔絶し、第１ケース部７を覆うと共に第１及び第２導入口２７ａ、２７ｂを有する第２ケース部２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】外形サイズの小型化及び温度変化に対する感圧素子の共振周波数の補正精度の向上が実現できる圧力センサーモジュールの提供。
【解決手段】圧力センサーモジュール１は、振動片部１３と振動片部１３の両端に接続される一対の基部１４とを有する双音叉素子１５と、双音叉素子１５の各基部１４を支持する一対の支持部２２を有し、双音叉素子１５の一方の主面１１側を覆うダイヤフラム層２０と、双音叉素子１５の他方の主面１２側を覆うベース層３０と、双音叉素子１５を共振させる発振回路部、温度センサーなどの温度検出部を有するＩＣチップ４０と、を備え、ＩＣチップ４０が、ダイヤフラム層２０、感圧素子層１０、ベース層３０の積層により形成されたパッケージ５０の内部に収容され、双音叉素子１５と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】光センサ向けの自己較正式問合わせシステムを提供すること。
【解決手段】光学式圧力センサ問合わせシステム（４０）を提供する。本システムは、光学式圧力センサ（４２）に光信号（４６）を提供するための光源（４４）と、光学式圧力センサ（４２）から反射された信号（５０）を受け取るための光結合器（５４）と、を含む。光結合器（５４）は、反射された信号（５０）を分割し、かつ反射信号（５０）の第１の部分（５６）を第１の光検出器（６０）に提供している。本システムはさらに、反射信号（５０）の第２の部分（５８）を受け取りかつフィルタ処理済み信号（６８）を第２の光検出器（６２）に提供するためのフィルタ（６４）と、第１及び第２の光検出器出力信号の光強度同士の除算又は減算に基づいて圧力を取得するように構成された処理回路（７０）と、を含む。処理回路（７０）はさらに、光信号の波長を制御するために光源に対してフィードバック信号を提供するように構成される。 （もっと読む）

【課題】計測対象に作用する圧力と温度などを独立して高空間分解能で計測する。
【解決手段】分布型光ファイバ圧力センサＦＳは、歪み、圧力及び温度検出計１４が、ブリルアン散乱現象を利用して第１検出用光ファイバ１５１に作用した歪み、圧力、温度によるブルリアン周波数シフト量を計測し、圧力遮蔽管３３に挿通された第２検出用光ファイバ１５２に作用した歪み、温度によるブルリアン周波数シフト量を計測し、レイリー散乱現象を利用して第１及び第２検出用光ファイバ１５１，１５２に作用した歪み、温度によるレイリー周波数シフト量を計測し、計測された第１及び第２検出用光ファイバ１５１、１５２のブリルアン周波数シフト量、レイリー周波数シフト量とから第１検出用光ファイバ１５１に作用した圧力を算出するとともに、第１及び第２検出用光ファイバ１５１、１５２に作用した軸方向の歪みと温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】流体中の同一点の流体圧力と流体温度を同時に測定してオリフィス通過流量を高精度に制御できる圧力式流量制御装置を実現する。
【解決手段】圧力式流量制御装置に於いて、圧力センサ及び温度センサを、受圧面に形成した４個の抵抗を４辺とするブリッジ回路の入力端子間に定電流電源を接続してその出力端子間の電圧変化で流体圧力を検出すると共に、入力端子間の電圧変化で流体温度を検出する構成の温度と圧力を同時に検出する一つの圧力温度センサ１０とし、流体温度Ｔに対応した補正を行ってこれを流体圧力Ｐ_１に変換すると共に、温度変換手段からの流体温度Ｔに対応して流量演算式の比例定数Ｋの温度補正を行うガス温度補正手段と，補正後の後の演算流量Ｑ_Ｃと設定流量Ｑ_Ｓとの差を制御信号としてコントロールバルブへ出力する比較回路と，から構成する。 （もっと読む）

【課題】温度補償を高精度で行なうことができる半導体圧力センサおよびその製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明の半導体圧力センサは、シリコン基板１と、シリコン基板１上に形成された第１のダイヤフラム２５および第１のゲージ抵抗７を有するアクティブゲージ抵抗形成部１０１と、基板１上に形成された第２のダイヤフラム２６および第２のゲージ抵抗７を有する温度補償用ダミーゲージ抵抗形成部１０２とを備えている。
アクティブゲージ抵抗形成部１０１の第１のダイヤフラム２５および温度補償用ダミーゲージ抵抗形成部１０２の第２のダイヤフラム２６が共通のポリシリコン膜５より形成されている。ポリシリコン膜５は基板１に接続するために基板１側に延びるアンカー部２１を有している。第１および第２のダイヤフラム２５、２６が互いに同一または対称の構造を有し、かつ第１および第２のゲージ抵抗７が互いに同一または対称の構造を有している。 （もっと読む）

【課題】温度変化による誤差を補正し、且つ温度センサーが低消費電流である圧力検出ユ
ニットを得る。
【解決手段】圧力検出ユニットは、一対の振動腕２５ａ、２５ｂ及び一対の振動腕の両端
部に夫々一体化された基部２４ａ、２４ｂを有する第１の圧電振動片２３と、振動腕２８
及び振動腕の一端部に一体化された基部２７を有する第２の圧電振動片２６と、前記第１
の圧電振動片２３の基部２４ａ、２４ｂが接合される一対の支持部１３ａ、１３ｂを有す
るダイヤフラム１０と、前記ダイヤフラム１０と対向配置される基台１５と、を備えてい
る。前記第２の圧電振動片２６の基部２７は前記第１の圧電振動片２３の一方の基部２４
ａに同一面内で連結されている。 （もっと読む）

【課題】温度変化による誤差を補正し、且つ温度センサーが低消費電流である圧力検出ユニットを得る。
【解決手段】圧力検出ユニットは、一対の振動腕２５ａ、２５ｂ及び一対の振動腕の両端部に夫々一体化された基部２４ａ、２４ｂを有する第１の圧電振動片２３と、振動腕２８及び振動腕の一端部に一体化された基部２７を有する第２の圧電振動片２６と、前記第１の圧電振動片２３の基部２４ａ、２４ｂが接合される一対の支持部１３ａ、１３ｂを有するダイヤフラム１０と、前記ダイヤフラム１０と対向配置される基台１５と、を備えている。前記第２の圧電振動片２６の基部２７は前記第１の圧電振動片２３の一方の基部２４ａに同一面内で連結されている。 （もっと読む）

【課題】磁気抵抗素子やトランスデューサ素子を用いたブリッジ回路では信号出力にオフセット電圧が発生し、計測精度が低下するという課題があった。
【解決手段】磁気抵抗素子やトランスデューサ素子を用いたブリッジ回路では信号出力にオフセット電圧が発生し、計測精度が低下するという課題があったので、磁気抵抗素子やトランスデューサ素子で構成するハーフブリッジをそれぞれ異なる励起電圧で励起することでオフセット電圧を除去し、計測精度を向上させた。 （もっと読む）

【課題】 既存のガス圧監視装置は、密閉容器内にガス圧力センサと温度センサを設置し、それぞれの測定する圧力値と温度値に基づき、所定温度に換算した換算圧力を求めていた。密閉容器外に温度変化があると、密閉容器内にガス対流が発生し、測定される温度値に変動が現れ、求められる換算圧力も変動するという課題がある。
【解決手段】 密閉容器外に温度センサを設置し、任意の時刻で測定した温度値とその任意の時刻から所定の遅延時間後に測定される圧力値とにより、所定温度に換算した換算圧力を求めるようにし、密閉容器内のガス対流の影響を避け、安定した換算圧力を得るようにした。 （もっと読む）

【課題】温度の影響を除去し、圧力測定精度を改善した低消費電流型の圧力検出ユニット
を得る。
【解決手段】圧力検出ユニット１は、一対の振動腕及び該一対の振動腕の両端部に夫々一
体化された基部を有する第１の圧電振動片２０と、振動腕及び該振動腕の一端部に一体化
された基部を有する第２の圧電振動片２５と、前記第１の圧電振動片２０の基部が接合さ
れる一対の支持部１３ａ、１３ｂを有するダイヤフラム１０と、前記ダイヤフラム１０と
対向配置される基台１５と、を備えている。そして、前記第２の圧電振動片２５は、前記
ダイヤフラム１０の厚み方向において前記第１の圧電振動片２０と重なり合わない位置に
配置されている。 （もっと読む）

【課題】 温度変化の影響を小さくできる弾性表面波センサ，および，弾性表面波センサの圧力測定方法を提供する。
【解決手段】 弾性表面波センサ１は、発振回路１１〜１４，周波数ミキサ２１〜２４を備えている。
周波数ミキサ２１は、発振回路１１および発振回路１２の出力周波数の差の周波数Ｆｘ１＿Ｔを出力する。また、周波数ミキサ２２は、発振回路１２および発振回路１３の出力周波数の差の周波数Ｆｘ２＿Ｔを出力する。基準状態においてはＦｘ２＿０＝Ｆｘ１＿０となるように設定されている。
また、第３の周波数ミキサ２３は、第４の発振回路１４および第２の周波数ミキサ２２の出力周波数の差の周波数Ｆｘ３＿Ｔを出力する。Ｆｘ３＿Ｔ＝Ｆｘ２＿Ｔ−Ｆ４となる。第４の周波数ミキサ２４は、Ｆｘ１＿ＴとＦｘ３＿Ｔとの差の周波数を出力する。 （もっと読む）

【課題】曲面の座標値の計算のみを実装して必要な値を取り出すことができ、制限されたメモリ使用量で目的とする値を得ること。
【解決手段】ＥＣＵ１０がトランスポンダ１１から返信された返信信号を分析して圧力周波数及び温度周波数を取得し、測定された圧力周波数と温度周波数とから実際のタイヤ内の圧力値を求める。このとき、事前に複数回測定した温度周波数，圧力周波数，圧力値を用いてB-spline曲面Ｓ（ｕ，ｖ）を生成し、実際の温度周波数及び圧力周波数の測定値からパラメータ（ｕ，ｖ）を求め、パラメータ（ｕ，ｖ）に対応する圧力値を算出する。 （もっと読む）

【課題】センサへの厳しい性能要件に加えて、デジタル通信、診断、より低い温度感受性等の要求を解決する。
【解決手段】キャパシタンスダイヤフラムゲージ１０用のデジタルコントローラがデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）１１０に埋め込まれる。コントローラは、センサＡＦＥ３０から可変ゲインモジュール４０、ゼロオフセットモジュール５０、およびアナログ−デジタル変換器６０を介して、デジタル化された入力を受け取る。コントローラは、受け取った入力を、可変ゲインおよびゼロオフセットモジュールを調整することによって、自動的にスケーリングする。コントローラはまた、センサ１０において適切な温度を維持するように、ヒーターアセンブリ２０をモニタリングし、調整する。コントローラは、処理するリソースをゲージコントローラモジュールの様々なタスクに割り当てるカーネルモジュールを利用する。 （もっと読む）

【課題】 感圧抵抗体を有し、温度変化によるこの感圧抵抗体の抵抗値変化を適切に相殺して、検出対象である圧力を精度良く検出できる圧力検出装置を提供する。
【解決手段】 筒内圧センサ付きグロープラグ100は、圧力Ｐ及び温度Ｔに応じて抵抗値が変化する感圧抵抗体131と、温度Ｔに応じて抵抗値が変化する感温抵抗体133と、感圧抵抗体に第１定電流ｉ１を流す第１定電流源２０２、感温抵抗体に第２定電流ｉ２を流す第２定電流源２０３を有し、圧力Ｐを所定圧力Ｐｏとしたとき、感圧抵抗体に生じる基準第１電圧Ｖｐoと感温抵抗体に生じる基準第２電圧Ｖｔoとが等しくなる大きさの第１定電流ｉ１と第２定電流ｉ２を流す。さらに、圧力Ｐに応じて感圧抵抗体に生じる第１電圧Ｖｐと感温抵抗体に生じる第２電圧Ｖｔとの差分電圧（Ｖｐ−Ｖｔ）に基づいて、圧力Ｐに応じた第１電圧信号Ｓｐｐを出力する圧力信号生成出力手段を備える。 （もっと読む）

【課題】測定に伴う圧力変化および温度変化を低減した圧力センサを提供する。
【解決手段】一方の面に第１凹部１４を有し、他方の面に第２凹部１６を有するパッケージ１２と、前記第１凹部１４に配置され、圧電振動片を感圧素子とした圧力センサ素子２６と、前記第２凹部１６に配置され、前記圧力センサ素子２６と電気的に接続され、温度変化に伴う前記圧力センサの圧力測定誤差を補償する温度補償回路５２と、を有し、前記温度補償回路５２は、前記第２凹部１６の底部１６ａの周縁に設けられたスペーサ１８に接着され、前記底部１６ａから離間して配置されてなる。 （もっと読む）

【課題】温度変化によるゼロ点シフトをより小さくした信号処理装置を実現する。
【解決手段】物理量を検出器で測定信号として検出すると共にこの物理量に関連する温度を温度センサで温度信号として検出し前記測定信号に対してこの温度信号を用いて温度補償をして出力する信号処理装置において、前記物理量がゼロのときの信号に対して前記検出器が配置された場所における一定時間内の最大温度と最低温度における誤差信号を予め求め、この誤差信号をもとに前記温度補償して出力された信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】小型で高性能な圧力センサを提供すること。
【解決手段】本発明にかかる圧力センサは、差圧用ダイアフラム４と、差圧用ダイアフラム４の外周部に設けられた静圧用ダイアフラム１７と、差圧用ダイアフラム４を挟んで配置された２つの静圧用ゲージ１５ａ、１５ｂを有し、静圧用ダイアフラム１７の端部に形成された第１の静圧用ゲージペア１５と、差圧用ダイアフラム４を挟んで配置された２つの静圧用ゲージ１６ｃ、１６ｄを有し、静圧用ダイアフラム１７の中央部に形成された第２の静圧用ゲージペア１６と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】圧力検知素子をハウジングに収容した状態で、できるだけ正確に圧力測定を行うことができる圧力測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】圧力測定装置１は、電流供給手段５と、この電流供給手段により供給電流が供給され、圧力の検出を行う圧力検知素子２と、この圧力検知素子２を収容するハウジング１５を備える。また、測定圧力に応じた出力を行う電圧測定手段６を備え、ハウジング１５の温度特性に応じて、圧力検知時の供給電流の入力値を選択する制御部（ＥＣＵ）７を備える。制御部７は、ハウジング１５の温度特性に基づいてハウジングの状態を推定し、ハウジングの状態が圧力測定値に及ぼす影響を相殺するように圧力検知素子へ供給される供給電流の入力値を選択する。 （もっと読む）