【課題】汎用性の高い校正原器を提供し、一つの校正原器で種々の形状計測装置の横座標の校正を可能にする。
【解決手段】形状計測装置の横座標を校正する際にワークの代わりに配置される校正原器２０に、入射角度に係わらず光を元来た方向に反射する再帰性光学素子２１を設け、この再帰性光学素子２１によって測定光Ｌｍを反射させる。校正原器２０は、再帰性光学素子２１によって反射するため、種々の曲率半径の測定光を元来た方向に反射することができ、これによって、種々の形状計測装置の横座標の校正に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】汎用性の高い横座標の校正方法によって横座標を校正する形状計測装置、及びその横座標校正方法を提供する。
【解決手段】複数の開口が形成され、これら複数の開口の配列によって校正パターンを形成するアパーチャー板２０をワークＷの被検面Ｗｓの前面に配置する。この開口を通過すると共に、被検面Ｗｓで反射され、再度開口を通過した測定光Ｌｍを撮像素子５によって検出する。撮像素子上にて結像した校正パターンの横座標位置と、予め計測されている校正パターンの基準横座標位置とを、演算装置７によって比較することによって、形状計測装置１の横座標を校正する。 （もっと読む）

【課題】収束光学系を有するレーザ干渉測定装置における測定面上の位置の校正が簡便かつ高精度に行えるレーザ干渉測定装置の横座標校正治具および横座標校正方法を提供すること。
【解決手段】横座標校正治具１０は、マーカを有する画像を投影する画像投影手段１９と、画像投影手段１９を第１回動軸線Ａ１まわりに回動自在に支持しかつ第１回動軸線が所定の回動中心Ｃを通る第１支持機構１１と、第１支持機構を第２回動軸線Ａ２まわりに回動自在に支持しかつ第２回動軸線が回動中心Ｃで第１回動軸線Ａ１と交叉する第２支持機構１２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】投影レンズ内の１以上の光学素子の位置をモニタするシステムを提供すること
【解決手段】各々が入力放射から第１の波面及び第２の波面を導出し、かつ、第１及び第２の波面を合成して第１及び第２の波面の経路間の光路長の差に関する情報を備える出力放射を供給するように構成された複数の干渉計１１０，１２０を含み、各々が第１の波面の経路内に位置決めされた反射素子を備え、干渉計の少なくとも１つの反射素子が、第１の物体上に取り付けられる。本システムは、また、複数のファイバ１１１，１２１及び電子制御装置１７０を含む。各ファイバ１１１，１２１は、対応する干渉計１１０，１２０へのに送光、又は、対応する干渉計１１０，１２０からの受光に用いる。電子制御装置１７０は、干渉計１１０，１２０の少なくとも１つからの情報に基づいて、第２の物体に関する第１の物体の絶対変位をモニタする。 （もっと読む）

【課題】光学試験表面の誤差と適合光学系の誤差とを分離することを可能にする方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学試験表面１４の形状を判定する方法は、測定ビーム３０の波面を適合光学系２０により光学試験表面１４の所望の形状に適合させ、光学試験表面１４の形状を適合済測定ビームにより干渉測定するステップと、適合済測定ビームを光学試験表面に種々の入射角で照射し、測定ビームの波面を光学試験表面１４との相互作用後にそれぞれ測定するステップと、個々の入射角ごとに測定された波面からの干渉測定結果に対する適合光学系２０の影響を確定するステップと、光学試験表面の形状を、適合光学系２０の確定された影響を干渉測定結果から除去することにより判定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】シアリング干渉測定装置においてシア量を高精度に決定するために有利な技術を提供する。
【解決手段】撮像素子の撮像面におけるシア量が第１の目標シア量Ｓ１になるように駆動機構に回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第１の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも１つの係数と当該複数のシア量との関係を示す直線１を決定し、前記撮像面におけるシア量が第２の目標シア量Ｓ２になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに直線１と同様にして直線２を決定し、直線１、２におけるシア量の差分ＤＤが第１の目標シア量Ｓ１と第２の目標シア量Ｓ２との差分ＳＤと等しくなる直線１、２におけるシア量Ｓ１Ｔ、Ｓ２Ｔをそれぞれ真のシア量として決定する。 （もっと読む）

【課題】 走査型干渉計による非球面測定において、被検非球面の頂点付近反射光を使用せずに被検非球面の走査量を高精度に測定する。
【解決手段】 被検面を多段階にステップ走査し、ステップ走査ごとに、撮像手段にて取得した干渉縞の形状測定領域に対応する位相、及び波長測定器にて前記光の波長、をそれぞれ計測する。
その後、被検面上の任意の点と参照球面の曲率中心との距離を、計測された前記位相と前記波長とをパラメータとして含む波数（整数）の関数として定義したうえで、隣接するステップ間の前記関数の関係から各ステップにおける波数を算出し、各ステップ間の移動量を算出する。
さらに、波数とその関数から被検面上の点Ｍと参照球面の曲率中心Ｏとの距離の測定値を算出すると共に、算出された移動量を用いて点Ｍと曲率中心Ｏの距離の設計値を算出し、前記測定値と設計値の差分より被検面の形状誤差を算出する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の被検面の加工誤差を定量的に評価するのに好適な光学素子形状評価方法を提供すること。
【解決手段】光学素子形状評価方法を、理想面に対する被検面の偏差形状を多項式近似する多項式近似ステップと、多項式近似の結果から偏差形状の回転対称イレギュラリティ成分を切り出して評価形状を計算する評価形状計算ステップと、評価形状の瞳中心を含む領域が平面状に変形するように該評価形状に球面成分又２次成分を付与する成分付与ステップと、球面成分又２次成分が付与された評価形状に基づいて被検面の加工誤差を計算する加工誤差計算ステップとを有する方法とした。 （もっと読む）

【課題】画像処理装置および干渉計測定システムにおいて、干渉計の画像表示のための装置構成を簡素化し、干渉縞計測の作業性を向上することができることができるようにする。
【解決手段】画像処理装置１は、アライメント用画像を撮影するアライメントカメラ６と、干渉縞画像を撮影する干渉縞カメラ７とを接続し、これらから送信される画像データを伝送する接続端子部４と、伝送された画像データのうち、アライメント用画像および干渉縞画像のいずれかを選択するカメラ切替スイッチ３Ｂと、選択された画像データによる画像を表示する表示部２と、干渉縞画像の画像データを解析する画像処理部と、カメラ切替スイッチ３Ｂによって干渉縞画像の画像データが選択されたときに、画像処理部によって解析された解析結果を干渉縞画像とともに表示部２に表示する装置制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の間隔が細かい場合でも、位相ノイズの影響を受け難く、干渉縞の位相分布を正しく繋ぐことができる位相接続方法を提供する。
【解決手段】本発明の位相接続方法は、被検面で反射した光と基準面で反射した光との光路差を変化させて取得した少なくとも３つの回転軸対称な干渉縞から算出した干渉縞の位相分布を接続する位相接続方法であって、干渉縞における回転対称中心の位置を算出する中心算出ステップと、位相接続を行う干渉縞の対象領域と回転対称中心との距離を全ての対象領域においてそれぞれ算出する距離算出ステップと、回転対称中心との距離が小さい順に対象領域の順番を決定し、その順番で対象領域の位相値を接続する位相接続ステップとを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーを伝わってくる振動を吸収することで、除振器の本来の性能を発揮させることにより高精度なレンズ、ミラーの形状・透過波面の計測を行う。
【解決手段】真空チャンバー１０８の外から干渉計１０１を除振するために真空と大気を隔て、且つ振動を吸収するベローズとして、弾性ベローズ１１３を用いる。さらに弾性ベローズ１１３の変形に関しては、剛体である規制部材１１４を弾性ベローズ１１３の内側に設けることにより変形量を制限している。 （もっと読む）

【課題】フリンジスキャン干渉縞計測方法および干渉計において、簡素な構成を用いて、容易かつ高精度な形状測定を迅速に行うことができるようにする。
【解決手段】位相増分Δφずつシフトして、ｎ個の干渉縞画像を取得して被測定面の形状を算出するフリンジスキャン干渉縞計測方法であって、位相増分Δφを細分する位相量でシフトして候補画像を取得する候補画像取得工程（ステップＳ１）と、各候補画像の同一位置における輝度変化を取得する輝度変化取得工程（ステップＳ２）と、この輝度変化を用いて位相変化を算出する位相変化算出工程（ステップＳ３）と、位相量が、Δφ・（ｋ−１）（ただし、ｋ＝１，…，ｎ）の近傍の複数の候補画像を補間演算用画像として選択する補間演算用画像選択工程（ステップＳ４）と、この補間演算用画像を用いて補間演算を行うことにより、前記ｎ個の干渉縞画像を取得する干渉縞画像算出工程（ステップＳ５）とを備える。 （もっと読む）

干渉計用の光学アセンブリが提供される。この光学アセンブリは、光軸に沿って定置され、光軸に対して異なる非垂直角に配置された第１及び第２の部分反射表面を含む。第２の部分反射表面は、光軸に沿って第１の部分反射表面を透過した光を受け取り、受け取った光の一部分を検査対象物へ透過して干渉計用の測定光を規定するとともに受け取った光の別の部分を第１の部分反射表面に向け反射して戻して干渉計用の参照光を規定するように構成される。参照光は第２及び第１の部分反射表面間を少なくとも１往復する。
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【課題】目標形状からの光学面のずれを測定する方法および装置において、精度を改善した方法および装置を提供する。
【解決手段】波長λを有する電磁光線の入射ビームを光学試験面に向け、光学試験面と相互作用した測定ビームを生成し、参照ビームに測定ビームを重畳して干渉計を用いた測定を行い、参照ビームからの測定ビームの波面ずれを決定し、この測定に基づいて決定した波面ずれにおける追跡エラーを除去して波面ずれを補正する。波面ずれを最小化するように光学試験面と干渉計の光学構成部材とを最適に整列した状態で測定を行った場合に１０×λより大きい波面ずれが得られるように光学試験面を構成し、測定中に測定ビームによって干渉計に蓄積された収差と、最適の整列状態で得られる波面ずれがλより小さくなるように光学試験面を構成した場合に測定ビームによって蓄積されたであろう仮想収差とが異なるようにし、蓄積された収差の差によって波面ずれに追跡エラーを生じさせる。 （もっと読む）

【課題】曲率半径の大きな凹状球面の曲率半径を、容易に測定する。
【解決手段】曲率半径測定装置１は、被測定物２の凹状球面２ａで反射した光と参照光とを重ね合わせて干渉縞を形成させる干渉計１０と、射出される光（照明光）と凹状球面２ａが直交するように被測定物２を支持するとともに被測定物２を光軸方向に移動させることが可能な支持機構２０と、照明光の収束点ｆ近傍に配置され、通過孔３０ｂおよび通過孔３０ｂを有し、凹状球面２ａで反射した光を凹状球面２ａに向けて再び反射させる反射鏡３０と、凹状球面２ａおよび反射平面３０ａにおいて少なくとも１回以上反射した反射光が凹状球面２ａもしくは反射平面３０ａにおいて同一光路を通って戻ってくるように被測定物２を光軸方向に移動させたときの被測定物２の移動量を測定する移動量測定器２５と、その移動量に基づいて凹状球面２ａの曲率半径を算出する演算・制御部４０とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】形状の変化幅が数μｍを超えるような被検面を短時間で測定することが可能で、かつ装置構成が簡易なミロー型干渉計装置を得る。
【解決手段】光源部１０は、その出力光の可干渉距離が５０μｍ以上１０００μｍ以下となる中コヒーレント光源が用いられる。また、参照ミラー１４は、光透過率が８０％以上９８％以下となるように形成されている。さらに、ビームスプリッタ１６の光軸Ｚ方向の厚みｔ_Ｂが、上記出力光の可干渉距離の２分の１よりも大となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、被検体の光軸調整作業を円滑かつ高精度に行うことができるようにする。
【解決手段】干渉計１は、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３を集光するコリメータレンズ５と、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３の光路を、第１光路Ｐ_１および第２光路Ｐ_２に分岐するハーフプリズム１７と、干渉縞の像を光電変換して第１の映像信号を取得する干渉縞カメラ１２と、ピンホール１８ａとスクリーン部１８ｂとを有するスクリーン板１８と、スクリーン板１８の像を光電変換して第２の映像信号を取得するスポットカメラ１６と、ピンホール１８ａを通過する光を受光する受光素子１９と、映像信号を表示する表示部１３と、受光素子１９の出力値に応じて、第１および第２の映像信号のいずれかを選択的に切り替えて表示部１３に供給する信号選択部２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、被検物等の検査を容易に行うことができる干渉計を提供する。
【解決手段】本発明の干渉計は、ワークＷの表面形状によって形成される干渉縞を撮像するＣＣＤ３１を有する干渉計本体と、ＣＣＤ３１により撮像された干渉縞の画像を表示する表示部７０と、表示部７０に表示された干渉縞の評価基準となる基準線を含むチャートを表示させるパソコン６０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、構成を簡素化することができ、光軸調整後に迅速に干渉縞観察を行うことができるようにする。
【解決手段】干渉縞の像を観察する干渉計１であって、干渉光束の入射方向側の表面が反射面９ｂとされ、その反射面９ｂに干渉光束を透過させる開口９ａが形成された絞り板９と、干渉光束の光路上で、絞り板９の反射面９ｂと対向して入射方向側に配置されたハーフミラー面８ａと、絞り板９の開口９ａを透過した光を集光する撮像レンズ１０と、撮像素子１１と、撮像素子１１を光軸Ｏに沿う方向に移動可能に保持する移動保持部３０とを備え、移動保持部３０は、撮像素子１１の光軸Ｏに沿う方方向の位置が調整可能な調整保持モードと、この調整保持モードで調整された位置から移動して撮像素子１１を定位置に固定する定位置保持モードとの間で切り換えることができるようにした構成とする。 （もっと読む）

光イメージング装置は、光周波数領域測定法（ＯＦＤＭ）に基づいて、ＤＵＴの内部またはＤＵＴ上の複数の位置における散乱データを時間の関数として収集する。光源は検査対象デバイス（ＤＵＴ）の中に光を投入し、ＤＵＴはＤＵＴに沿った１つ以上の位置で光を散乱する。光検出器は、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれで散乱された光の一部を検出する。データはＯＦＤＭデータ処理を使用して決定される。これらのデータは、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれにおいて収集された時間の関数として表された光量に対応する。データは、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれに対して記憶される。記憶された時間領域データに基づいて、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれにおいて散乱された光量を示すユーザ情報が提供される。ＯＦＤＭ処理によって、精細な時間分解能（例えば、０．１ピコ秒）が得られ、それによって、小さな光遅延距離（例えば、３０ミクロン）を分解することができる。また、精細な時間分解能と同時に、検出するべき少量の散乱（例えば、１０^−１２）の正確な検出が可能になる。
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