【課題】評価ユニットとたわみボディとの間に生じるノイズの影響を受けにくい、光ファイバー手段を用いた干渉法原理による、たわみ測定機器を提供すること。
【解決手段】第１の光ファイバー手段と第２の光ファイバー手段は、たわみボディにのみ配置されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は入力側で、ビーム源を備えた唯一の光供給ファイバーと接続されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は出力側で、評価回路を備えた唯一の光評価ファイバーと接続されている。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの広い演算器が不要な干渉型光ファイバーセンサーシステムを提供する。
【解決手段】物理量を検知するセンシングファイバー１１ａおよびリファレンスファイバーを有する干渉計と、前記物理量の測定信号３を含む干渉光３２ａを、電気信号に変換するＯ／Ｅ変換器３３と、前記電気信号から、正弦波成分および余弦波成分を抽出するＡＭ復調器５１ａ、５１ｂと、該正弦波成分および該余弦波成分を用いて逆正接演算を行い、前記測定信号を含む信号を出力する逆正接演算器５３と、前記逆正接演算器から出力された信号の所定時間毎の差分を算出し、該差分信号を出力する差分器６１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサでは、光干渉信号方式として、ホモダイン干渉方式があり、構成は簡単であるが、その入力となる参照光と計測光との位相関係が同位相または逆位相付近にある時にその干渉出力の歪が大きくなり、そこを避けるためには、干渉計の光路長に関係する部品には、参照光と計測光の位相関係を良好に保つために、高い工作精度と、熱膨張対策が必要であった。
【解決手段】干渉計の入力となる参照光の位相を９０度変化させて、２つの位相の参照光とすることにより、一方の位相の参照光と計測光との位相関係が同相または逆相付近にあった場合には、他方の参照光と計測光の位相関係は９０度近く異なることになり、必ずどちらかが歪の少ない干渉出力となることにより、前後の干渉出力から判別処理し、センサ出力とすることで、光部品の工作精度や熱膨張による位相変動を許容した光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】計測物体の変位分布を高速に計測するとともに小型化が可能な変位分布計測方法、装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】本発明による変位分布計測装置（１）は、所定の波長の光を照射するレーザ光源（１１）と、照射された光を物体光と参照光とに分離するビームスプリッタ（１４）と、参照光の位相を所定量だけシフトさせるミラー付きＰＺＴステージ（２０）と、位相シフトされた参照光を複数に分岐するペリクルビームスプリッタ（１７，１８）と、計測物体（２３）により散乱された物体光と、分岐された参照光との干渉縞を撮影するＣＣＤセンサ（１５，１６）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光ドップラ方式における長さ調整用ファイバが不要で、安価な汎用部品を用いた小型のシステム構成が可能な配管の厚み測定方法および装置を提供すること。
【解決手段】予め定められた周波数帯域内を掃引して出力する電磁石発振器３００と、測定対象物の動的歪みを検出する光ファイバセンサ２００とを一体化して有するアクティブセンサを用意し、前記アクティブセンサを前記測定対象物である配管１０に取付け、前記配管の厚み方向に０〜１０ＭＨｚの間の所望周波数に指定した超音波または振動を入力し、入力した超音波または振動の反射波またはその合成波を検出し、検出した超音波または振動信号における前記配管による共振を基に前記測定対象物の厚みを測定する、配管の厚み測定方法および装置。 （もっと読む）

【課題】光ファイバや光導波路モジュールなどの光導波手段において温度変化等により発生する光導波手段の伸び歪みを効率よく測定する技術を提供することを目的とする。
【解決手段】温度変化に伴う光ファイバの歪み変化を測定する場合、第１及び第２の光カプラ２１、２２の間に、第１及び第２の光コネクタ２３、２４を利用して参照用光ファイバＦ１及び試料用光ファイバＦ２が取り付けられる。常温状態（例えば、摂氏２５度）において試料用光ファイバＦ２（第１〜第Ｍの試料用光ファイバＦ２１〜Ｆ２ｍ）が干渉を発生させる可動鏡４３の位置ｄ０ｍ（ｍ＝１〜Ｍ）を記録する。次に恒温槽３０の温度を変化させたときに干渉が発生したときの可動鏡４３の位置ｄ１ｍ（ｍ＝１〜Ｍ）を記録する。そして可動鏡４３の位置変化ｄｍ（ｍ＝１〜Ｍ）から、試料用光ファイバの長さ変化ΔLｍを算出し、初期の試料用光ファイバ長Ｌｍとの比（ΔＬｍ／Ｌｍ）より歪みを求める。 （もっと読む）

【課題】雑音を抑制した干渉型光ファイバセンサシステムを提供。
【解決手段】物理量を検知するセンシングファイバ14aおよびリファレンスファイバ14bを有する干渉計と、干渉計からの干渉光から物理量に対応する測定信号を検出するPGC復調器59とを含む干渉型光ファイバセンサシステムにおいて、干渉光に含まれる雑音信号を低減するための雑音低減信号46aを干渉計に印加する雑音シフト信号発生器46を含み、PGC復調器59は、雑音低減信号46aにより雑音が低減された測定信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】位相シフトデジタルホログラフィを用いた変位計測において、3次元変位計測を一挙に且つ短時間で行う手法を提供する。また、変位計測手法によって得られた変位分布からひずみ分布を算出する手法も提供する。
【解決手段】a) 計測物体に３つの異なる方向から同一波長の物体光を照射し、b) 物体光と同一波長を有する３つの参照光と計測物体からの反射光との干渉像を、各参照光の位相を互いに異なる速度で物体光に対して変化させつつ複数枚、２次元撮像素子で撮影し、c) フーリエ変換を用いて位相変化速度の異なる干渉成分を抽出することにより３つの物体光による干渉像を分離し、d) 各干渉像より、各物体光の照射方向に応じた方向の計測物体の変位分布を計測することにより計測物体の３次元変位を計測する。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバリングの一部に印加された物理的外力とその位置を同定し、且つ光ファイバリングの切断と切断位置を検出する。
【解決手段】 光ファイバ侵入監視装置１は、波長が異なる２つの光源９，２５と、この２つの光源９，２５に対応して光ファイバの干渉光を検出する２種類の受光部１３，２９とを備えた光ファイバ振動センサ検出装置４９と、この光ファイバ振動センサ検出装置４９の各光源９，２５と各受光部９，２５に接続される第１分岐結合器５１と、この第１分岐結合器５１に一端側を接続した光ファイバリング干渉型の振動センサ２３、２９を構成する振動センサ用光ケーブル６９と、この振動センサ用光ケーブル６９の他端側に接続した第２分岐結合器５３と、から構成され、前記振動センサ用光ケーブル６９に、ケーブル切断検出用光ファイバ７を収容している。 （もっと読む）

【課題】試料照射レンズ周りを大型化することなく到達深度を向上させ、光断層イメージング装置を、内視鏡などの小型機器に適用できるようにする。
【解決手段】中心波長の異なる複数の低コヒーレント光源１０Ａ，１０Ｂを備え、かつ、複数の低コヒーレント光源１０Ａ，１０Ｂからの光を被測定部Ｓに照射したときの反射光に基づいて、被測定部Ｓの断層画像を得る光断層イメージグ装置１において、複数の複数の低コヒーレント光源１０Ａ，１０Ｂとして、被測定部Ｓにおける深度成分の浅い断層画像を作成するための短波長の光源１０Ａと、被測定部Ｓにおける深度成分の深い断層画像を作成するための長波長の光源１０Ｂと、を使用する。 （もっと読む）

本発明は、ジッターを有することもあり、それぞれが、Ｆ_s≠Ｆ_pである繰返し周波数Ｆ_sとＦ_pを有するポンプビームとプローブビームを受信できる２つのパルスレーザー源（１０、１５）と、サンプル（２００）上を通過するように意図されるポンプビームおよびプローブビームを連結するための要素（２０）を具備し、サンプルからの前記応答信号の光検出のためのシステム（５０）と、信号チャネルに接続される、光検出信号を取得するためのシステム（７０）を具備するする信号チャネル（５１）から構成される光学ヘテロダインサンプリング装置（１５０）に関する。本発明によれば、Ｆ_sとＦ_pは実質的に一定であり、取得システムは、取得トリガー要素（７１）を具備する。更に、同期チャネル（９０）が上記のトリガー要素に接続され、前記チャネルは、うなり周波数｜Ｆ_s−Ｆ_p｜を測定し、ポンプビームおよびプローブビームのパルスが一致するたびに、パルスを具備する同期信号を生成できる装置（９１）を具備する。
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【課題】球面波参照光を用いた位相シフトデジタルホログラフィの再生方法と、球面波参照光を用いた位相シフトデジタルホログラフィを用いる変位分布計測方法を提供する。
【解決手段】物体の変位前後で球面波参照光の位相を所定量だけ順次シフトさせながら物体の像をＣＣＤカメラで各々５回撮像して各々５つの干渉縞をデジタルホログラフィとして記録し、このようにして得られた各５つの干渉縞に等速位相シフト法を用いて変位前後のＣＣＤ面上での複素振幅分布を得て、これらの変位前後のＣＣＤ面上での複素振幅分布からフレネル変換によって変位前後の物体面の複素振幅分布を得て、変位前後の物体面の複素振幅分布から位相差分布を得る。 （もっと読む）

【課題】計測範囲を拡大した位相シフトデジタルホログラフィ変位分布計測装置を提供する。
【解決手段】平行なレーザ光を発生するレーザ光源手段と、前記レーザ光源手段が発生したレーザ光を２方向に分割するビーム分割手段と、前記ビーム分割手段によって分割されたレーザ光の一方から参照光を形成する参照光形成手段と、撮像手段とを具え、前記ビーム分割手段によって分割されたレーザ光の他方は、物体に反射され、物体光として前記撮像手段に入射し、前記参照光も前記撮像手段に入射し、前記撮像手段は前記物体光と前記参照光からデジタルホログラムを形成するように構成された変位分布計測装置において、前記撮像手段と物体との間に、前記物体光が通過する凹レンズを配置した。 （もっと読む）

【課題】物体の面内・面外変位を同時に計測することができる、位相シフトデジタルホログラフィを用いた変位計測方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】２光束を異なった方向から同じ入射角度で順番に変位前後の物体に投影し、参照光の位相を所定量だけ順次シフトさせながらＣＣＤカメラで撮影し、それぞれの入射光で変位によって生じた位相分布を求め、その位相分布の差を求めることで面内変位を表す位相分布を得て、和を求めることで面外変位を表す位相分布を得る。 （もっと読む）

【課題】 高感度、かつ高精度なマイケルソン光干渉計及びこのマイケルソン光干渉系を用いた熱膨張計を提供する。
【解決手段】 マイケルソン干渉計を、レーザー発振器２１と、このレーザー発振器２１から発せられ、試料面Ｓ１及び基準面４５１でそれぞれ反射したレーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を相互に干渉させ、その干渉光Ｌ４を照射面２８に照射して複数の明暗パターンからなる干渉縞Ｉを生じさせる干渉縞発生手段とを有するマイケルソン光干渉計において、レーザー発振器４１と干渉縞発生手段との間に光路差発生手段２４を設け、この光路差発生手段２４に入射された各レーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を基準面２５１及び試料面Ｓ１との間で４往復させるように光路差発生手段２４を構成し、この光路差発生手段２４からレーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を干渉させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】測定対象となる部分が順次移動するような被検体を光干渉計測し得る動体測定用干渉計装置および動体測定用光干渉計測方法を得る。
【解決手段】撮像面３３の受光許容期間内に含まれるように瞬間的撮像期間を設定する同期信号生成部４３と、半導体レーザ光源１１から出射された測定用光束が、この瞬間的撮像期間にのみ被検体７に照射されるためのＡＯＭ１３およびＡＯＭドライバ１４とを備える。撮像カメラ３２は、瞬間的撮像期間に撮像面３３で受光した干渉光により、該瞬間的撮像期間における被検体７の位相情報を担持した干渉縞画像情報を得る。 （もっと読む）

【課題】互いに異なる方向からの２光束照射に係る各々の位相シフト操作を高精度に同時に行なうことが可能な２光束照射方向切替型のスペックル干渉計装置を得る。
【解決手段】光学部材載設部１０に、光路長可変手段６０が配設されている。この光路長可変手段６０は、１つの駆動手段６２により反射光学素子６１を微動させることにより、反射光学素子６１を経由する各一方の照明用光束１４ｂ，１５ａと、反射光学素子６１を経由しない各他方の照明用光束１４ａ，１５ｂとの光路長差を変化させる２つの位相シフト操作を、一元化して同時に行なうように構成されている。 （もっと読む）

フラットパネルの表面、ウエハーおよび基板のパターン付き表面といった表面の全領域光計測値を取得することができる光干渉計を用いるための技術およびシステム。表面計測用のさまざまなシェアリング干渉計の用途が記載されている。
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【課題】厚さの薄い平板状の被検体、特にウェーハを対象として高精度に平坦度、厚さなどの形状を測定し得る光学式形状測定装置を提供する。
【解決手段】エッジ部を介して略鉛直に保持されたウェーハ１の主面１ａ側及び裏面１ｂ側に対向配置された２つの基準平面基板１５，２５を備える光学測定手段１０，２０と、前記基準平面基板１５，２５とウェーハ１との間に、ウェーハ１と平行間隙を形成し且つウェーハに近接して配置された透明な剛体平板１９，２９を備えてなる。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ方法は、フォトリソグラフィック露光サイクル中に複数の計測軸のそれぞれを基準としたマイクロリソグラフィ・ステージの位置に関する情報を干渉計計測する工程と、該フォトリソグラフィック露光サイクルによって生成される環境的影響によって生じる干渉計計測ビームを反射するために使用される該ステージの一方の側の局所勾配を表している補正係数と、光学的傾斜と、を決定するために該位置情報を解析する工程と、該補正係数を該ステージの後続の干渉計計測に適用する工程と、を含む。
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