【課題】非接触距離センサによって棒体との間隔の変化を検出しこれに基づいて棒体の作動状態を測定する測定装置を提供する。
【解決手段】軸方向へ移動する棒体の表面に対して非接触状態で対向配置されて該表面との間の距離の変化を検出する非接触距離センサの検出信号に基づいて棒体の作動状態を測定する。係る構成によれば、上記距離の変化状態から、棒体の移動開始・停止位置とか、移動時間・時期を正確に判断することができ、延いては、棒体の軸方向への移動量や移動速度を取得できる。 （もっと読む）

【課題】ロッドの変位と当該ロッドに作用する負荷とを１台のセンサで検出できる流体圧アクチュエータを提案する。
【解決手段】ロッド２とピストン３との間に変位に応じた荷重を発生するスプリング４を配置し、ピストンとロッドとにそれぞれマグネット８，９を設け、磁歪式変位センサ７によってピストンとロッドとの軸方向距離及びロッドの軸方向位置を検出する。流体圧を受けてピストン３が移動すると、ロッド２にかかる負荷の大きさに応じてスプリング４が圧縮される。ロッドの負荷はスプリングの圧縮量に関係し、その圧縮量はピストンとロッドとの軸方向距離に比例し、この軸方向距離を変位センサで検出するので、結局、ロッドの負荷を求めることができる。ロッドの位置は変位センサによって直接検出できる。 （もっと読む）

【課題】改良された特性を有するマイクロメカニカル素子およびマイクロメカニカル素子を監視するための空間を節約するセンサを提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子１００は、可動機能素子１１０と、第１から第４の保持素子１２０、１３０、１４０、１５０とを備える。第１の保持素子および機能素子が第１の接合１２２で接続され、第２の保持素子および機能素子が、第２の接合１３２で接続され、第３の保持素子および機能素子が、第３の接合１４２で接続され、かつ第４の保持素子および機能素子が、第４の接合１５２で接続される。また、第１の保持素子および第２の保持素子は、各々圧電駆動素子１２４、１３４を含み、第１の保持素子の駆動素子および第２の保持素子の駆動素子が、電気励起により機能素子を動かすよう構成される。 （もっと読む）

変換器１１６は、磁歪要素１０２上の繰り返しパルス１２０を感知し、変換器出力バースト１２２を提供する。変換器回路１２６は、変換器出力バーストを検出する。エネルギー貯蔵デバイス１３０は、変換器回路の電力入力１２８に結合する。切替電力供給１３２は、エネルギー貯蔵デバイスに結合し、その間に切替電力供給の切替が抑制される繰り返し抑制状態を有する。シーケンス回路１４０は、変換器出力バーストとの切替電力供給の繰り返し抑制状態の同期化を提供する。
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【課題】比較的長い距離を容易に検出可能なリニア移動距離検出装置を提供する。
【解決手段】基部５と、該基部５に直線棒状に立設した測長部６と、該測長部６に接近して移動体に設けられる検出部７１，７２とからなるリニア移動距離検出器１，２を備え、それらを前記測長部６の前記基部５に接続されない端部同士が平行又は直線状となるように配設するとともに、前記双方のリニア移動距離検出器１，２のそれぞれの前記検出部７１，７２が、前記双方のリニア移動距離検出器１，２のそれぞれの前記端部において同時に位置検出可能となるように一体に接続される。 （もっと読む）

【課題】 所定の伸縮作動を可能にさせながら伸縮状態検出手段の検出機能を恒久的に保障し得るようにする。
【解決手段】 シリンダ体１に対してロッド体２が出没する伸縮状態を検出して外部に信号を出力する伸縮状態検出手段における磁石４がロッド体２あるいはシリンダ体１に形成の収容部Ａに収装されるのにあって、この収容部Ａの開口側から収容部Ａ内に導入されて収容部Ａを形成するロッド体２あるいはシリンダ体１に連結されて磁石４を所定位置に定着させる保持手段６における保持部材６２が緩衝部材７の介在下に磁石４の他端に隣接してなるとする。 （もっと読む）

【課題】永久磁石の往復移動に伴う磁場の変動によって磁歪線の内部で発生する磁化のヒステリシスを減少させ、変位検出精度を高める。
【解決手段】磁歪線１０に電流供給部１１から正負のパルス電流Ｐａ，Ｐｂを供給することにより、向きが変化するこれらのパルス電流Ｐａ，Ｐｂで該磁歪線１０における磁化のヒステリシスを減少させると共に、永久磁石１２との対応位置において該磁歪線１０にねじり弾性波を発生させ、正及び／又は負のパルス電流Ｐａ，Ｐｂにより発生する弾性波を検出器１３により検出して、その伝播時間と伝播速度とから演算部１４において上記永久磁石１２の変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】 取付長を短縮可能なシリンダ装置を提供することである。
【解決手段】 内筒２と外筒３とを備えたシリンダ本体１と、内筒２と外筒３との間に挿入される環状のピストン１０と、開口端側がピストン１０に連結され内筒２と外筒３との間に挿入される有底筒状のロッド１５と、ロッド１５と内筒２との間にピストン１０で隔成される第１圧力室Ｒ１と、外筒３とロッド１５との間にピストン１０で隔成される第２圧力室Ｒ２と、ロッド１５とシリンダ本体１の相対変位を検出する変位センサＳとを備えたシリンダ装置において、変位センサＳはセンサロッド２２が延設されるセンサ本体２１を有し、センサ本体２１がロッド１５の底部１６に内設されることを特徴とする。 （もっと読む）