【課題】ビーム空間内の温度状態に依存した、レーザビームのパラメータの制御を最適化すること
【解決手段】温度検出装置が、複数の測定装置を前記ビーム空間に沿って有することで、温度検出装置は、ビーム空間内のガス内の温度状態をビーム空間横断面にわたって検出し、複数の測定装置は、ビーム空間内のガスの温度を、レーザビームのビーム伝播方向に沿って、レーザビームからの種々異なる半径方向間隔で測定するレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】温度や歪みを計測するためのセンサ付ウェーハを安価に製造でき、しかも精度よく温度や歪みの計測を行えるようにする。
【解決手段】基板１０の表面に、当該基板１０表面に下地膜１１が形成されていない場合と比較して、ナノ粒子分散インクの基板１０に対する密着力を高め、ナノ粒子分散インクの基板１０中への拡散を抑制し、ナノ粒子分散インクに含まれる金属結晶の粒成長を抑制できる下地膜１１が形成される。基板１０表面の下地膜１１の表面に、ナノ粒子分散インクを用いて、センサ１の配線パターンが描画され、ナノ粒子分散インクが焼成され、金属化される。 （もっと読む）

測定される同じ温度環境に配置されて異なる熱特性を有する第１の温度センサ及び第２の基準温度センサを含む温度計による温度測定を補償する方法及びシステム。本方法及びシステムは、温度効果によって生じる基準センサの変動による測定温度の誤差を補償する。 （もっと読む）

【課題】固体金属と液体金属との接触部温度を正確に測定することが容易な温度測定方法および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】温度測定方法は、異種金属である、プリント配線板の導電部３と溶融はんだ９とを接触させる工程と、プリント配線板の導電部３と溶融はんだ９とを熱電対として、プリント配線板の導電部３と溶融はんだ９との接触部の温度を測定する工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】各種の処理が施される半導体ウェハ等の処理対象物の温度を，汚染を回避しつつ高精度で測定することができること。
【解決手段】ウェハステージ２上の処理ウェハ１と，参照ウェハ支持部２ｘ上の参照ウェハ１ｘ（処理ウェハ１と同じ材質）とのそれぞれに対し，両者の温度が同等の安定状態で超音波を出力し，反射超音波の検出信号の特徴量（共振周波数，超音波伝播時間，位相等）を検出し，それらの特徴量から処理ウェハ１の厚みの調整値を算出し，処理中の処理ウェハ１における反射超音波の検出信号の特徴量と，前記厚みの調整値とに基づいて，処理ウェハ１の温度を算出する。また，前記定常状態での参照ウェハ１ｘの検出温度と前記特徴量とに基づいて，処理ウェハ１における温度と超音波伝播速度との関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】運転パターンの変化に影響されることなく、ボールねじ装置等の直動ねじ装置の異常を早期に判定する手段を提供する。
【解決手段】外周面に螺旋状の軸軌道溝４を形成したねじ軸３と、内周面に軸軌道溝４に対向するナット軌道溝６を形成したナット５と、軸軌道溝４とナット軌道溝６とで形成される複数の負荷路と、それぞれの負荷路の両端を連通する連通路と、負荷路と連通路とで形成される循環路と、それぞれの循環路を循環する複数のボール２とを備えたボールねじ装置１の異常判定方法において、ナット５の、複数の負荷路の少なくとも２つを形成するナット軌道溝６の半径方向の外側に、それぞれの温度を検出する温度センサ１３ａ、１３ｂを設け、２つの温度センサ１３ａ、１３ｂの温度検出値Ｔａ、Ｔｂの温度差ΔＴが、異常判定値Ｗｔを超えたときに異常と判定する。 （もっと読む）

この発明は、メニスカスの高さに金型銅板に配置されている繊維光学的に温度検出するゾンデによって金型内のメニスカスを測定する方法である。このゾンデでは、光波導体が配置されていて、適した温度評価システムによって簡単且つ確実で且つ高局部的解像的温度の監視をメニスカスの高さで可能とする。ゾンデによって検出された温度がメニスカス面の正確な高さで推論され得る。さらに、メニスカス波の形状が検出されて、それにより鋳造過程の他のパラメータが接近できる。
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【課題】金型において改良された、即ちより高い局部的分解された温度測定を可能とし、その上、出来るだけ僅かな据付け費用ですみ、とにかく金型の縦亀裂及び／又は中断検出を改良すること。
【解決手段】この発明は、繊維光学測定方法によって金型内の温度を測定する方法と適切に形成された金型とに関する。この目的のために、センサーとしてレザー光が案内される光波導体繊維（２）が金型銅板（１、１’）の外面上の溝（４、４’）に設けられている。温度検出システムによって温度が測定繊維に沿って多数の測定箇所において測定される。特にこの方法では、熱要素による公知の温度検出システムに比べて金型内の温度検出の改良された局部的分解が達成される。 （もっと読む）

【課題】マイクロデバイス等の微小空間内で物質を反応させる装置においては、反応温度の制御といった目的で、流路を流れる流体の正確な温度測定が必要となるが、温度センサを流路内に配置すると流体の流れを乱し、流路の外に配置すると流路内の温度が正確に測定できないといった課題があった。
【解決手段】本発明の温度センサ付流路形成体（１）は、シール金具（１１）と、前記シール金具に測温部（３７）が接合された温度センサ（１２）と、前記シール金具と前記温度センサ（１２）を被覆する断熱部材（１３）を有することで、流路（２１）内で生じた熱を流体の流れを乱すことなく正確に検知することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、観察視野近傍の微小領域の正確な温度計測が可能な集束イオンビーム装置用の局所領域温度計測装置及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば、ビームアシストデポジション機能を有する集束イオンビーム装置に着脱可能であり、局所領域温度計測装置のホルダー先端部に設けられる接触型温度計測部と、接触型温度計測部を保護する絶縁ガイドと、接触型温度計測部を絶縁ガイドから露出させる微動駆動制御部と、を少なくとも備えることを特徴とする集束イオンビーム装置用の局所領域温度計測装置、及び、これを用いた局所領域の温度計測方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】高速の回転機械のロータの温度や他の作動パラメータを測定するための、簡単で費用のかからない構造の非接触装置を提供する。
【解決手段】高速回転機械、特にターボ分子真空ポンプ100のロータの少なくとも温度を測定するための非接触装置は、ポンプ100のロータ101に取り付けられた少なくとも1つの磁気カプセル10を備えている。カプセル10は、永久磁石2と、測定されることになる最高温度よりもわずかに高いキュリー温度および温度に強く依存する透磁率を有する強磁性の材料からなる少なくとも1つのパステル3とを備えている。パステルは、磁石2により生成される磁場を変化させることを意図している。ポンプ100のステータ102に支持された検知器4は、カプセルが検知器の前を通過したときはいつでも、ロータの温度に従って変化しカプセル10により生成される磁場を表すパルスを発生させる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、使用温度範囲が広く、２次電池などのように充電を不要にできるウェハ型温度計、温度測定装置、熱処理装置および温度測定方法を提供する。
【解決手段】温度測定用ウェハ１の上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に複数の温度センサ２１，２２…２ｎと、温度センサ２１，２２…２ｎが配置された領域外に太陽電池５１，５２…５ｎを配置し、太陽電池５１，５２…５ｎから処理回路４に電流を供給し、複数の温度センサ２１，２２…２ｎの出力信号を処理回路４により温度データに変換して外部に無線で送信する。 （もっと読む）

【課題】プレート式反応において隣り合う伝熱プレート間の隙間に触媒が充填されてなる触媒層の温度を正確に測定することができるプレート式反応器を提供する。
【解決手段】プレート式反応器における二枚の伝熱プレート３間の隙間の、伝熱プレート３の対向方向における中心において温度測定装置５の支持体５ａに張力を与えて直線状に支持し、この状態で前記隙間に触媒を充填し、触媒層の中央に温度測定装置５が保持されているプレート式反応器を形成する。 （もっと読む）

【課題】安価な構成を用いてスカッフィング発生の兆候を高い精度で検出すること。
【解決手段】互いに噛み合う小歯車１と大歯車２からなる歯車対と、この歯車対の歯面に潤滑油を供給する潤滑油供給ノズル３と、歯車対の噛み合い部から設定角度回転した領域の歯面から飛散する飛沫油の温度を計測する温度センサ５と、この温度センサ５の検出温度に基づいて噛み合い部の歯面温度を推定して歯面温度を監視する温度監視手段８とを備えること。 （もっと読む）

【課題】安定的に、かつ、精度よく温度を検出できるとともに、取付け、取り外しの作業性が良好な熱電対およびその取付け構造を提供する。
【解決手段】絶縁被覆から熱電対素線の先端接合部が露出した被覆線タイプの熱電対３において、熱電対素線の先端接合部に、例えば、真鍮からなるチップ状の保持部材６をロウ付けし、この保持部材６を、金型１に形成された溝５内に嵌め込んで、熱電対３を、金型１に取り付け、取り外しできるようにしている。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、２００７年０２月２３日に出願された先行して係属中の仮出願番号６０／８９１，３６０の利益を請求する。本発明は集積回路製造の分野に関する。特に、本発明は、基板のフォトレジスト露光中に基板面で温度を測定し、そして温度をオーバーレイ精度に相関させることに関する。 （もっと読む）

【課題】ローラ内に温度センサを配置し、温度センサの検出信号を、回転トランスを介して静止側に設置した制御装置へ伝送する熱処理ローラの温度検出信号出力装置を、防爆を必要とする環境内に設置することを可能にし、その熱処理ローラの表面温度の変動に対して迅速に対応することができるようにすること。
【解決手段】回転トランスのステータ用基板１５を取付けた筒状のケース２０の一端の開口を、静止側の出力ケーブルを接続するケーブルグランド２２を装着した軸受けフランジ２１で閉塞し、他端の開口を、回転軸２に形成し、外周囲に軸方向に起立する突起２ｂと導線を挿通する筒状突起２ｃを形成した円板２ａで閉塞し，筒状突起の貫通孔２ｃに、端部にフランジ２４ａを形成した温度センサから伸びる導線を内蔵するスリーブを挿入固定する。回転トランスの内部が外部に通じる隙間の全てを狭くする。 （もっと読む）

【課題】ガスタービンの排ガス流路中に突出して伸長する温度計に発生する振動を抑制することで、振動に起因した温度計の破損を防止し、その修理・交換のためのコストを低減する。
【解決手段】 ガスタービンの円筒状の排ガス流路（Ｓ）中に、排ガス流路外周壁（２）からガスタービン中心軸に向かって周方向に等間隔に並んで伸長する複数の温度計（４）に発生する振動を抑制するために、 各温度計の熱電対（６）の胴部を覆いこれを保護する棒筒状の保護管（８）に、隣接する保護管同士の全てを連結する環状枠（１０）を設ける。ここで前記環状枠は、短冊状の金属平板部（１０ａ）と、温度計の保護管を把持するために前記金属平板部の両端に形成されたクランプ部（１０ｂ）を有する枠金具（１２）を連結して構成される。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィ法を用いた表示装置用カラーフィルタの製造において、その装置での基板温度測定が容易な温度測定器を提供うることであり、設定した時間毎、装置毎に温度を測定する温度測定方法を提供すること。
【解決手段】カラーフィルタ用基板に加わる温度を測定する基板型温度測定器であって、その形状は、カラーフィルタ用基板と同一形状であり、その表面に、複数箇所に温度センサーと、少なくとも１個のＲＦＩＤが埋め込まれ、前記温度センサーは配線層を介してＲＦＩＤと導通されていることを特徴とする温度センサー付きＲＦＩＤ埋め込みカラーフィルタ基板型温度測定器の提供と、基板型温度測定器をテストピースとして、所定の間隔毎に製造工程のラインへ投入し、予め設定された通過点位置または装置毎にセンサーの読み取り温度と、その測定時間及び通過点位置名または装置名の情報をＲＦＩＤに記録する温度測定方法。 （もっと読む）

【課題】軸受部の数に応じたセンサ用配線およびセンサ信号処理回路を必要としない軸受部監視装置と、これを用いて適切な給脂を行える給脂装置を提供する。
【解決手段】油圧ショベル11の作業装置13に設けた複数の軸受部17に対してグリスを自動供給する給脂装置21を設ける。この給脂装置21は、光ファイバ22および温度計測器23を具備した軸受部監視装置24の温度計測器23に、高温発生の軸受部17を認識する制御器25を接続する。この制御器25により始動停止を制御する電動機26により、グリスポンプ28を駆動する。このグリスポンプ28から吐出したグリスを、制御器25からの制御信号により制御した分配器29により各軸受部17に分配する。制御器25に、グリス供給対象の軸受部17などを表示する表示器30を接続する。 （もっと読む）