【課題】温度測定に要する作業工数を低減できると共に、回路基板及び電子部品の色や仕上げ状態が変化しても測定結果を有効に適用できる炉内の温度測定方法の提供を課題とする。
【解決手段】リフロー炉１１内に、回路基板と略同一形状及び寸法を有する第１及び第２の疑似回路基板１２，１３が挿入され、第１及び第２の疑似回路基板１２，１３の表裏面の温度、及びリフロー炉１１内における第１及び第２の疑似回路基板１２，１３の周囲の空気温度が測定される。第１の疑似回路基板１２は、所定の物性値が既知の金属板の全面に黒色が施され、第２の疑似回路基板１３は、所定の物性値が既知の金属板の全面に鏡面仕上げが施される。 （もっと読む）

【課題】電源を供給する必要がなくて自動化に適し、耐熱性を高め、簡単な回路でウェハの温度分布を測定できるウェハ型温度センサとこれを用いた温度測定装置、温度測定機能を有する熱処理装置および温度測定方法を提供する。
【解決手段】ウェハ１と、ウェハ１の上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数の温度センサ２ａ，２ｂ…とを備えてウェハ型温度センサ１０を構成し、各温度センサ２ａ，２ｂ…は、高周波信号が入力されたことに応じて、各領域ごとに異なる周波数帯域内で対応する領域の温度に基づく周波数信号を送り返す表面弾性波素子を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な手段により正確でかつ再現可能な結果を提供し、しかも従来の欠点を回避した、ロータ温度の非接触式測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ロータ温度の非接触式測定装置に関するものである。この装置は、ロータおよびステータと、ロータ上の磁石およびステータに配置した電気コイルと、これらのコイルにかかる電圧を測定するための電子手段と、およびロータを回転させる駆動装置とを含む。温度範囲内の測定もまた可能な改善した温度測定を可能にするために、磁石によってコイルに誘導された電圧を測定し、そしてこの電圧を温度に比例した信号に変換することを提案する。 （もっと読む）

【課題】バルブ内に複数の配線を通すための技術を提供する。
【解決手段】電磁弁コイル１２に接続される複数の配線１５と、温度センサ１４に接続される複数の配線１５が、共通の配線通路１６内に設けられている。つまり、４本の配線１５が１本の配線通路１６内に設けられている。このようにバルブ１０は、複数の配線１５を共通の配線通路１６内に通しているため、各配線１５ごとに配線通路１６を設ける場合に比べて、バルブ１０の小型化が図れる。 （もっと読む）

電子式蒸気トラップの監視装置が開示された。電子式蒸気トラップ監視装置（２３０）は、そのトラップが正常に動作していることが既知である場合、蒸気トラップの排出口に動作可能に接続され、そのトラップの中を流れている流体（液体又はガス）の少なくとも一つのプロセス変量を測定するように構成される。蒸気トラップ監視装置（２３０）は、後で比較するために、既知の状態の間に取得されたプロセス変量情報を格納する。蒸気トラップ監視装置（２３０）は、１つの後のプロセス変量の測定値を得て、１つの漏出表示を選択的に生成するために、それを、格納された測定値と比較する。蒸気トラップ監視装置（２３０）は、好ましくはローカル電源（３００）を使用して、無線で通信する。
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【課題】 限られた数の温度センサを使用して、低コストで管路内ケーブルの温度監視方法を提供する。
【解決手段】 温度センサを内蔵したロッドを管路に挿入しながら温度を観測し、特定の位置で固定し電力ケーブルの温度を監視する手順を備えるとともに、温度センサの位置を特定するためのロッドの送り出し長計測手順においては、ロッドに備わったラベルを読み取ることによって、計測した送り出し長を補正することを特徴とする電力ケーブル温度監視方法。 （もっと読む）

【課題】エッチングプラズマ処理設備によって生成される放出ガス流中の活発な活性ガス化学種の存在及び濃度を下流側の位置でモニタリングすることによってプラズマ状態を決定するための方法及びシステムを提供する。
【解決手段】エッチングプラズマ処理設備のプラズマ状態を決定するための方法であって、活発なガス化学種が存在することによる温度変化を示すことができその温度変化に対応して温度変化を表す出力信号を生成することができる少なくとも１つのセンサエレメントを提供するステップと、エッチングプラズマ処理設備によって生成される放出ガス流にセンサエレメントを下流側の位置で接触させるステップと、センサエレメントによって生成される、放出ガス流中に活発なガス化学種が存在することによって生じる温度変化を表す出力信号に基づいて、エッチングプラズマ処理設備のプラズマ状態を決定するステップと、を含む方法である。 （もっと読む）

【課題】プロセスチューブ内の温度を確実に制御して均熱領域の温度を大きく超える部分が生じるのを防止することが可能な熱処理装置を低コストに提供する。
【解決手段】５点型熱電対のプロファイル熱電対１７を用い、プロセスチューブ１１内の均熱領域Ｅｂの両端部と中央部の３箇所の温度を各熱電対１７ｂ，１７ｄ，１７ｃで検出すると共に、各領域Ｅａ，Ｅｃの温度を各熱電対１７ａ，１７ｅで検出する。温度制御装置２０は、各スパイク熱電対１６ａ〜１６ｃの温度検出結果に基づいて各ヒーター１５ａ〜１５ｃ毎に個別の温度制御を行い、プロファイル熱電対１７を構成する各熱電対１７ａ〜１７ｅの温度検出結果に基づいて当該温度制御を補正することにより、炉奥１１ａおよび炉口１１ｂの熱損失をカバーした上で、各領域Ｅａ，Ｅｃの温度が均熱領域Ｅｂの温度を超えないように、プロセスチューブ１１内の温度を最適に制御する。 （もっと読む）

【課題】 全体として柔軟な特性を実現しつつ、近接する多数点において、温度，圧力，接触を検出することが出来る、新規な構造の人工皮膚を提供することを目的とする。
【解決手段】 硬質部分２０と軟質部分２２が設けられた弾性シート１２と、弾性シート１２における硬質部分２０の表面に及ぼされる圧力を検出する圧力検出手段４６と、他物との接触を検出する接触検出手段３０と、温度を検出する温度検出手段４０とを、含んで人工皮膚を構成した。 （もっと読む）

【目的】加圧接触型素子とこれに接触している接触電極との接触面の通電時の温度を直接に測定する。
【構成】接触電極３の加圧接触型素子との接触面31の温度測定位置に溝32を形成し、この溝32の内部に所定の溶融温度の溶融型示温材料（図1ではサーモクレヨン）６を溶融して塗布し、溶融型示温材料６の凝固面に超微小硬度計を用いて所定の間隔で圧痕61を形成する。この接触電極３を加圧接触型素子と共に素子パッケージに組み込み所定の条件下で通電した後、接触電極３を素子パッケージから取り出し、組込み前の圧痕61と通電後の圧痕61との形状を比較して、圧痕61の位置の温度を判定する。溝32の内部に異なる融点の複数の溶融型示温材料を並行塗布すれば、1度に測定できる温度幅が広がる。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造過程においては、シリコンウェハーを真空チャンバー内において熱処理することが行われており、この作業に先立ち、ダミーのシリコンウェハーを用いてシリコンウェハーの各部位の熱分布を測定しているが、真空チャンバー内のプラズマ雰囲気中における放電現象によって感温発色体が損傷を受けることがあり、正確な温度分布の測定は困難であった。
【構成】合成樹脂フィルムの表面にアルミニューム膜を蒸着させた基板５上に、特定の設定温度で不可逆的に発色する感温発色体１を固定してシリコンウェハー用温度測定具を構成した。 （もっと読む）