【課題】長体の局所的な変形により生じる見かけの曲げひずみを排除すると共に、三次元空間の状態量を合理的に再現するのに必要な情報を得ることができるようにする。
【解決手段】肉厚１〜２ｍｍのアルミ管またはステンレス管１の表面を切削し、ひずみゲージ２を貼り付ける位置（周方向４箇所、軸方向５０ｃｍ間隔）のアルミ管１の肉厚部を切削して中立面を露出させ、ひずみゲージ２を軸方向に平行及び軸に対して直角方向及び斜め（４５度）の方向に感度を持つように貼り付け、エポキシ樹脂で切削部を充填し、アルミ管１表面を滑らかな状態に成形した。ひずみゲージが長体の表面に露出していないため、外力がひずみゲージに直接作用することがなく、見かけの曲げひずみを拾うことがないため、高い精度の長体センサが得られる。 （もっと読む）

【課題】 力学量をセンシングし測定情報をワイヤレスで送信する半導体力学量測定装置に関して高精度且つ高信頼性を確保するための装置構造及び測定方法を提供する。
【解決手段】半導体力学量測定装置のシリコン基板において、例えば、測定方向の基板長さに対する基板厚の比を小さく、測定方向に対して垂直な方向の基板長さに対する基板厚の比を大きくする。或は、装置上面を保護材で被う。
【効果】 特定方向のひずみ測定が可能になり、誤差の少ない高精度な力学量測定を可能にする。さらに、装置自体の耐衝撃性、耐環境性が向上する。
（もっと読む）

【課題】 可動部を付勢するバネがボビンと干渉することなく、可動部を押し込むことができる接触式変位センサーを提供する。
【解決手段】 検出信号を生成する励磁コイル１２と、励磁コイル１２が装着され、軸方向に中空部が形成されたボビン１３と、中空部内に挿入されるコアが一端に形成され、ボビン１３から軸方向に突出された他端に接触子４が形成された可動部と、可動部と同軸に配置されるとともに全体が常に中空部内に収容され、可動部を軸方向に付勢するコイル状のバネ１１により構成される。特に、バネ１１は、中空部の直径とバネ１１の外径との差がバネ１１の内径とコア保持管１４の直径との差よりも小さくなるように構成される。また、可動部は、コアを保持し、バネ１１の先端に当接するコアホルダ部１５と、接触子４が設けられるシャフト部１７と、コアホルダ部１５及びシャフト部１７を折り曲げ可能に連結する連結部１８とからなるように構成される。 （もっと読む）

渦電流モニタリングシステムは、細長いコアを含んでもよい。１つ以上のコイルを、ウェハ上の１つ以上の導電性領域に結合できる振動磁界を発生するために、該細長いコアに結合することができる。該コアは、改善された分解能を実現できると共に、十分な信号強度を維持するように、該ウェハに対して移動させることができる。渦電流モニタリングシステムは、共振周波数で振動磁界を発生するＤＣ結合マージナル発振器を含んでもよく、この場合、該共振周波数は、１つ以上の導電性領域に対する変化の結果として変化させてもよい。渦電流モニタリングシステムは、リアルタイム・プロファイル制御を可能にするために用いることができる。 （もっと読む）

車体、詳細には、ヴァンのドア等の車体に装着するための容量センサである。該センサは、第１信号が印加されるセンサプレートを有する。第１保護プレートがセンサプレートと車体との間に介在し、第２保護プレートが第１保護プレートと車体との間に介在する。第１および第２保護プレートは、各々センサプレートに印加された第１信号と同じもしくは少なくとも類似している印加された信号を有する。このようにして、第２保護プレートは、第１保護部に対する後部保護として作用する。これにより、第１保護部によって引き込まれた電流が低減され、第１保護部が、センサ上の信号をより正確に探知し、結果として車体からセンサプレートをより良くマスクすることを可能にする。
【その他】 １９条補正にて国際出願時の請求項２９、３１、３２を削除し、請求項３０を補正し新請求項２９とした。
（もっと読む）

【課題】多様なシステムとアプリケーション内の往復運動部材の瞬間位置を監視するセンサー及び感知方法を提供する。
【解決手段】往復運動部材の位置を判定するセンサーであって:上記センサーは固定電極とガード電極を含み、上記固定電極は上記ガード電極と電気絶縁された固定電極支持構造体、及び上記往復運動部材の移動に正比例して移動するように位置された可動電極を含み;上記固定電極と上記可動電極は容量性構造体を形成し、上記容量性構造体は可変容量を有し、上記可変容量は上記往復運動部材の瞬間位置に正比例することを特徴とする。 （もっと読む）